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时间:2018-08-03
《太阳能光伏简化工艺 晶硅&薄膜》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、太阳能光伏的生产工艺流程主要有两类:晶硅太阳能电池和非晶硅薄膜太阳能电池(国内主要以晶硅太阳能电池为主)下面是具体的工艺流程一·晶体硅太阳电池的工艺流程流程图:从图中可看出晶体硅太阳电池的制备要经过4个工艺流程,他们分别是:(1)·硅材料提纯工艺太阳能级硅材料的提纯:一般使用改良西门子法,在这个工艺中先要将冶金级硅氢氯化形成三氯氢硅,在利用分流馏技术将其提纯,再在热反应其中反应,在1100°C沉积在仔晶上。而尾气中含有大量的四氯化硅,还要加氢循环利用。(2)·硅片制备工艺硅片制备包括硅锭制备与切片两个环节,硅锭的制备又分CZ法拉单晶硅和浇铸制备多晶硅。在硅锭制备出来以后又要切锭、滚圆
2、、切方、切片、清洗。3·太阳电池制备工艺4·太阳电池封装工艺二·非晶硅薄膜电池的工艺流程晶硅/非晶硅具体工艺步骤简化对比:晶硅非晶硅氢氯化工艺氢氯化工艺分馏工艺分馏工艺热解(1100ºC)尾气回收尾气回收浇铸(1400ºC)切片3次清洗(RCA)1(玻璃清洗)CVD沉积TCO膜扩散((850ºC)PECVD(450ºC)PECVD(350ºC)磁控溅射丝网印刷激光切割(3次)PECVD去边喷沙去边烘干(X3:200ºC)烧结(200~800ºC)老化(180ºC)分选焊接汇流焊接层压(150ºC)层压(150ºC)测试测试
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