origin处理xps能谱数据

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1、三、谱图解叠：和多元素分析步骤一样，经过平滑、位移,得到下图：1、去本底：选择toolsàbaseline3、出现下面的窗口，选择baseline，将numberofpoints后的参数改小一些，比如2，点击createbaseline4、出现下图：选择小窗口中的modify：5、拖动每一点到合适的位置（点住鼠标左键不放一直拖到合适的位置）：如图6、然后选择substract得到7、分别点击X轴、Y轴将坐标更换为原来顺序和数值同时关闭baseresult：8、如图：选择analysisàFitmulti-peak

2、sàgaussian9、出现下面的窗口：按需要拟合的子峰个数输入10、点击ok，得到：11、点击OK默认选择，根据谱图的形状双击选择子峰位置（红十字代表峰顶）：如图12、刚才设置为两个子峰，所以双击两个位置，这时电脑自动计算出相关数据：如果想要看拟合后的曲线，需激活（调出）谱图窗口。然后，选择analysisànonlinercurvefit如图：13、得到：14、上图不合理，两子峰半峰宽相差太大，需要加入新的子峰进行调整。点击下图中more按钮15、出现下图：更改为2增加一个子峰，依次类推点击此按钮出现此图界面

3、16、选择basicmodeàstartfitting回到原界面，点击1lter和10lter知道出现新的子峰峰位置、半峰宽和面积17、上图明显也不合理，调节小窗口中各个子峰的数值18、然后点击下图中done按钮，再次激活谱图窗口，选择analysisànon-linearcurvefit,反复修改直到得到满意的谱图多元素分析注意事项：l不能一味的平滑，有时不平滑反而能更准确的反映样品的性质l位移要有理有据，不能按自己的需要移动。解谱注意事项：Ø各个子峰的半峰宽要尽量接近Ø如果所解谱图不是1S，就会出现裂分峰（比

4、如：2p2/3和2p2/5）此时，一定要根据谱图手册，按裂分峰间距解谱Ø对于裂分峰峰面积不能随意拟合，要按谱图手册的比例进行。注意：以上方法得出的数据，仅供参考。