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1、------------------------------------------------------------------------------------------------化学水浴沉积0L2薄膜晶相结构及性第B_卷!第M期BWWV年M月半!导!体!学!报58JNE1EYRbPN!?RF1EDJ5RNUb5QRP1H(#cB_!N(cM!Y2#BWWV6BAA!BAAAAAA敖建平A!!何!青!孙国忠!刘芳芳!黄!磊!李!薇!李凤岩!孙!云!薛玉明"南开大学!天津大学$!天津!Z$A南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实
2、验室!光电信息技术科学教育部重点实验室"WWWMA"$B南昌航空工业学院材料系!南昌!ZZWWZX摘要!采用5研究了溶液组份的浓度对5增IU法在醋酸镉溶液体系中制备5,1半导体薄膜!,1结晶结构的影响c加乙酸胺的浓度%提高溶液的"反之则易于生成六方晶5无论立方相还是六方相8值有利于生成立方晶5,1!,1cXV电阻率均在A结晶均匀细致c用六方晶为主和立方晶为主的55,1薄膜!WW0范围!,1制备的5J=1太阳$A)&%电池最高效率分别达到AB‘AWg和AB‘AMgc关键词!化学水浴沉积’5,1’5J=1太阳电池B"00#MBCWE’M
3、ZXW?’MZ_WF中图分类号!QN"#ZWV!!!文献标识码!!!!!文章编——————————————————————————————————————------------------------------------------------------------------------------------------------号!WBVZ[XAMMBWWVWM[AZXM[W_薄膜的性能也有所不同!有的是六方晶结构!有的是E!引言以5"$简称5$为吸收材料的化2J)!=&1;J=1B"合物薄膜太阳电池!目前其光电转换
4、效率已达到()中试生产ZAS‘BgA!W%0dZW%0电池组件效率超过A连续化生产的电池组件平均转换效率达Zg!()稳定%成本低AA‘_BgBc5J=1薄膜太阳电池高效%廉!具有很强的市场竞争力!是二十一世纪最有希望有的为两者混合c研究表明!热处理可立方晶结构!()以改变5至于同一溶液体系中!,1的结晶结构Cc5,1的晶格变化与溶液组成之间的关系还未见报道c目前!国内多采用氯化物溶液体系制备5,1薄一般得到的是六方晶系的5膜!,1c本文采用5IU法在醋酸镉溶液体系中沉积并对5光电性能5,1半导体薄膜!,1的沉积工艺%通过调整溶液体系的化学及
5、组织结构进行了研究c成份和工艺参数!可以改变5,1薄膜晶体结构的类型!并将此应用于5J=1薄膜太阳电池结构中c的光伏器件之一c在高转换效率的5J=1薄膜太阳电池结构中!采用化学水浴法"制——————————————————————————————————————------------------------------------------------------------------------------------------------备55IU法$,1半导体薄膜作为缓冲层具有重要作用c5,1与5J=1薄膜具有较低的晶格失配!
6、能够完整地包覆在粗糙的5J=1表面!形成一层无针孔%结构致密的薄层!有效地阻止溅射L)R造成的5J=1薄膜损伤而引起电池短路现象’同时5,原子扩散到5J=1表面有序缺陷层进行微量掺杂!对改善异质结特性具有重要作用c化学水浴法制备5以氯化镉,1使用的溶液体系主要有#Z!X)V)为主的体系(%以醋酸镉为主的体系(%以碘化镉_)M)为主的体系(及以硫酸镉为主的体系(不同溶液c+!实验制备5,1薄膜的溶液由5,"58Z5RR$B!N8B51N8B!58Z5RRN8X和N8XR8按一定比例组成!使用的化学药品均为分析纯!溶液的"8值控制在AA‘A$A
7、A‘M!8值由德国>Q>公司的"E%(#$);"8[AMW测定c溶液配制时先将5,"58Z5RR$N8B51N8B和58Z5RRN8X配成稀B!溶液!再取一定量的稀溶液按上述次序依次加入量好的去离子水中!同时搅拌!最后加入氨水即可待用c薄膜制备过程#将玻璃基片或玻璃**D(5J=1薄体系沉积的5,1都可用作5J=1太阳电池的缓冲层!但由于沉积的工艺参数各不相同!制备的5,1批准号#$!江西省自然科学基金"批准号#$资助项目BWWX!!VAZWBAWABWWBX#国家高技术研究发展计划"教授!主要从事化合物半导体薄膜材料和5AS_
8、A年出生!J=1——————————————————————————————————————-------------------------------------------
