全球半导体设备制造商 2015全球半导体设备制造商发展汇总

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2、商2015全球半导体设备制造商发展汇总导读：就爱阅读网友为您分享以下“2015全球半导体设备制造商发展汇总”的资讯，希望对您有所帮助，感谢您对92to.com的支持!熟并应用到大型化面板量产的开始?未来十年内，OLED技术将持续蓬勃发展，尤其在有机发光材料、有机材料镀膜、电路驱动方式与封装等技术上都有很好进展。虽然目前OLED最大量产玻璃基板为5.5代，而5.5代以上的量产成本结构尚不明确，但随着AMOLED技术的逐渐成熟稳定，AMOLED面板制造商将开始导入量产于大尺寸应用上。资料来源：工业和信息化部电子科学技术情报研究所资料搜集整理13一般而言，OLED制造设备主要包括：

3、有机蒸镀和封装等无源有机发光显示（PMOLED）用关键设备，溅镀台、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统、真空热蒸发系统（VTE）等AMOLED用薄膜晶体管（TFT）薄膜沉积设备，涂胶机、曝光机、干湿法刻蚀机等AMOLED用TFT图形制作设备，退火炉、退火气体管道、激光退火设备等AMOLED用TFT退火设备，TFT电学测试设备、OLED光学测试设备等AMOLED用检测设备，激光修补机等AMOLED用缺陷检测修补设备等。如表3所示，全球OLED设备制造商主要包括日本Tokki、Ulvac、Evatech公司、AnelvaTechnix、岛津（Shimadzu）公司、精工爱

4、普生（SeikoEpson）、凸版印刷（ToppanPrinting）、大日本印刷（DNP），韩国Sunicsystem、AdvancedNeotechSystem（ANS）、DoosanEngineering&Construction（斗山工程建筑公司）、DigitalOptics&Vision（DOV）、Viatron科技（ViatronTechnologies）、STI公司、周星工程（JusungEngineering）、McScience公司，美国科特?莱思科（KurtJ.Lesker）、Rolltronics公司、整体视觉（IntegralVisio

5、n）公司、MicroFab公司，德国爱思强股份有限公司（AixtronAG）、M布劳恩（Mbraun）公司，荷兰OTBv公司等。13资料来源：工业和信息化部电子科学技术情报研究所资料搜集整理参考文献：资料来源：工业和信息化部电子科学技术情报研究所资料搜集整理[1]Tokki、Ulvac、Evatech公司、AnelvaTechnix、岛津（Shimadzu）公司、精工爱普生（SeikoEpson）、凸版印刷（ToppanPrinting）、大日本印刷（DNP）等企业网站。[①][①]严格意义上的LED电视是指完全采用LED（发光二极管）做为显像器件的电视机，一般用于13低精度

6、显示或户外大屏幕。目前中国大陆地区家电行业中通常所指的LED电视严格的名称是“LED背光源液晶电视”，是指以LED做为背光源的液晶电视，仍是LCD的一种。它用LED光源替代了传统的荧光灯管，画面更优质，理论寿命更长，制作工艺更环保，并且能使液晶显示面板更薄。[②]OLED蒸镀设备是OLED制造过程中的核心设施。它是把蒸发源的有机物加热蒸镀到基板上的设备。[③]日本岛津公司质谱仪是用来对OLED发光材料（如小分子材料）进行结构分析的仪器。[④]2010年，日本爱普生公司发明了一种叫做喷墨均一成膜的新技术，这种喷墨技术，可以使有机材13料均匀沉积，意味着大屏幕OLED电视具备了实

7、施量产的条件。使玻璃底板上的有机材料形成均匀薄膜层的工艺，是生产OLED电视的关键要素。目前，真空热蒸镀（VTE）是应用最为广泛的一种技术。采用该技术的工艺流程必须在真空室中进行，要求紧邻玻璃底板放置一块遮光板，用以确定底板上沉积材料的图样。然而，真空热蒸镀技术在生产大屏幕OLED电视方面存在几大缺陷。比如，遮光板极易受工艺流程中的高温环境影响而发生偏移，导致很难在大尺寸底板上保持均匀的沉积率。喷墨印刷技术可以通过液态有机材料的均匀沉积形成薄膜层，因此，这种技术在理论上能够更好地解决大显示屏的尺寸问题。