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1、世界主要MBE设备制造商及产品简介20O9年?第5期技术交流中国材料科技与设备(双月刊)世界主要MBE设备制造商及产品简介刘超卜,包兴明(1.中国科学院半导体研究所,北京10O083;2.四川理工学院理学院,四川自贡643000)摘要:本文根据Riber,Veeeo,DCAInstruments等着名公司的最新资料简要介绍了世界上主要分子束外延设备制造公司及其主流产品的基本情况,供国内相关领域的读者在了解和选购MBE产品时作参考.关键词:分子柬外延;半导体薄膜;MBE设备中图分类号:TN304文献标识码:A前言分子束外延(MBE)和金属有机物化学气相沉积(MOCVD)是最重要的两种半
2、导体薄膜制备技术,它们都属于非热力学平衡的低温外延生长工艺,非常适合于复杂微结构材料的生长和新型光电器件与电路的研发.一般而言,MOCVD适合于批量化生产器件结构相对成熟的外延材料,并易于扩大外延规模和产能;而MBE更适合于研发小批量,具有超精细复杂结构的外延材料,两种工艺各有优势又互为补充.近十年来国际上分子束外延技术发展很快,由单片2"-3"手动操作模式的研究型MBE系统发展到多片7×6"全自动控制模式的生产型MBE系统,集成了多种表面分析手段的新型多功能MBE系统也已研制成功.目前国内外主要的MBE设备制造商有沈阳科仪(SKY),法国Riber,美国Veeeo,美国SVTA,芬
3、兰DCAInstruments,德国Orni—cron,德国MBE-Komponentem,英国OxfordAppliedResearch等公司,他们都有MBE产品进入中国市场.为了让国内相关领域的读者对国内外最新的MBE系统和相关产品有个初步了解,本文简要介绍了上述公司及其主流产品的基本情况,供大家在选购MBE产品时作参考.?沈阳科仪(SKY)中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司(沈阳科仪)创立于1958年.在2O世纪8O年代初打破西方国家的技术封锁,研制出了我国第一台MBE设备,在超高真空薄膜制备设备,分子束外延设备,无油真空获得设备,真空部件产品等方面达到了国内领先技术水平,
4、先后获得国家,中国科学院和省部级科技进步奖5o余项.2000年国家科技部批准组建了国家真空仪器装置工程技术研究中心,2008年国家发改委批复成立真空技术装备国家工程实验室,使沈阳科仪成为我国真空仪器设备的研发生产基地.沈阳科仪通过不断地自主创新,研制出了MBE_1至MBE-V型系列单片2"-3"研究型分子束外延设备产品.与标准型分子束外延设备StandardMBESystem激光分子束外延设备PulseLaserDepositionsystem国外同类MBE产品相比,其性价比具有很大的优势,为我国分子束外延技术的广泛应用和发展做出了重要贡献.目前该公司生产的主流MBE产品是单生长室结
5、构设计的标准型分子束外延设备(样品尺寸~30mm,样品台转速5-50转/分,最高加热温度800℃,4个常规束源炉,加热温度<1300℃,控温精度±0.5℃,RHEED,CCD图像处理系统等,标配报价约85万元)和激光分子束外延设备(PLD)(样品尺寸051ram,基片转速5～6O转/分;样品最高加热温度800℃±1℃,RHEED,1-100amu四极质谱仪,可安装4块靶材的旋转靶台等.不含激光器的标配报价为95万元),代表了我国分子柬外延设备的最高水平.?法国Riber公司法国Riber公司是全球着名的MBE系统及相关设备的*作者简介:刘超(1964一),男,副研究员,主要从事
6、III—V族,II—VI族化合物半导体外延生长材料与光电器件方面的研究工作.电话:010—82304101,Email:cliu@semi.ac.cn中国材料科技与设备(双月刊)世界主要MBE设备制造商及产品简介2009年?第5期制造商和供应商,已有30年以上研发MBE系统的经验,在国际市场和中国市场中所占的市场份额都居于领先地位,也是最早进入中国市场的MBE设备供应商之一,可为客户提供各种化合物半导体薄膜的外延设备和技术服务.2008年6月Riber收购了法国专门制造分子束源炉的ADIX)N公司;2008年9月Riber公司又收购了英国牛津仪器公司控股的VGSemiconMBE部门
7、,进一步扩大了它在国际MBE市场中的占有率.目前Riber公司在全球已有250多个研究型MBE客户,22个生产型MBE客户(市场占有率71),产品的销售网络遍布欧洲,美洲和亚洲等许多国家和地区.Compact21型MBE系统(单片2"或3")Compact21MBEsystemMBE6000型MBE系统(4×6"片)MBE6000systemRiber公司的主流MBE产品包括:Compact12型(单片1"或1/4×2",7个源炉端口,低成本),Compa
