6、感器的基本工作原理、特点 光栅位移传感器的基本工作原理是利用一对光栅,其中一块是固定的,而另一块是运动的。当它们发生相对运动并有光通过两者时,能够获得相当于干涉仪中得到的条纹信号,即所谓的“莫尔条纹信号”。对于一对计量光栅,彼此移动一条刻槽(现代计量光栅常采用4~250L/mm)就移动一条莫尔条纹。条纹宽度不受波长影响,并且条纹较宽可进行内插,由于误差平均效应,因而可以获得很高的精度。与普通位移传感器相比,它有以下几个特点: ①精度高。光栅位移传感器在大量程测量长度或直线位移方面仅仅低于激光干涉传感器;在圆分度和角位移测量方面,光栅式传感器属于精度最高的。 ②