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时间:2018-07-28
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1、XPS数据处理步骤_北京科技大学-----------------------Page1-----------------------GeneratedbyFoxitPDFCreator©FoxitSoftwarehttp://www.foxitsoftware.comForevaluationonly.X射线光电子能谱数据处理北京科技大学冶金生态楼109冯婷2011.3-----------------------Page2-----------------------GeneratedbyFoxi
2、tPDFCreator©FoxitSoftwarehttp://www.foxitsoftware.comForevaluationonly.Content1仪器型号及主要参数2元素组成鉴别3元素定量分析4元素化学态分析-----------------------Page3-----------------------GeneratedbyFoxitPDFCreator©FoxitSoftwarehttp://www.foxitsoftware.comForevaluationonly.Conten
3、t1仪器型号及主要参数-----------------------Page4-----------------------GeneratedbyFoxitPDFCreator©FoxitSoftwarehttp://www.foxitsoftware.comForevaluationonly.仪器型号及参数X射线光电子能谱仪型号:AXISULTRADLD(岛津集团Kratos公司生产)X射线源:单色化Al靶,AlKαhυ=1486.6eV:样品分析区域700µm×300µm信息采样深度:无机材料<5
4、nm,有机材料<10nmX射线工作功率:一般为150W-----------------------Page5-----------------------GeneratedbyFoxitPDFCreator©FoxitSoftwarehttp://www.foxitsoftware.comForevaluationonly.Content2元素组成鉴别-----------------------Page6-----------------------GeneratedbyFoxitPDFCreat
5、or©FoxitSoftwarehttp://www.foxitsoftware.comForevaluationonly.元素组成鉴别操作步骤:1.使用Excel打开原始数据。将表格中数据向下拉,依次为宽谱(wide)及各个元素的窄扫谱图数据。2.选取所要分析元素图谱的数据区域(如,wide下面的数据)3.将数据拷入Origin软件,以BindingEnergy(BE)作为横坐标,Intensity(I)作为纵坐标作图,得到宽谱。4.不同元素对应有唯一的结合能数值(BE),可与X射线光电子标准谱图进
6、行比对(NIST网址:http://srdata.nist.gov/xps/selEnergyType.aspx)5.首先鉴别总是存在的元素谱线,如C、O的谱线6.鉴别样品中主要元素的强谱线和有关的次强谱线7.鉴别剩余的弱谱线假设它们是未知元素的最强谱线-----------------------Page7-----------------------GeneratedbyFoxitPDFCreator©FoxitSoftwarehttp://www.foxitsoftware.comForeval
7、uationonly.元素组成鉴别XY-----------------------Page8-----------------------GeneratedbyFoxitPDFCreator©FoxitSoftwarehttp://www.foxitsoftware.comForevaluationonly.Content3元素定量分析-----------------------Page9-----------------------GeneratedbyFoxitPDFCreator©Foxit
8、Softwarehttp://www.foxitsoftware.comForevaluationonly.元素定量分析采用元素灵敏度因子法:对清洁(无污染层)均匀样品表面,有I=n·F·A·δ·λ·β(θ)·T·D其中,I—所检测光电子强度,即峰强,可用峰的积分面积得到n—样品中待测元素原子浓度令S=F·A·δ·λ·β(θ)·T·D定义为原子灵敏度因子RSF因此,对某一样品中两个元素i和j,其原子浓度比为:n/n=(I/S)/(I/S)ijiijj--
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