xps数据处理步骤_北京科技大学

《xps数据处理步骤_北京科技大学》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、XPS数据处理步骤_北京科技大学-----------------------Page1-----------------------GeneratedbyFoxitPDFCreator©FoxitSoftwarehttp://www.foxitsoftware.comForevaluationonly.X射线光电子能谱数据处理北京科技大学冶金生态楼109冯婷2011.3-----------------------Page2-----------------------GeneratedbyFoxi

2、tPDFCreator©FoxitSoftwarehttp://www.foxitsoftware.comForevaluationonly.Content1仪器型号及主要参数2元素组成鉴别3元素定量分析4元素化学态分析-----------------------Page3-----------------------GeneratedbyFoxitPDFCreator©FoxitSoftwarehttp://www.foxitsoftware.comForevaluationonly.Conten

3、t1仪器型号及主要参数-----------------------Page4-----------------------GeneratedbyFoxitPDFCreator©FoxitSoftwarehttp://www.foxitsoftware.comForevaluationonly.仪器型号及参数X射线光电子能谱仪型号：AXISULTRADLD（岛津集团Kratos公司生产）X射线源：单色化Al靶，AlKαhυ=1486.6eV：样品分析区域700µm×300µm信息采样深度：无机材料<5

4、nm，有机材料<10nmX射线工作功率：一般为150W-----------------------Page5-----------------------GeneratedbyFoxitPDFCreator©FoxitSoftwarehttp://www.foxitsoftware.comForevaluationonly.Content2元素组成鉴别-----------------------Page6-----------------------GeneratedbyFoxitPDFCreat

5、or©FoxitSoftwarehttp://www.foxitsoftware.comForevaluationonly.元素组成鉴别操作步骤：1.使用Excel打开原始数据。将表格中数据向下拉，依次为宽谱（wide）及各个元素的窄扫谱图数据。2.选取所要分析元素图谱的数据区域（如，wide下面的数据）3.将数据拷入Origin软件，以BindingEnergy(BE)作为横坐标，Intensity(I)作为纵坐标作图，得到宽谱。4.不同元素对应有唯一的结合能数值（BE），可与X射线光电子标准谱图进

6、行比对(NIST网址：http://srdata.nist.gov/xps/selEnergyType.aspx)5.首先鉴别总是存在的元素谱线，如C、O的谱线6.鉴别样品中主要元素的强谱线和有关的次强谱线7.鉴别剩余的弱谱线假设它们是未知元素的最强谱线-----------------------Page7-----------------------GeneratedbyFoxitPDFCreator©FoxitSoftwarehttp://www.foxitsoftware.comForeval

7、uationonly.元素组成鉴别XY-----------------------Page8-----------------------GeneratedbyFoxitPDFCreator©FoxitSoftwarehttp://www.foxitsoftware.comForevaluationonly.Content3元素定量分析-----------------------Page9-----------------------GeneratedbyFoxitPDFCreator©Foxit

8、Softwarehttp://www.foxitsoftware.comForevaluationonly.元素定量分析采用元素灵敏度因子法：对清洁（无污染层）均匀样品表面，有I=n·F·A·δ·λ·β(θ)·T·D其中，I—所检测光电子强度，即峰强，可用峰的积分面积得到n—样品中待测元素原子浓度令S=F·A·δ·λ·β(θ)·T·D定义为原子灵敏度因子RSF因此，对某一样品中两个元素i和j，其原子浓度比为：n/n=(I/S)/(I/S)ijiijj--