21世纪的硅微电子学

《21世纪的硅微电子学》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、21世纪的硅微电子学本文由zhangsolomon贡献pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。ｚ已，｝－孑　ｆ１　孑彳，分≤，７，／也毒　乏觳电荐　吃乏’．　乞慈：『　维普资讯http://www.cqvip.com综观人类社会发展的文明史，切生产方式　一和生活方式的重大变革都是由于新的科学发明　会的三大资源，对它的利用却仅仅是开始，但当　前面临的信息革命以数字化和网络化作为特征。　和新技术的产生而引发的，学技术作为革命的　科力量，动着社会向前发展。从５推ｏ多年前晶体　管发明到目前微

2、电子技术成为整个信息社会的　基础和核心的发展历史，分证明了“学技术　充科是第一生产力”。信息是客观事物状态和运动特　征的一种普遍形式，材料和能源一起是人类社　与产精度，可以分析预测发展变化趋势，我国　还为数字化大大改善了人们对信息的利用，更好地满　足了人们对信息的需求；网络化则使人们更为　而方便地利用信息，整个地球成为一个“球　使地村”以数字化和网络化为特征的信息技术同一　　般技术不同，具有极强的渗透性和基础性，　它它可以渗透和改造一切产业和行业，变着人类的　改震灾害的孕育、生和演化规律；区域的角度，发从　揭示人类活动与环境因

3、子的相互关系及其可能　政府对农业产业结构调整　业政策制定　国家　农安全，民选择种植品种、贸订购、售粮食作　农外销的致灾因素，“类与自然的坍同进化与和谐　为人共存”为国家的防灾、灾、灾决策提供科学　、减救物产生重要影响，来巨大的经济效益。带　（）国区域生态环境可持续发展和西部大　２中开发　实施西部大开发、设山川秀美的大西北，建　是２世纪国家发展的重点战略部署。根据“１数　依据。为国家提供多方位、高层次的灾害信息服　务，现“字地球”国家减灾决策中的科学支　实数在持能力。　６数字城市工程　．在我国改革开放前期８％的人口生活在农　０村

4、，随着经济的发展农业人口放弃农活走向城　市，市化进程也在加快。２０城０ｏ年５月中国近百　字地球”供的数据可以对自然与人类活动现代　提过程的数字重建和模拟未来。为西部，别是西　特北地区流域水资源循环和开发利用潜力及容量　的评价与监铡，开发品种与规划提出符合科学规　律的建议，现开发与保护生态环境同步的可持　实续发展计划。　名市长和企业家参加了“十一世纪数字城市论　二坛”此次论坛将推进城市信息化建设。数字城　，市符合中国目前工业化和信息化并行的经济生　活现状是“字地球”重要内容。政府之间的　数的互动沟通与互动、补优势，成为中国经济社

5、　互将会发展的新主题与新动力。　（）国区域自然灾害的预报与预警　３中利用“数字地球”不同尺度的遥感和地理　中信息数据研究洪涝、旱灾害，尘暴灾害和地　干沙‘国科技奖励）２０，（】１中００日３　　维普资讯http://www.cqvip.com生产和生活方式，变着经济形态和社会、改政治、　文化等各个领域。而它的基础之一就是微电子　技术　可以毫不夸张地说．没有微电子技术的进　步，不可能有今天信息技术的蓬勃发展，电　就微子已经成为整个信息社会发展的基石。　回顾５ｏ多年来微电子技术的发展历史．　实主要的创新领域主要有以下三个方面：　一、

6、２世纪上半叶仍将以硅基ＣＳ电路　１ＭＯ为主流工艺　微电子技术发展的目标是不断提高集成系　统的性能及性能价格比，因此更要求提高芯片的　集成度．是不断缩小半导体器件特征尺寸的动　这力源泉。以ＣＳ技术为例，道长度缩小可以　ＭＯ淘提高集成电路的速度；同时缩小沟道长度和宽度　还可减小器件尺寸，高集成度，而在芯片上　提从集成更多数目的晶体管．结构更加复杂、能　将性更加完善的电子系统集成在一个芯片上；外，此　随着集成度的提高．统的速度和可靠性也大大　系提高，格大幅度下降。由于片内信号的延迟总　价小于芯片间的信号延迟，样在器件尺寸缩小　这后．

7、即使器件本身的性能没有提高，个集成系　整统的性能也可以得到很大的提高。　自５０年前发明晶体管以来，了提高电子　为系统的性能，低成本，电子器件的特征尺寸　降微不断缩小，工精度不断提高，加同时硅片面积不　断增大。自１５９８年集成电路发明以来，成电　集路芯片的发展基本上遵循了ｌｔｌ司创始人　ｎ公ｅ之一的Ｇｒｏ　Ｍｏｒ　９５年预言的摩尔定　ｏｄｎＥ．ｏ１６ｅ律，每隔三年集成度增加４倍．征尺寸缩小　即特√倍。在这期间，然有很多人预测这种发展　２虽趋势将减缓，是微电子产业三十多年来发展　但的状况证实了Ｍｏｒ预言。而且根据我们的　ｏｅ的预测

8、，电子技术的这种发展趋势还将继续下　微际上就是不断创新的过程，里指的创新包括原　这始创新、术创新和应用创新等。晶体管的发明　技并不是一个孤立的精心设计的实验．而是一系列　固体物理、导体物理、料科学等取得重大突　半材破后的必然结果。１４９７年发明点接触型晶体管、　１４９８年发明