用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池zno／al背反射电极

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1、用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnO／Al背反射电极.txt机会就像秃子头上一根毛，你抓住就抓住了，抓不住就没了。我和你说了10分钟的话，但却没有和你产生任何争论。那么，我们之间一定有个人变得虚伪无比！过错是短暂的遗憾，错过是永远的遗憾。相遇是缘，相知是份，相爱是约定，相守才是真爱。本文由yahoo814贡献pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。维普资讯http://www.cqvip.com第３６卷第６期　２００７年１　２月一　工　晶体　学　报　人　ＪＵＲＮＡＬＯ　ＳＯ　ＦＹＮＴＴＩ　ＣＨＥＣＲＹＳＡＬ　ＴＳＶｏ．６Ｎｏ６１３　．

2、　Ｄｅｅｅ。０７ｃｍｂｒ２０　用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳　电池ＺＯＡ背反射电极　ｎ／Ｉ薛俊明，孙　建，任慧志，刘云周，苓伟，．段　周祯华，张德坤，赵颖，新华　耿（南开大学光电子薄膜器件与技术研究所；光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室；　光电信息技术科学教育部重点实验室，天津３０７）００１　摘要：本文首先在低温（４￣和低功率下采用ｚ：ｌ１０Ｃ）ｎＡ合金靶直流反应磁控溅射法研制ＺＯ：１明导电膜。然后　ｎＡ透在单结（ｌｓＳＯ／ｉ／或双结（ｌｓＳＯ／ｉ／ｉ／非晶硅电池上沉积约７ｇａ／ｎ　ｐ）ｓｎｇｓ／ｎ　ｐｐｎ）ａｎ０一ｌＯｍ厚的ＺＯ透明导电膜，Ｏｎｎ最　后再用电阻蒸发法沉积Ａ电极。

3、实验获得了较好的ｎ／ｎｌ　ＺＯ界面，实现了ＺＯＡ背电极的增反作用，电池的短　ｎ／１使路电流增加１３Ａｃ　光电转化效率提高１—％（￣ｍ／ｍ，３绝对效率）小面积电池效率达到９５　，．％。关键词：晶硅电池；ｎ／１非ＺＯＡ复合背电极；背反射；短路电流；转换效率　中图分类号：４４０８　文献标识码：　Ａ文章编号：００９５２０）６１８－５１０—８Ｘ（０７０—２３０　Ｓｕｙｏ　ｎｔｄ　ｆＺＯ／Ａ！ＢａｋＲｅｅｔｒｏ　ｃ　ｆｃｏ　ｆＡｍｏｐｏｓＳｌｏ　ｌｒｈｕ　ｉｃｎｉＳｏａ　ｌｓｗｉｈＤＣ－ａｎｅｒｎＳｔｅｉｇｌｒＣｅｌ　ｔ　ｍｇｔｏ　ｐｕｔｒｎ　ｘ　ｕ—ｎ．ＵＮＪａＲＥ　ｉｈ，ＵＹｎｚｏＤＵＡ　

4、ｉｇｗｉ　ＵＥＪｎｍｉｇｓ　ｉｎ，ＮＨｕ—ｉｌ　ｕ－ｈｕ，ｚＩＮＬｎ．ｅ．ＺＨｏＵ　ｅ．ａＺｈｎｈｕ　ｚＨＡＮＧ　．ｕ　ＺＨＡｏ　ＤｅｋｎＹ　ｇ　ＧＥＮＧ　ｎ．ｕ　Ｘｉｈａ（ｎｔｕｅｏ　ｈｔ—ｌｃｏｉＴｉＦｌ　ｅｉｓａｄＴｃｎｌｇ．ａｋｉｎｖｒｔ：ｅ　ａｏａｏｙｏ　Ｉｓｔｔ　ｆｏｅｅｔｎｃｈｎｉＤｖｅ　ｎ　ｅｈｏｏｙＮａ　ｉｓｙＫｙＬｂｒｔ　ｆｉＰｏｒ　　ｍｃｎＵｅｉｒＰｏｏｅｅｔｎｃＴｉ　ｉ　ｅｉｓａｄＴｃｎｌ　ｆｉｊ；ｅ　ａｏａｒｏ　ｐｏｌｔｎｃｈｔ—ｌｒｉｈｎＦｌＤｖｅ　ｎ　ｅｈｏｏｏ　ａｉＫｙＬｂｒｔｙｆｔｅｒｉｃｏ　ｍｃｙｇＴｎｎｏ　Ｏｅｃｏ　ＩｆｒｔｎＳｉｎｅａｄＴｃｎ

5、ｌｇ，Ｍｉｉｔｙｏ　ｄｃｔｎｎｏｍａｉ　ｃｅｃ　ｏｎ　ｅｈｏｏｙｎｓｒ　ｆＥｕａｉｏ，Ｔａｊ　００ｌＣｉａ　ｉｉ３０７，ｈｎ）ｎｎ（ｅｅｅ　　ｅｒａｙ２０，ｃｐｅ　０Ｊｌ　０７　Ｒｃｉｄ８Ｆｂｕｒ０７ａｃｔ２　ｕｙ２０）ｖ　ｅｄＡｂｔａｔＴｈ　Ｚｓｒｃ：ｅｎＯ：　ｒｎｐｒｎ　ｔｎｆｌ　ｒ　ｒｐｒｄｙＡ１ｔａｓａｅｔｈｉ　ｍｓｗｅｅｐｅａｅ　ｂ　ＤＣ—ｇｅｒｎｐｔｒｎ　ｓｎ　ｉｍａｎｔｏ　ｓｕｔｉｇｕｉｇＺｎ：　ｅＡ１ａｏ　ｒｅａｔｅｏ　ｍｅａｕｅｏ　０１．ｆｒｉｌｊｎｔｎ（ｌｓＳＯ／ｉ／ｎ　ｎｅ（ｌｓ　ｌｙｔｇｔｔｈ　ｗｔｐｒｔｒｆ４＂Ａｔ　ｎｅｕｃｏｇｓｎ２ｐｎ）ａｄｔｄｍｇｓｌ

6、ａ　　ｌｅ　１３ｅｓｇ　ｉａ／ａａ／ＳＯ／ｉ／ｉ）ａｒｈｕ　ｉｃｎｓｌ　ｅｓｗｒ　ｒｐｒｄＴｅ　ｅｅｃｖｒｄｗｔ　ｈｃｎｓｏ　０　ｎ２ｐｎｐｎ／ｍｏｐｏｓｓｉ　ｏａｃｌ　ｅｅｐｅａｅ．ｈｙｗｒｏｅｅ　ｉｔｉｅｓｆ７—ｌｏｒｌ　ｈｋ　１０ｎＺｎｔｉ　ｌ．ＴｅＡ１ｅｅｔｏｅ　ｒ　ｖｐｒｔｄｆｎｌｙｈｅｈｇ　ｅｏｍａｃ　ｎｔｒａｅｏ　　／０ｍ　Ｏ　ｈｎｆｍｓｈ　　ｌｃｒｄｓｗｅｅｅａｏａｅ　ａｌ．Ｔ　ｉｈｐｒｒｎｅｉｅｃ　ｆｎ　ｉｉｆｆＺｎｗａ　ｃｉｖｄ．ＴｅｅａｃｄｒｆｅｔｎｅｆＺＯ　ｓａｈｅｅｈ　ｎｈｎｅ　ｅｃａｃ　ｏ　ｎＯ／Ａ１ｒａ　ｌｃｒｄｅｗａ　ｅｉｅｌ　ｅｒｅｅｔｏ　ｓｒａｚ

7、ｄ，ｗｈｉｈｍａｅｔｅｌｃ　ｄ　ｈ　ｓｏｔｃｒｅｃ　ｆｔｅｃｌｓｉｃｅｓｄｂ　—ｈｒ　ｕｒｎｙｏ　ｈ　ｅｌ　ｎｒａｅ　ｙ１３ｍＡ／ｃｍ　．ｔｅｅｃｅｃ　ｆｔ　ｅｌ　ｎｒａｅ　ｙ１３．Ａｓａｈ　ｆｉｎｙｏ　ｉｈｅｃｌｓｉｃｅｓｄｂ　．％　　ｒｓｌ　ｈ　ｉｈｅｃｅｃ　ｆ９．ｅｕｔｔｅｈｇ　ｆｉｎｙｏ　５％ｗａ　ｃｉｖｄｆｒｓｎｌ　ｕｃｉｎａｄｔｎｅｓｌｒｃｌｓ　ｉｓａｈｅｅ　ｏ　ｉｇｅｉｎｔｏ　ｎ　ａｄｍ　ｏａ　ｅｌ．Ｋｅ　ｒｓ：ｍｏｐｏｓｉｉｏ　ｓｌｒｅｌ；Ｚｎｙｗｏｄ