传感器原理及应用论文_大学论文.doc

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1、传感器原理及应用论文学号：1308020113姓名：闵安强班级：电子一班日期：2016.5.2传感器的地位和作用我国国家标准（GB7665－87）中定义传感器：“能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用信号的器件或装置，通常由敏感元件和转换元件组成”。传感器是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将检测感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。它是实现自动检测和自动控制的首要环节。传感器一般由敏感元件、转换元件、基本转换电路三部分组成，组成

2、框图见图1。　　人们为了从外界获取信息，必须借助于感觉器官。而单靠人们自身的感觉器官，在研究自然现象和规律以及生产活动中它们的功能就远远不够了。为适应这种情况，就需要传感器。因此可以说，传感器是人类五官的延长，又称之为电五官。　　•　新技术革命的到来，世界开始进入信息时代。在利用信息的过程中，首先要解决的就是要获取准确可靠的信息，而传感器是获取自然和生产领域中信息的主要途径与手段。　　•　在现代工业生产尤其是自动化生产过程中，要用各种传感器来监视和控制生产过程中的各个参数，使设备工作在正常状态或最佳状态，并使产品达到最好

3、的质量。因此可以说，没有众多的优良的传感器，现代化生产也就失去了基础。　　•在基础学科研究中，传感器更具有突出的地位。现代科学技术的发展，进入了许多新领域：例如在宏观上要观察上千光年的茫茫宇宙，微观上要观察小到cm的粒子世界，纵向上要观察长达数十万年的天体演化，短到s的瞬间反应。此外，还出现了对深化物质认识、开拓新能源、新材料等具有重要作用的各种极端技术研究，如超高温、超低温、超高压、超高真空、超强磁场、超弱磁砀等等。显然，要获取大量人类感官无法直接获取的信息，没有相适应的传感器是不可能的。许多基础科学研究的障碍，首先就

4、在于对象信息的获取存在困难，而一些新机理和高灵敏度的检测传感器的出现，往往会导致该领域内的突破。一些传感器的发展，往往是一些边缘学科开发的先驱。　　•　传感器早已渗透到诸如工业生产、宇宙开发、海洋探测、环境保护、资源调查、医学诊断、生物工程、甚至文物保护等等极其之泛的领域。可以毫不夸张地说，从茫茫的太空，到浩瀚的海洋，以至各种复杂的工程系统，几乎每一个现代化项目，都离不开各种各样的传感器。　　•　由此可见，传感器技术在发展经济、推动社会进步方面的重要作用，是十分明显的。世界各国都十分重视这一领域的发展。相信不久的将来，传

5、感器技术将会出现一个飞跃，达到与其重要地位相称的新水平。　以应变式传感器为例应变片可分为体型应变片、金属箔式应变片、扩散型应变片和薄膜应变片，而薄膜应变片则是今后的发展趋势，这主要是由于近年来薄膜工艺发展迅速，除采用真空淀积、高频溅射外，还发展了磁控溅射、等离子体增强化学汽相淀积、金属有机化合物化学汽相淀积、分子束外延、光CVD技术，这些对传感器的发展起了很大推动作用。如目前常见的溅射型应变计，是采用溅射技术直接在应变体即产生应变的柱梁、振动片等弹性体上形成的。这种应变计厚度很薄，大约为传统的箔式应变计的十分之一以下，故

6、又称薄膜应变计。溅射型应变计的主要优点是：可靠性好，精度高，容易做成高阻抗的小型应变计，无迟滞和蠕变现象，具有良好的耐热性和冲击性能等。用化学气相淀积法制备薄膜，以其成膜温度低、可靠性好、系统简单等优点而发展很快，在制备多晶硅微晶硅传感器方面有许多报道。硅杯是力敏元件中非常重要的结构。目前已极少采用机械方法加工硅杯，而改为可控的化学腐蚀方法，如各向异性腐蚀、凸角补偿和etch-step法等，化学腐蚀方法，可做到工艺稳定，硅杯尺寸很小，膜片均匀度很高，结构从C形、E形、双岛发展到梁膜式，性能和生产率都有很大提高。反射式红外

7、阵列传感器长轴线上有多个红外对管，呈线阵分布，可以检测出轨迹线与其它背景区域的反光率差别，并以此确定阵列传感器长轴线与轨迹线轴线的偏移；再结合一定的传感器安装方法（如前面所介绍的“二”字形安装方法）自动机器人的控制器是可以依据阵列传感器的数据分析出当前机器人相对轨迹线的姿态（轴偏量、角偏量）。而阵列传感器的检测精度和范围将直接影响系统控制性能；起决定性作用的就是阵列上有多少个传感单元、传感单元之间的距离，以及传感单元的性能（调制频率、灵敏度等）。反射式红外阵列传感器反射式红外阵列传感器模块上的十六个反射式的红外对管，在传

8、感器模块长轴线上呈线状分布；模块中使用运算能力较强，并且抗干扰能力强的单片机作为主控核心MCU，MCU对十六个传感器进行扫描，并对每个对管检测到反射回来的信号进行调理后，送至ADC模块（MCU内部自带）进行AD转换；这样可得到每个对管对应范围的256个级别的灰度值。只要轨迹线与背景存在颜色、反光度的差别，就可以从每个