引线键合变频式超声波发生器的研究与设计

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1、中南大学硕士学位论文引线键合变频式超声波发生器的研究与设计姓名：严勇文申请学位级别：硕士专业：机械电子工程指导教师：何将三隆志力20080119摘要本论文研究与设计的是面向芯片键合封装领域的变频式超声波发生器，其可以在广频域内驱动不同的金丝球引线键合换能器，智能搜索换能器最佳工作频率并动态锁相实现换能器的最优功率输出。其中，所进行的工作及成果如下：（１）通过对换能器等效电路模型及导纳圆进行的分析、仿真及实验，得出换能器各谐振模态下的电学特点及其锁相特征，为变频式超声波发生器的信号采集方案及锁相算法提供明确的理论依据。（２

2、）对基于它激模式的变频式超声波发生器进行了整体设计，并对微控制器系统、ＤＤＳ信号生成系统、滤波系统、功率放大系统、信号采集系统、信号调理反馈系统、人机交互系统、电源系统进行了研究、方案比较与详细电路设计。（３）为了得到快速切换、低失真、高稳定、宽频谱的信号源，系统引入了通信领域的ＤＤＳ技术。采用高速ＡＶＲ单片机控带ＩＪＤＤＳ，系统具备灵活、快速的变频效果。辅以具有防三极管热击穿功能的高保真ＡＢ类功率放大电路及精密设计的滤波器，超声波发生器具备优异的正弦信号输出。同时，基于真有效值的频率跟踪电路，引入射频领域的真功率检测芯

3、片，其具备快速、准确地将复杂的换能器电流信号以线性及分贝形式的直流电压值反馈给单片?哪芰Α５テü卸夏Ｊ缓蟮氖至孔畲笾导白钚≈担直鹗迪只荒芷鞔⒉⒘痴竦钠德矢佟＜由璧缪埂⒌缌飨辔患觳獾缏罚徊角炕嗄芰ΑＷ詈螅低程峁┝送晟频娜嘶换ソ缑妗ⅲ眨樱峦ㄐ偶靶藕欧怠⒐ぴ厥奔涞氖胤桨浮＃ǎ矗┦笛楸砻鳎淦凳匠ǚ⑸骶哂泄闫涤蚯⒍嘈痴衲Ｌ怠⑹质娇刂啤⒖焖偎嗉白杩狗治龅扔判阈阅堋＃丶食ǚ⑸鳎淦担啵模模樱荒芷鳎粒拢樱裕遥粒茫裕疲颍澹瘢酰澹睿悖恚铮洌酰欤幔簦澹洌酰欤簦

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