基于tft工艺的射频识别标签天线和电路技术研究

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1、中山大学硕士学位论文基于TFT工艺的射频识别标签天线和电路技术研究学位申请人：龚敬轩指导老师：邓少芝教授答辩委员会(签名)主席：径i锑答一：砖亥活孵枷僻微电子与固态电子学专业物理科学与工程技术学院中山大学2007基于11盯工艺的射频识别标签天线和电路技术研究薄膜晶体管技术('rhmFilmTransistor：简称TFT)目前广泛运用于大规模平板显示开关阵列，它是一种不同于传统的以硅为衬底的晶体管技术，具有可以在揉性衬底上制作、大规模制备和造价低廉等优点。射频识别(RadioFrequencyIdentification：简称RFlD)技术以门禁卡

2、、消费卡等形式广泛应用于服务行业，目前正在以标签形式应用于物流管理中。发展新型的RFID标签技术尤其是揉性基底的RFlD标签是本领域的热点课题。本论文探索将11叮技术应用于RFID电路中的可行性，研究基于n叮工艺的射频识别标签天线和电路技术。主要内容包括：基于无定型硅11叮工艺，运用有限元分析法，在3D电磁场仿真环境下设计出了螺旋电感式标签天线结构，设计和仿真结果表明螺旋电感天线在空间电磁场信号的接收能力上满足应用要求；在实验上，基于薄膜和厚膜工艺进行了天线样品的制各，对其静态与动态特性进行表征，获得天线特性参量的测量结果；基于n丌器件。提出电容触

3、发式升压技术．设计了RFID电路中的基本单元电路，它们包括11可逻辑门电路、ROM存储单元电路、时钟信号发生器电路，FSK调制电路和电荷泵电路，并对上述电路进行了功能和性能仿真。关键字；射频识别，薄膜晶体管，无定形硅，片上天线AbstractTheStudyofAntennaandCircuitintheRFIDTransponderbasedonThinnImTransistorTechnologyCurrently,11l如FilmTransistorfrFr)technologyiswjdelyappliedintheswitchmatrix

4、oflargeareaflatdisplay．TFrtechnologyishigh】ydifferentfromthetraditionaltransistortechnologythatisbasedonsilicon．ByfabricatingTFrcircuitonflexiblesubstrate,theRFlDtagcanachievethecharacteristicoflowcost,flexibleandlargeareaWoducticu．RadioFrequencyIdentification(RnD)islargelyuse

5、dintheareaoflogistics,suchasCheck-insystem，ICcsxdandetc．DevelopingnewRFIDtags,especiallyOftflexiblesub$1Jllte．jsthemainstremninthefutlge．Inthisthesis,aresearchwasdoneOntheexploringnewwayinimplementing11叮technologyinFIDtags,including：basedonamorphoussilicontechnology，weintroduc

6、edfiniteelementanalysistodesignandsimulatesp订aJantennamodelsin3DEMplatform．whichwovesthatthecapabilityofspiralantenna㈨meetthedemandsofreceivingelectromagneticsign蚰；thinfilmandthickfilmanteunasamplesmealsofabricatedaccordingtotheoptimizedparameters,whichwritetestedinbothdynamic

7、andstaticwaysandprovidedpracticalresults；basedoilthecharacteristicofdevice,acapacitortriggeredcircuitwasintroducedandappliedinc订cuit,which∞effectivelyimwovetheperformanceofregularmcircuit,somecircuitblocksaredevelopedandsimulated,suchaslogicgate,ROMunite,clockgenerator,FSKmodu

8、latorandChargePump．．Keywords：FrequencyIdentification，ThinFilm