5、 ① 利用高速电子轰击氧气,其分解成氧原子。高速电子具有足够的动能(6~7eV),紧接着通过三体碰撞反应形成臭氧。O+O2+M→O3+M ② 式中M是气体中任何其它气体分子,不过与此同时,原子氧和电子也同样同臭氧反应形成氧气。O+O3→2O2 ③e+O3→O+O2+e ④ 此外,电晕内的气体是处于可促进臭氧分解反应的高温下,所以净臭氧产量或出口产气组成是形成和分解臭氧所有反应的总和。净产率依众多因素而变,包括:原料气的氧气含量和温度、原料气含的污染物、达到的臭氧浓度、电晕中的功率密度、冷却剂的温度和流量及冷却系统