光刻技术的现状与进展毕业论文

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1、毕业实习报告姓名班级微电一班学号所属院系电子工程系专业实习单位工作部门（工种）实习起讫时间带教老师职称/职务联系教师职称/职务指导教师职称/职务一、毕业实习慨况151、对实习过程的回顾不知不觉已经上班两个多星期了，虽然我实习的比较晚，但在这段时间的工作让我学到了很多，也懂了很多。我的工作是技术员，是帮公司做售后服务的，主要的工作内容就是维保和维修。维保的工作比较简单，主要就是监控设备的日常保养和擦擦摄象头之类的。而维修就比较麻烦了，你你每天都会到不同的地方遇到各种各样的问题，如硬盘录象机的硬盘损坏

2、了，摄象机不能运转了等很多问题。这个工作就现在的我而言是完全不能胜任的。每天我跟着师傅看他解决一个个问题。刚开始的时候，我只能在一旁看着，听师傅的讲解，了解一写基础的知识以及一写常见的问题。慢慢的，我学会了越来越多的知识，可以解决一些小问题了。我相信随着工作的时间越来越长，我的能力会有越来越大的提升。152、专业知识在实习过程中的应用我学的是微电子专业，这个专业对于我现在的工作来说还是比较有用的。特别是电路这一块。几乎每天的工作都会遇到这样和那样的电路问题，不过这些东西大多数都在学校中已经学过了，

3、每当遇到这种问题的时候我都能很好的处理。还有就是万用表的使用，万用表是每天一定会用到的，而万用表的使用方法已经在学校中的学习中很好的掌握了，所以在每天的工作中我能非常熟练的使用万用表。但是还有很多东西是我不曾接触过的，有时候工作会需要用到电烙铁，刚开始的时候感觉有点慌，因为烙铁表面的温度有200度左右，但是在师傅不断的鼓励和指导下我已经能够使用电烙铁来完成一些简单的工作了。还有不少东西是我以前从未接触过的，不过我相信用不了多久我便能掌握这些东西。153、专业技能在技术活动中的体现每次做维修时，开始

4、的时候顾客肯定是会告诉你什么东西坏了，不能用了。但是他不知道具体是哪里坏了，这个时候我们就要慢慢的检查到底是哪里出了问题。从最简单的拧螺丝到拆线，然后把各个部件拆开来一点点检查。使用万用表能让我们了解到是不是线路有问题，还是哪个插头接触不好等。有时候需要用的电烙铁，把坏掉的部件接起来，这就考验了一个人的动手能力。有的时候还可以按照声音来判断哪个部件有问题，当然这只是少数时候。总之做这份工作有好的专业知识和良好的动手能力是必须的。154、对用人单位岗位需求的适应过程刚开始的时候维保的工作可以很好的完

5、成，因为这没有什么技术言，主要就是擦擦灰什么的。但是维修的工作是一点都不会做，刚开始的时候我只能在一旁一边看着他做一边听他讲解。他会告诉我要怎样检查各个部件，什么部件最容易出问题，哪个部件出了什么问题应该怎么做等很多很多。现在我已经可以自己解决不少的问题了。维修是一门很深奥的学问。因为你每次都会碰到不同的问题，你不可能把所有的问题全都了解掌握。但是我喜欢这样的工作。因为这样的工作才有挑战性，不是很死板的工作。我相信用不了多久我就可以独自一个人完成很多问题了。5、心得体会与经验总结通过这些时间的实习

6、，我增加了很多的社会经验，我每天都会遇到各种各样的问题，我锻炼了自己的动手能力，我试着去做，去尝试。在工作的这段时间里我的作息变的正常了，不再像以前那样晚上很晚睡觉白天要睡到下午才起来。我也开始节约用钱，我深刻的体会到了赚钱的辛苦。虽然我工作的时间不长，但我深刻的体会到了工作的艰辛，也让我知道了父母这么多年来把我养这么大是多么的辛苦。现在我已经踏上了社会，是一个社会青年了，要面对全新的生活，我现在就像一个拿到新玩具的小孩，即高兴又激动。虽然不知道未来会怎样，但我会了为了自己的未来而奋斗！15二、毕

7、业实习论文光刻技术的现状与进展引言光刻技术从诞生以来,在半导体加工制造行业中,作为图形转移技术而广为应用。随着芯片集成度的不断提高、器件尺寸的不断缩小以及器件功能的不断提高,作为半导体加工技术中最为关键的光刻技术和光课工艺设备,必将发生显著的变化一，光刻技术的概况光刻系统的组成：光刻机，掩膜版，光刻胶(常伴随着光刻机的发展而前进.在一定程度上其也制约着光刻工艺的发展)主要指标：分辨率W（resolution）->光刻系统所能分辨和加工的最小线条尺寸。焦深(DOF-DepthOfFocus)->投影

8、光学系统可清晰成象的尺度范围。关键尺寸（CD-CriticalDimension）控制。对准和套刻精度(AlignmentandOverlay)。产率(Throughout)。价格。其中，W是决定光刻系统最重要的指标，也是决定芯片最小特征尺寸的原因。其由瑞利定律决定：　R=k1r/NA，　其中　r是光刻波的波长。提高光刻分辨率的途径:减小波长r,其中，　光刻加工极限值：r/2,即半波长的分辨率。增加数值孔径。优化系统设计（分辨率增强技术）。减小k1。主流光刻技术:248nmDUV技