速度传感器产业探究

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1、保密级别：内部公开速度传感器产业方向一、速度传感器2二、测振仪2第一节、TV300便携测振仪信息3第二节、基于高速无线传输的列车测振仪71.系统方案72.系统实现8第三节、列车测振仪试用情况10第四节、结论11三、美国ICSensors加速度传感器302212四、基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计15第一节、传感器结构及工作原理16第二节、压阻式硅微加速度传感器结构形式16第三节、压阻式硅微型加速度传感器加工工艺18五、SOI微加速度传感器结构设计与工艺实现19第一节、SOI微加速度传感器

2、芯片设计19第二节、SOI微加速度传感器加工工艺20第三节、结论25六、加速度传感器在汽车防盗系统中的应用25第一节、加速度传感器ADXL202的工作机理25七、无线加速度传感器的MEMS芯片ADXL202应用设计与集成291.测量原理302.参数设计30第二节、无线加速度传感器的集成311.硬件集成312.程序设计323.实验分析32第三节、结论33八、安全气囊系统传感器33第一节、安全气囊系统原理及结构分析341.工作原理342.传感器分类363.安全气囊组件37第二节、安全气囊计算机3943

3、HighlyIntegratedNanotechnology保密级别：内部公开一、速度传感器加速度传感器可应用在控制，手柄振动和摇晃，仪器仪表，汽车制动启动检测，地震检测，报警系统，玩具，结构物、环境监视，工程测振、地质勘探、铁路、桥梁、大坝的振动测试与分析；鼠标，高层建筑结构动态特性和安全保卫振动侦察上。美国ICSensors加速度传感器，3031，3022，3052，3035，1210，1220，1230，1240等。适用于地震监测，低频应用，测试仪器，机械控制等。市场上占统治地位的加速度传感

4、器是压电式、压阻式、电容式、谐振式等。压阻式加速度传感器具有加工工艺简单，测量方法易行等优点。但是，温度效应严重，工作温度范围窄，并且灵敏度低，一般只有1mg左右，要继续提高灵敏度难度很大。压电式加速度计信噪比高，灵敏度高，结构简单，但是信号处理电路较复杂，存在零漂现象不可避免，并且回零慢，不适宜连续测试。微电容式加速度计具有结构简单、灵敏度高、动态特性好、抗过载能力大，易于集成，不易受温度影响，功耗低，但是，存在输出特性的非线性、寄生电容、分布电容对灵敏度的影响，以及信号处理电路复杂等问题。近些

5、年，谐振式微机械加速度计越来越受到各国的重视，其数字化输出、高可靠性、高重复性等特点，不仅能大幅度降低微弱信号的检测难度，简化外围处理电路，而且具有优良的低频特性。二、测振仪测振仪也叫测震表振动分析仪或者测震笔，是利用石英晶体和人工极化陶瓷（PZT）的压电效应设计而成。它广泛地被应用于机械制造、电力、冶车辆等领域。现在的测振仪一般都采用压电式的，结构形式大致有二种：①压缩式；②剪切式，测振仪原理是利用石英晶体和人工极化陶瓷（PZT）的压电效应设计而成。当石英晶体或人工极化陶瓷受到机械应力作用时，其

6、表面就产生电荷，所形成的电荷密度的大小与所施加的机械应力的大小43HighlyIntegratedNanotechnology保密级别：内部公开成严格的线性关系。同时，所受的机械应力在敏感质量一定的情况下与加速度值成正比。在一定的条件下，压电晶体受力后产生的电荷与所感受的加速度值成正比。产生的电荷经过电荷放大器及其它运算处理后输出就是我们所需要的数据了Q＝dij·F＝dij·ma式中：Q-压电晶体输出的电荷，dij-压电晶体的二阶压电张量，m-加速度的敏感质量，a-所受的振动加速度值。测振仪压电加

7、速度计承受单位振动加速度值输出电荷量的多少，称其电荷灵敏度，单位为pC/ms-2或pC/g（1g=9.8ms-2）。测振仪压电加速度计实质上相当于一个电荷源和一只电容器，通过等效电路简化以后，则可换算出加速度计的电压灵敏度为Sv=SQ/CaSv-，加速度计的电压灵敏度，mV/ms-2SQ-加速度计的电荷灵敏度，pC/ms-2Ca-加速度计的电容量测振仪压电式速度传感器，它是通过在压电式加速度传感器上加一个积分电路，通过将加速度信号积一次分，可以得到振动的速度值！第一节、TV300便携测振仪信息下面

8、是TV300便携式测振仪有关技术信息：测量范围1）加速度：0.1m/s2～392m/s2（峰值）2）速度：0.01cm/s～80cm/s（有效值）3）位移：0.001mm～18.1mm（峰～峰值）频率范围1）加速度：10Hz～200Hz10Hz～500Hz10Hz～1kHz10Hz～10kHz2）速度：10Hz～1kHz3）位移：10Hz～500Hz允许误差：±5%使用温度范围：0℃～40℃使用湿度范围：≤80％仪器外观组成：43HighlyIntegratedNanotechno