真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳

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1、(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102618838A_(43)申请公布日2012.08.01(21)申请号201210066708.8(22)申请日2012.03.14(71)申请人昆山振昆纳米科技有限公司地址215301江苏省苏州市昆山开发区吴淞江路西侧、同丰路南侧(72)发明人阮佳龙康进昌罗讷纳唐新荣(74)专利代理机构南京纵横知识产权代理有限公司32224代理人董建林(51)Int.CI.C23C14/56(2006.01)C23C14/24(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳(57)摘要本发

2、明涉及的是一种真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳，其包括金属罩体，金属罩体上设有复数个排列有序，并且内凹的加强圆槽，所述加强圆槽呈半球形或圆锥台形;在加强圆槽底部设有用连接现有真空镀膜机的待冷却外壁的安装孔，金属罩体通过安装孔并以焊接方式固定在现有真空镀膜机的待冷却外壁上，在金属罩体与待冷却外壁之间通过加强圆槽构成循环通道。本发明确保了冷却水的流通，避免死角现象的产生，有效地对镀膜腔进行快速降温，降低油扩散泵的温度，解决了降温效果不理想的问题，缩短了抽真空的时间，通过减少了镀膜设备外壁安装厚度，加强了冷却外壳的强度;其结构简单、安全可靠和冷却效果好的优点。1.真空镀膜机循

3、环冷却系统用冷却外壳，其包括金属罩体，其特征在于，所述金属罩体上设有复数个排列有序，并且内凹的加强圆槽，所述加强圆槽呈半球形或圆锥台形;在所述加强圆槽底部设有用连接现有真空镀膜机的待冷却外壁的安装孔，所述金属罩体通过安装孔并以焊接方式固定在现有真空镀膜机的待冷却外壁上，在所述金属罩体与待冷却外壁之间通过加强圆槽构成循环通道。2.根据权利要求1所述的真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳，其特征在于，在所述金属罩体上相邻两所述加强圆槽的纵横间距为100-300mm,上述加强圆槽槽深为12_15mm,所述金属罩体的厚度为2-5_。3.根据权利要求1所述的真空镀膜机循环冷却系统用冷

4、却外壳，其特征在于，所述加强圆槽的最大直径为24-136mm。真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳技术领域[0001]本发明涉及的是一种真空镀膜机的冷却系统，具体涉及的是一种真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳结构。背景技术[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，其已经被广泛应用，制镀薄膜尤其广泛，其制作的各种薄膜被应用到各光电系统及光学仪器中，如数码相机、望远镜、显示技术、半导体激光、微机电系统、各种滤光片、建筑玻璃、汽车工业、眼镜片等等，镀膜机器已经与人类的生活紧密联系。在使用真空镀膜设备制备薄膜材料时，由于必须达到一定的真空度时才可进行镀膜过程，普遍

5、采用油扩散泵来实现真空镀膜的真空条件。冷却系统是保证油扩散泵正常工作的重要条件，在真空镀膜装置上也是一个极为重要的系统。[0003]现有真空镀膜的冷却系统通常采用两种方式：一种是真空镀膜设备直接与自来水管连接，水管中的水通过自压进入真空镀膜设备冷却系统，经过镀膜设备冷却用后的水通入实验室排水管道;另一种是采用有制冷功能的制冷机冷却设备，冷却装置需有定量的去离子水。但无论那一种冷却方式均是将冷却水流入真空镀膜设备冷却系统的冷却外壳，现有的冷却外壳与真空镀膜设备之间通过隔板固定安装真空镀膜设备外壁上，通过隔板作用使真空镀膜设备外壁与冷却外壳之间形成若干水通道，该冷却水从底部

6、进入冷却外壳内的水通道，然后从上端流出，以便来实现真空镀膜的冷却作用。而这种结构安装的冷却外壳，其强度要求高，且与真空镀膜设备外壁之间的间距大，增加了真空镀膜设备外壁厚度，工艺复杂，而且冷却外壳通过隔板固定在真空镀膜设备外壁，其强度低，使用寿命短，并且在冷却过程中，处于外壳底端的水通道内存在冷却水死角的现象，即难以及时更新冷却水，造成真空镀膜设备的局部冷却效果差，影响整体冷却的效果。发明内容[0004]针对现有技术上存在的不足，本发明目的是在于提供一种能够避免死角现象的产生和使冷却水充分循环流通，提高冷却效果以及增加安装强度的真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳，减少真空镀

7、膜设备外壁安装厚度，结构简单、安全可靠。[0005]为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳，其包括金属罩体，其特征在于，所述金属罩体上设有复数个排列有序，并且内凹的加强圆槽，所述加强圆槽呈半球形或圆锥台形，起到加强筋的作用，增加冷却外壳的强度;在所述加强圆槽底部设有用连接现有真空镀膜机的待冷却外壁的安装孔，所述金属罩体通过安装孔并以焊接方式固定在现有真空镀膜机的待冷却外壁上，在所述金属罩体与待冷却外壁之间通过加强圆槽构成循环通道，确保了冷却水的流通，避免死角现象的产生。[0006]根据上述的真