JJG2022-1989真空计量器具检定系统.pdf

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1、中华人民共和国国家计量检定系统JJG2022-89真空计妞器具1989年8月15日批准1390年5月1日实施国家技术监督局真空计且器具检定系统VerificationSchemeofMeasuringInstrumentsforVacuumJJG2022-89本国家计量检定系统经国家技术监督局于工989年8月15日批准，并自1990年5月1日起施行。起草单位:中国计量科学研究院本检定系统技术条文由起草单位负责解释。标准分享网www.bzfxw.com免费下载本检定系统主要起草人:费渭南(中国计量科学研究院)参加拐草人:周起春(中国计量科学研究院

2、)张家英(中国计量科学研究院)目录一计量基准器具.........................................................(I)二计量标准器具·........................................................(3)三工作计量器具·........................................................(7)四真空计量器具检定系统框图·······························⋯⋯(8)标准分享网www

3、.bzfxw.com免费下载JJG2022-89共8页第1页真空计量器具检定系统在真空科学技术领域中，通常由“真空度”量值表示低于环境大气压的气体的稀薄程度。根据当前真空科学技术发展的水平，真空度获得和测量的范围，已从大气压(105Pa)室极高真空(<10-"Pa).但工业生产和科学研究中实际广泛应用的范围为10-0^10'Pa.为了保证该范围内真空度量值的准确一致，.制定本检定系统，进行真空量值传递，检定各级真空计量器具.本检定系统主要适用于10-8^105Pa范围内，计量、科研和工业部门使用的真空标准装置和真空计的检定。一计且墓准器具1真空

4、国家基准主要用于复现和传递真空度呈值，是统一全国真空度量值的最高依据.2真空国家基准由三个不同范围的真空装置组成:2.15x10-e^-1Pa压缩式真空计装置2.21^-1x108Pa压缩式真空计装置2.35x10.1x105Pa液体压力计装置3国家基准复现的量的总范围为5x10-e-1x105Pa4不确定度4.1压缩式真空计装置真空度计算公式为:P=PgKhlh=(1)式中:P-t℃时汞密度，9—当地重力加速度，K一真空计常数，h,—有效汞柱面高度差，共8页第2页JJG2022-89h:—压缩后气柱有效高度.由各参数的误差引入的不确定度为:d

5、,=“dp+d;+da+d;，+d;:(2)装置真空度的不稳定性为d:，则总不确定度为;d=d,+d,(3)装置在测量下限P二5x10-sPa时，d,=1.5iod,=0.2得d=士1.了%侧士2%(3口)4.2液体压力计装置真空度计算公式为:p=Pgh(4)式中:h—液柱面的高度差。由各参数误差引入的不确定度为:dl=vd;+d;十d;标准分享网www.bzfxw.com免费下载由于在5x101-1*105Pa范围内是在静态下直接校准，d,=JJG2022-89共8页第3页0，所以d=d，=vd;+d二+d:(5)装置在测量上限P=1x106

6、Pa时，d=10.12%^10.2%因此，真空国家基准在5x10-'^1x106Pa范围内的不确定度为:d二1(2-0.2)%(3a)二计且标准器具5一等真空标准器有四种。5.1一等标准流导法真空装置a.测量范围10-6-10-1Pab。不确定度图2真空度计算公式为:__二0._r一J卜厄厂宁儿(6)式中:K一分流比;Q—气体流量，c-流导，P.—下游压强。关a页第4页Jsc2022-8s由上述参数误差引入的不确定度为:_i，，.，:，:./刀。、:，Ui一Iu,宁口.十U.宁I一一甲n一IuV`P,+K令l装置真空度的不稳定性为d:;装置本底

7、引入的不确定度为d。.总不确定度为a=d:+d:+d。<}>装置在测量下限P=10-0Pa时，al=30o6i=1%as=100得a=15%(30)5.2一等标准膨胀法真空装置a.测量范围10-1-101Pab.不确定度图3真空度计算公式为:P=VPo(8)式中:，—传递阀的容积，V一校准室的容积，p。—起始压强，由上述参数误差引入的不确定度为:d，二侧d乞+6各+d二。标准分享网www.bzfxw.com免费下载<9)JIG2022-89共8页第5页装置本底真空度引木的不确定度为d:.总不确定度为d=d,+dz(10)装置在测量下限P=10-

8、ePa时，d,=3.5%d==1%得d二+4.5%-15%(30)5.3一等标准液体压力计a.测量范围101^-106Pab.不确定度因庄静态下用国家