纳米制造和测量技术产业化的研究

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1、纳米制造和测量技术产业化的研究第33卷第l2期2006年I2月光电工程Opto-ElectronicEngineeringVo1.33,No.12Dec.2006文章编号:1003—501x(2oo6)12一ooI5-04纳米制造和测量技术产业化的研究李文萍2,顾文琪(1.中国科学院电工研究所,北京l00080;2.中国科学院研究生院,北京l00039)摘要:从加工尺度的连续性和加工技术的完整性这一新的角度,分析了纳米加工产业化面临的问题,并提出了相应的解决方案一多离子柬聚焦投影技术多离子束聚焦投影技术将填补传统微机加工技术和半导体图形技术之间0.5～5lam的加工空白,并

2、会在l～lOOnm尺度间实现自上至下技术和自下至上技术的有机结合.纳米测量技术产业化的研究中,以提高扫描探针技术的样品质量作为出发点.在聚焦离子柬和扫描电镜平台上集成Ar离子束的"三束"显微镜能有效降低样品的损伤,大大推动了纳米测量技术的发展.关键词:多离子柬聚焦投影;掩模板;纳米制造;纳米测量中图分类号:TN305文献标识码:AResearchonindustrializationofnanofabricationandnanometrologyLIWen—ping'一.GUWen-qi'(I.InstituteofElectricalEngineering,theChi

3、neseAcademyofSciences,Beijing100080,China;2.GraduateSchooloftheChineseAcademyofSciences,Bering100039,China)Abstract:Scalecontinuityandtechnologicalintegralityofnanofabricationisstudiedinthispaper.Projectionfocusedionmulti-Beamwasbroughtforwardtosolveproblemsappearedinindustrializationofnan

4、ofabrication.Itclosesthepresentlyexistingmachininggapof0.5~5lambetweentheclassicalmicromachiningtechnologiesandsemiconductorpatterningtechnologies.Ithasachievedthecombinationoftop-downstructuringwithselectivebosom—upself-assemblytechniquesduringthescaleofl~100nm.Asregardtonanometrology,sca

5、nningprobetechnologyisreseal'chedindetail.A"three-beam"systemcaneffectivelyreducesampledamagebyintegratingArionbeamintoadual-beamsystemoffocusedionbeamandelectronbeam,whichwillacceleratethedevelopmentofnanometrology.Keywords:Projectionfocusedionmulti—beam;Maskplate;Nanofabrication;Nanometr

6、ology引言纳米科技研究纳米领域的表面材料科学及其应用,不仅包含以观测,分析和研究为主线的基础学科,还包括以纳米工程与加工学为主线的技术科学,所以,纳米科技是一个前沿基础学科和高技术融为一体的完整体系.它包括纳米制造技术纳米测量学,纳米体系物理学,纳米化学,纳米生物学,纳米材料学,纳米电子学和纳米摩擦学等分支学科,其中,纳米制造技术和纳米测量学是当前纳米科学研究的基础,在纳米科技中起着举足轻重的作用.纳米制造技术作为纳米技术的中心之一,是糅合其它各种学科的基本"艺术",是当前纳米科学研究的收稿日期:2oo6_04-22.收到修改稿日期:2006一10-i3作者简介!李文萍

7、(1976一),女(汉族).山东潍坊人,博士生,主要从事聚焦离子束光柱体和控制系统的研究E-mail:liwp(i~mailice+aCCi"Il6光电工程第33卷第l2期基础—它不仅为纳米科学各个领域的研究和拓展提供强有力的手段,而且是未来纳米产业的支柱,纳米制造技术的产业化是纳米科技从研究领域走向工业王国的必经之路,是衡量纳米科技发展的重要标志.而纳米测量学涉及纳米尺度的评价以及成份,微结构和物性的纳米级测量,对于涉及纳米材料和纳米器件的纳米制造技术而言,表征和测量是必不可少的环.因此,纳米制造技术的产业化的过