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1、雷射干涉仪操作手册明江贸易股份有限公司编制手册内容一.RENISHAW公司简介1二.雷射干涉仪原理2(1)波的速度3(2)干涉量测原理3(3)雷射干涉仪4(4)雷射干涉仪一般量测项目4三.注意事项5四.雷射干涉仪防治误差及保养5(1)雷射干涉仪防治误差5(2)雷射干涉仪保养方法6五.安全及注意事项6六.雷射光原理及特性7七.雷射硬件介绍8八.雷射架设流程图15九.定位量测原理及操作16(1)线性定位量测原理16(2)量测方式17十.雷射易发生之人为架设误差20(1)死径误差20(2)余弦误差21(3)
2、阿倍平移误差21十一.雷射操作之步骤22(1)软件安装之步骤22(2)执行量测软件32(3)定位量测硬件架设之操作33(4)镜组架设前之注意事项34(5)镜组架设之步骤34十二.定位量测之程序范例38十三.定位量测之操作步骤39十四.动态软件量测之操作52(1)动态量测硬件之架设52(2)执行量测之软件53十五.角度量设之操作56(1)注意事项56(2)镜组架设的种类57(3)镜组架测之步骤58(4)角度量测之软件操作步骤61十六.RX10旋转轴之量测66(1)说明66(2)硬件配件之介绍66(3)硬
3、件操作之步骤68(4)软件操作之步骤71十七.直度量测之操作79(1)直度之分类79(2)直度量测之硬件架设79(3)镜组架设之步骤80(4)直度软件之操作步骤84十八.Z轴直度镜组织架设方法89十九.垂直度量测之操作93(1)垂直度镜组架设之步骤93(2)软件操作之步骤99二十.平面度量测之原理与操作105(1)硬设备105(2)操作之原理106(3)镜组架设之步骤106(4)软件操作之步骤114RENISHAW公司简介RENISHAW为一家英国公司,产品营销全世界,主要产品有三次元量床之测头、测针
4、、BALLBAR循圆测试仪、雷射干涉仪････････等等及产品经NPL(英国国家标准)认证为ISO9001之合格厂商RENISHAW公司为机器设备制造商提供量测检验系统的仪器,提供各种用于机器精度检定的量测设备进而改善机器的精度RENISHAWML10Gold高性能雷射干涉仪是机床、三次元坐标量床及其它定位装置精度校准用的高性能仪器,由于最新电子技术的应用,使其雷射波长非常稳定并保持了低成本高效率的工作流程RENISHAW产品介绍：雷射干涉仪量测系统循圆测试仪器(BALLBAR)量测系统三次元测头测
5、针系列黏贴式光学尺系列1雷射干涉仪量测原理MICHELSONE0干涉原理两个频率振幅波长相同的雷射光波因相位变化而发生不同程度的干涉a.相长干涉(建设性干涉)b.相消干涉(破坏性干涉)相长干涉相消干涉21.波的速度V＝fλ若f，λconst.则Vconst2.干涉量测原理33.雷射干涉仪：一般雷射干涉仪均为氦氖雷射,其雷射光为红色波长0.6329μm长期稳定误差0.05ppm以下(10个波长相差0.5个波)其优点：a.测量范围大b.简化以往光学仪器结构c.测量速度快缺点：易受大气环境影响因波长常会随温
6、度、气压、湿度而变化(因雷射光以空气为传递介质)4.雷射干涉仪一般量测项目：(一)定位精度、距离量测、重复性(二)速度、加速度、动态量测(三)角度量测：a.垂直方向角度(pitch)b.水平方向角度(yaw)(四)真直度量测：a.垂直方向b.水平方向(五)直角度量测(六)平面度量测(七)平行度量测(八)旋转角度量测4注意事项：(1)三脚架置于待测物适当位置,地基稳固不可摇晃及避免人员和机器碰触的地方(2)三脚架之水平气泡调至中央位置固定(3)信号线之插头,红点表示向上,各线接头缺口部份确实吻合方可插入
7、(4)各电源线、信号线连接或拔除时,各仪器需均在OFF状态,否则会对仪器造成伤害(5)给予稳定独立电源,确实不漏电环境中使用(6)检查电源火线接ML10(雷射头)/EC10(环境补偿器)的电源线的棕色线,有保险丝保护ML10/EC10(因ML10/EC10只有在电源线的火线处有保险丝,如果电源插座接线时火线与地线是接相反的,会造成雷射头的保险丝是无保护状态,请注意查看再使用雷射)(6)短距离量测(50mm内)亦产生余弦误差,先校直度再作定位(7)对焦时避免反射回来的雷射光打在雷射光射出口处(8)工具机
8、先热机稳定后,再做雷射量测(9)操作中确认EC10(环境补偿系统)是监控中,每两分钟回馈一次(10)雷射干涉仪设备存放地点尽量保持干躁雷射干涉仪防治误差及保养1﹒雷射干涉仪防治误差(1)量测周围环境应尽量避免太阳光直接照射或突然流动的风产生扰流现象(2)装设干涉镜及反射镜在被测机台上时,必须牢固,否则机台移动会造成不可预期的量测误差(3)环境侦测感应器与材料温度感应器是否作动,必须于量测前确实检查,以免造成不必要的误差(4)要获得最佳精度并减少误差,建议
