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《表面等离子体近场光刻制作二维纳米阵列》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。
1、------------------------------------------------------------------------------------------------表面等离子体近场光刻制作二维纳米阵列显微、测量、微细加工技术与设备Microscope,Measurement,Microfabrication&Equipment李海军,林文魁,张晓东,王逸群,曾春红1,赵德胜1,王敏锐1,张宝顺1(1.中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,江苏苏州215125;2.中国科学院半导体
2、研究所,北京100083;3.中国科学院研究生院,北京100049)摘要:重点介绍了采用表面等离子体增强效应的近场光刻制作亚微米结构的二维点阵图形的技术。在研究亚波长纳米孔阵列超透射现象基本原理的基础上,应用有限差分时域(FDTD)算法数值模拟了周期性孔阵列的电场强度分布,讨论了纳米孔阵列所激发的表面等离子体激元提高近场光刻分辨率的微观机制。以金膜上的亚波长纳米孔阵列作为掩模版进行了接触式曝光实验,实际制作出了光刻胶的亚波长二维点阵图形,点阵图形的直径约为300nm,周期约为700nm。这种新型的微纳加工技术具有应用
3、简单、成本低等特点,在大规模二维纳米点阵的制作方面有一定的应用潜力。关键词:表面等离子体;近场光刻;纳米孔阵列;二维纳米阵列;金膜中图分类号:O436文献标识码:A文章编号:1671-4776(2010)01-0060-041,2,31,2,311——————————————————————————————————————------------------------------------------------------------------------------------------------Two
4、DimensionalNanoarrayFabricatedbyNear2FieldLithographyTechnologyBasedonSurfacePlasmonLiHaijun1,2,3,LinWenkui1,2,3,ZhangXiaodong1,WangYiqun1,ZengChunhong1,ZhaoDesheng1,WangMinrui1,ZhangBaoshun1(1.SuzhouInstituteofNano2TechandNano2Bionics,ChineseAcademyofScience,S
5、uzhou215125,China;2.InstituteofSemiconductors,ChineseAcademyofScience,Beijing100083,China;3.GraduateUniversity,ChineseAcademyofScience,Beijing100049,China)——————————————————————————————————————--------------------------------------------------------------------
6、----------------------------Abstract:Thenear2fieldlithographytechnologybasedonthesurfaceplasmontofabricatethesub2microntwodimensionallatticepatternwasintroduced.Basedontheprincipleofextraordinarytransmission,electricalfielddistributionoftheperiodicholearrayswas
7、simulatedandcomputedbyfinite2differencetime2domainmethod,andthemicromechanismofsurfaceplasmonenhancedtransmissionofthenear2fieldlithographywasdiscussed.Sub2wavelengthholearrayswerefabri2catedontheAufilmasamaskforacontactexposureexperiment,andthesub2wavelengthtw
8、odimensionallatticepatternofthephotoresistwasmade.Thediameterofthelatticepatternisabout300nm,andtheperiodisaround700nm.Thenewmicro2nanoprocessingtechnologyissimpleandwithlow
