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1、ST34°切割石英上表面横波的金属栅阵反射特性第43卷第1期2007年1月南京大学(自然科学)JOURNALOFNANJINGUNIVERSITY(NATURALSCIENCES)Vo1.43.NO.1Jan.,2007ST34.切割石英上表面横波的金属栅阵反射特性李勇,章德(1.南京大学近代声学研究所,南京,210093;2.南京电子器件研究所,南京,210016)摘要:由于表面横波(STW)器件具有温度稳定性好,声速高,功率处理能力强等优点,过去几年中,人们愈来愈重视发展STW器件.金属反射栅是谐振器及谐振型滤波器的重要组成部分,其性能的好坏对整个器件的性能
2、影响很大,此前对金属反射栅特性的一些理论计算是在假设每根指条的金属化比和金属膜厚都完全一样的条件下获得的模拟结果,而且模式转化也很难精确估计,这就带来了理论计算与实验结果的明显差异.研究的主要目的是在实验上揭示表面横波在金属反射栅阵下传播的基本特性,为石英上STW高频谐振型器件的设计与开发提供实验数据.文中对ST34.切石英上SAW与s1w的金属栅阵反射特性进行了实验比较.试验结果表明,在相同条件下STW的金属栅阵反射效率要高于声表面波(SAW)的反射效率,它与SAW金属反射栅阵的本质区别是不论短路还是开路栅阵,STW的金属栅阵反射中心都低于换能器的激发中心.为
3、验证实验结果,文中设计了915MHz的STW单端对谐振器,其中换能器与反射栅的频率差取值比声表面波小,而且反射栅也由301根减到201根,测试结果表明谐振器的插入损耗和Q值等关键参数没有明显退化.关键词:声表面波,表面横波,金属栅阵中图分类号:O426TheReftectionCharacteristicsofSurfaceTransverseWaveunderMetalStripsonST34.CutQuartzLiYong.ZhangDe(1.InstituteofAcoustics,NanjingUniversity,Nanjing,210093,Chin
4、a;2.NanjingElectronicDevicesInstitute,Nanjing,210016,China)Abstract:Becauseoftheadvantagesincludingtemperaturestability,highvelocityandenhancedpower-handlingcapability,surfacetransversewave(STW)deviceshavebeenbecomeincreasinglyimportantoverthelastfewyears.Asthemostfundamentalelemento
5、frWdevices.theperformanceofrWdevicesismainlydependonthemetalreflector,buttheprevioustheorysimulationsformetalreflectorarebasedonthefixedmetallizationparameters,thevariationofthemetalfilmthicknessandfinger-to-gapratioisignored,whilenotonlythevelocitybutalsotheelectromechanicalcoupling
6、coefficientisafunctionofthemetallizationparameters,moreoverthemodeconversionisdifficulttopredictaccurately.sotheagreementbetweentheoryandexperimentisnotverygood.TheprimarypurposeofthisinvestigationistodiscoverthebasicbehavioroftheSTWundermetalstripsinexperiments,andto*收稿日期:2006一O5—15
7、**通讯联系人,E-mail:liyong@ndsawocom?96?南京大学(自然科学)第43卷guidethedesignanddevelopmentofhighfrequencySTWresonatorsandresonatorfiltersonquartz.Inthispaper,thereflectbncharacteristicsofmetalstripsofsurfaceacousticwaves(SAW)andonST34.quartzarecomparedbvexperimenta1study.Theresultsindicatethat,in
8、thesamecondi
