高纯硅烷项目可行性研究报告

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1、----------------------------精品word文档值得下载值得拥有----------------------------------------------高纯硅烷项目可行性研究报告化学性质：高纯硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体。储存：1.在通风良好、安全且不受天气影响的地方存储。钢瓶应直立摆放。且保持保护性阀盖和输出阀的密封完好。2.存储区域应远离频繁出入处和紧急出口。储存区域内不应有火源，储存区内所有电器必须有防爆设施。易燃物存放区应与氧及氧化物存放区最少相距20ft。3.或者在中间放

2、置至少5英尺高的非易燃材料作为屏障，以保证能耐火半小时。储存区和使用区内应有“禁止吸烟和使用明火”的告示牌。4.存储温度不可高于125℉(52℃)。将空瓶与满瓶分开存放。避免过量存储和存储时间过长。5.使用先进先出系统。应考虑在储存区内安装测漏器和报警设备。使用：1.使用防火花工具。不要试图对装有高纯硅烷的钢瓶进行修理、调节或其他改动。2.如果出现故障或其他操作问题，请立即与最近的分销商联系。3.如有可能应避免单独一个人操作钢瓶。所有的操作都应这样进行——一旦发生泄漏，处理紧急情况的人员可以立即赶到。------------

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4、----------------------------4.用氢离子检测器监测高纯硅烷的修理和在空气中的扩散，用红外/紫外监测器监测火灾。所以的监测器都应有内锁，一旦发现问题立即自动切断高纯硅烷气源。5.监测系统应装备备用或应急电源。必须有遥控紧急开关，必要时可关闭高纯硅烷气源。6.高纯硅烷系统中不允许使用填压阀，只允许使用非填压的膜阀和波纹管阀。在其分配系统中应安装过流阀或过流开关。这样可以在下游管线发生爆炸时切断气源。这个开关阀应安装得离气源越近越好。7.一定不要拉、滚动或滑动容器。用合适的手推车来移动容器，不要试图抓住

5、气瓶的盖子来拎起它。保证气瓶在使用的全过程中为固定状态。8.用一个减压器或独立的控制阀安全地从气瓶内释放气体。用单向阀来防止倒流。不要用明火或其它附近的热源加热钢瓶的任何部分。9.一旦钢瓶与吹扫和钝化过的系统连接好，应缓慢仔细地打开钢瓶阀。如果使用者在操作气瓶阀时有困难，需停止使用，并与供应商联系。10.不可将工具(如：扳手，螺丝刀，等)插入阀盖内。否则会损坏阀门并引起泄漏。11.使用可调节的带扳手来打开过紧或生锈的阀盖。所有管路和相关设备接地。电器设备必须防火花和防爆。特殊注意事项:1.系统温度不可低于－170℉-----

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7、-----------------------------------(－112℃)，否则可能会吸入空气形成爆炸性混合物。2.不要让高纯硅烷与重金属卤化物或卤素接触，高纯硅烷与它们剧烈反应。应仔细吹扫系统，以防残留有脱脂剂，其中所含的卤素或其他含氯的碳氢化合物。3.用二至三倍的工作压力对系统进行全面加压检漏，最好使用氦气。此外，还应建立和执行常规的检漏制度。4.系统检漏或因其他原因打开之后，应使用抽真空或惰性气体吹扫的方法将系统中的空气吹扫干净。在打开任何装有高纯硅烷的系统之前必须用惰性气体全面吹扫系统。如果系统中的任何部分

8、有死角或可能残留高纯硅烷的地方，必须抽真空循环吹扫。5.应将高纯硅烷排放到一个专门处理它的地方，最好是将它燃烧掉。即使高纯硅烷浓度较低也十分危险，不能暴露在空气中。高纯硅烷在被惰性气体稀释成不可燃的气体后也可以排空。6.应按照美国压缩气体协会的要求储存和使用压缩气体。当地可能对储存和使用气