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《p型透明导电氧化物(tco)cualo2薄膜磁控溅射法光致发光(pl)光电性能论文》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。
1、p型CuAlO_2薄膜的制备与性能表征【摘要】CuAlO2是一种Ⅰ-Ⅲ-Ⅵ族间接禁带半导体,在可见光范围内透明,直接光学禁带宽度约为3.5eV,是最早发现的Cu基p型半导体。CuAlO2在光电领域有其独特的性能,具有十分广阔的应用空间和发展潜力。它的成功开发为实现半导体全透明光电器件,如透明二极管、透明晶体管提供了可能性,也推动了传统意义上透明导电氧化物(TCO)薄膜到透明氧化物半导体(TOS)薄膜的发展。本文采用射频磁控溅射法和PLD法在石英和单晶蓝宝石衬底上制备了CuAlO2薄膜,研究了CuAlO2薄膜的结构和光电性能,得到了以下结论：首先,由磁控溅射法直接生长
2、出来的薄膜不是CuAlO2的晶体薄膜。我们通过对Cu-A1-O薄膜进行退火处理,成功获得了沿(001)晶面择优取向的CuAl02薄膜。退火后的薄膜在可见光区域的透过率达到了60%以上。其次,确定了退火参数后,我们系统的研究了磁控溅射的各参数对CuAl02薄膜的结构和光电性能的影响。研究发现衬底温度,溅射功率和溅射时间对薄膜有较大的影响。当衬底温度小于300℃,溅射功率大于200W,生长时间小于2小时,薄膜呈现了c轴取向,薄膜致密,表面平整；而当衬底温度大于400℃溅射功... 更多还原【Abstract】CuAlO2isanovelⅠ-Ⅲ-Ⅵcompoundsemi
3、conductorwithaindirectbandgap.Itistransparentinthevisiblespectralrangewithadirectopticalbandgapofabout3.5eV,andthefirstdiscoveredCu-basedp-typesemiconductor.Ithasalotofpotentialapplicationsinoptoelectronicdevicesbecauseofitsuniqueproperties.Thediscoveryofp-typetransparentconductingoxid
4、e(TCO)madepossiblethefabricationoftransparentoxideoptoelectronicdevices,suchastransparentp-njunctiondiodesandtr... 更多还原【关键词】p型透明导电氧化物(TCO)；CuAlO2薄膜；磁控溅射法；光致发光(PL)；光电性能；【Keywords】p-typetransparentconductiveoxide(TCO)；CuAlO2film；magnetronsputtering；photoluminescence；photoelectricalproper
5、ties；摘要5-6Abstract6目录7-10第一章绪论10-251.1透明导电氧化物研究背景10-111.2研究现状和进展11-131.3CuAlO_2的晶体结构和电子结构13-151.4p型CuAlO_2的性能15-161.4.1CuAlO_2的光学性能151.4.2CuAlO_2的电学性能15-161.4.3CuAlO_2的其他性能161.5p型CuAlO_2的制备方法16-201.5.1p型CuAlO_2薄膜的制备方法16-191.5.1.1脉冲激光沉积171.5.1.2溅射法17-191.5.1.3化学气相沉积法(CVD)191.5.2p型CuAlO_
6、2粉末的制备方法19-201.5.2.1水热法19-201.5.2.2溶胶凝胶法201.6CuAlO_2材料的应用前景20-231.6.1透明太阳能电池和LED20-221.6.2臭氧传感器22-231.7本论文研究思路和内容23-25第二章薄膜样品的制备方法和性能表征方法25-352.1磁控溅射设备25-262.2磁控溅射辉光放电原理26-272.3脉冲激光沉积技术(PLD)27-302.4PLD技术优缺点302.6薄膜制备30-332.6.1靶材的制备30-312.6.2衬底的清洗312.6.3薄膜样品的制备过程31-332.6.3.1磁控溅射制备薄膜样品31-
7、322.6.3.2PLD制备薄膜样品32-332.7样品的性能表征33-35第三章CuAlO_2薄膜的组织结构35-463.1引言353.2靶材制备及成份分析35-373.3水热法合成CuAlO_2粉末37-393.4薄膜的样品制备以及成份分析39-433.5CuAlO_2薄膜的退火处理与性能研究43-453.6本章小结45-46第四章磁控溅射法生长CuAlO_2薄膜及性能研究46-664.1衬底温度对CuAlO_2薄膜的影响46-514.1.1结构分析46-484.1.2表面形貌分析48-494.1.3光学性能49-514.2生长时间对CuAlO_2薄膜的影响
