ftm-v膜厚监控仪技术使用说明书

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1、FTM-V膜厚监控仪技术使用说明书物工院薄膜组2011.03.2933FTM-V膜厚监控仪技术使用说明书目录FTM-V膜厚监控仪简介第一节主要技术规范  FTM-V监控仪技术规范 标准探头技术规范      带档板探头技术规范 折封、初次安装和清点    第二节编程、操作 面板描述      后板描述  参数设置（编程方法）     操作方法 人工终止镀膜   第三节安装与连接 仪器安装      连接后板接头 探头装配      安装探头校验 探头安装    第四节校正33 材料密度校正     工具因子的确定 材料声阻校正  

2、    工作原理 几点说明    第五节维护与修理 探头故障、原因、修理       仪器的保养第六节计算机连接FTM-V膜厚监控仪   欢迎使用FTM-V膜厚监控仪。   FTM-V膜厚监控仪使用说明书对探头安装、仪器操作、设备维护等方面都作了详细说明，因此在使用本仪器之前，请仔细阅读，相信会给您操作带来一定帮助，谢谢！FTM-V膜厚监控仪   本膜厚监控仪适用于真空蒸发、高频溅射、直流溅射、离子镀等镀膜，通过液晶显示使您能连续获取完整的沉积数据，包括速率、厚度和晶体振荡频率。仪器附有本公司生产的探头，晶体振荡器、6MHZ平凸石

3、英晶片和电缆连接线，这些附件提供较高的测量灵敏度，以适应您的低速率应用和重复镀膜过程中所需的精度。    FTM-V膜厚监控仪增设三种特殊控制功能，一是可以对一种或几种镀膜材料进行巡回连续镀膜，二是具有两个输出接头，允许您可以控制探头档板，源档板和沉积源等，三是为了提高镀膜精度和镀膜重复性，采用预镀膜和正式镀膜相结合方式。   我们还提供RS-232计算机接口，以便将您的个人电脑与FTM-V膜厚仪连接起来，通过计算机进行遥控操作和存储镀膜过程中的参数。33FTM-V膜厚监控仪外型参见图1.1 图1.1FTM-V膜厚监控仪   FT

4、M-V膜厚监控仪面板参见图1.2                                 图1.2FTM-V膜厚监控仪面板                            面板说明图中序号          名称                 说明  1                 液晶显示器    带背光高亮度显示器，屏现尺寸132*39mm  2                 工作层键      选择镀膜层，显示振荡频率，人工停止镀膜33  3                 设置键        设置镀

5、膜层参数  4                 ↓键          光标下移  5                 ↑键          光标上移  6                 巡回/定时键   设置镀膜巡回次数，设置定时时间  7                 0/删除键     数字0；镀膜层删除  8                 启动/开始键  预镀膜；正式镀膜  9                 指示灯        镀膜过程中信号指示  10                数字键       计算器

6、风格（0-9）数字输入在光标位置  11                微调电位器   调节液晶显示的背光度  12                电源开关     FTM-V电源第一节主要技术规范1.       FTM-V监控仪技术规范1.1       监测厚度显示范围0-99μ9999Å1.2       厚度显示分辨率1Å1.3       速率显示范围0-9999.9Å1.4      速率显示分辨率0.1Å1.5       监测时间显示范围1分-99小时1.6       时间显示分辨率1秒1.7      晶体振

7、荡频率自动显示，新鲜晶片振荡频率接近于6MHZ1.8      编程功能1.8.1    设置镀膜厚度1Å-99μ9999Å1.8.2    镀膜层数十六层331.8.3    材料密度，声阻抗贮存常用52种材料密度，声阻抗参数，可任意调用。1.8.4    工具因子0.001-99.9991.8.5    探头选择A、B、C、D任意选择1.8.6    镀膜巡回次数0-99次1.8.7    巡回时间1分-99分钟1.9       输入输出控制1.9.1    探头输入来源于晶体振荡器1.9.2    输出接头二个，分别控制探

8、头档板和源档板或镀膜源，触点容量为1A/36V1.10     显示1.10.1   编程显示用一帧幅面显示全编程内容1.10.2   工作层显示显示镀膜层次，镀膜材料和使用晶体振荡频率1.10.3   镀膜显示显示镀膜过程中的监测厚度、速率和晶体