ut光刻机报警灯设计与安装大学本科毕业论文.doc

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1、南京理工大学继续教育学院本科毕业论文（设计）学习中心：常州信息职业技术学院学号：541122130110姓名：许嘉佳专业：电子科学与技术指导教师：张红2015年3月13日24本科毕业论文（设计）指导教师指导意见表学生姓名：许嘉佳学号：541122130110专业：电子科学与技术毕业设计（论文）题目：UT1100光刻机报警灯设计与安装指导教师意见：（请对论文的学术水平做出简要评述。包括选题意义；文献资料的掌握；所用资料、实验结果和计算数据的可靠性；写作规范和逻辑性；文献引用的规范性等。还须明确指出论文中存在的问题和

2、不足之处。）指导教师结论：（合格、不合格）指导教师姓名所在单位指导时间24本科毕业设计（论文）评阅教师评阅意见表学生姓名：许嘉佳学号：541122130110专业：电子科学与技术毕业设计（论文）题目：UT1100光刻机报警灯设计与安装评阅意见：（请对论文的学术水平做出简要评述。包括选题意义；文献资料的掌握；所用资料、实验结果和计算数据的可靠性；写作规范和逻辑性；文献引用的规范性等。还须明确指出论文中存在的问题和不足之处。）修改意见：（针对上面提出的问题和不足之处提出具体修改意见。评阅成绩合格，并可不用修改直接参加

3、答辩的不必填此意见。）毕业设计（论文）评阅成绩（百分制）：评阅结论：（同意答辩、不同意答辩、修改后答辩）评阅人姓名所在单位评阅时间24论文原创性声明本人郑重声明：本人所呈交的本科毕业论文《UT1100光刻机报警灯设计与安装》是本人在导师的指导下独立进行研究工作所取得的成果。论文中引用他人的文献、资料均已明确注出，论文中的结论和结果为本人独立完成，不包含他人成果及使用过的材料。对论文的完成提供过帮助的有关人员已在文中说明并致以谢意。本人所呈交的本科毕业论文没有违反学术道德和学术规范，没有侵权行为，并愿意承担由此而产

4、生的法律责任和法律后果。论文作者（签字）：许嘉佳日期：2015年3月13日24目录一、背景概述二、评估方案三、各阶段具体工作四、附件（工作计划）五：控制器组装安全六：设计总结七：致谢八：参考文献24（论文）一背景概述ULTRATECH_STEPPER是美国上世纪80年代研发的光刻机，在国内半导体制程中，相对ASML,NIKON份额较少，但是在LED工艺制程中ULTRATECH_STEPPER研制出适合LED工艺制程的Stepper,所以在LED市场上占有一席之地，但因设备老旧故障频率较高，性能不稳定。我司有近9台

5、该设备仅配备一个作业员操作，UT1100设备控制系统发生报警信息仅仅会显示在主机，以及辅机显示屏上，没有其它声光报警输出。该UT1100光刻机wafer曝光时PRE,OAT,Image对准过程中会有“ZMODE”报警发生。并自动中断作业，等待作业员处理。发生频率较高，严重影响作业效率。以上导致作业人员不能及时发现设备异常传输停止以及曝光中断等异常。影响设备作业效率。需求安装报警连锁控制系统。24（论文）二评估方案(一)。供应商系统软件监控报警方案方案内容：在原来的设备控制系统安装硬件插件，并有相应软件收集报警信息

6、，分析报警关键字，建立报警规则逻辑匹配并转换报警信号为开关量，驱动报警器工作。(二)。关键点由供应商完成设计安装。软硬件监控，软件为主。新控制系统要融合原系统。(三)。成本费用估算硬件：2000元/每台软件：约47,000元安装费用：约10,000元总价约￥75,000（不含税）（四）。优点1，如果设备传输异常发生会实时输出报警，缩短响应处理时间。提高设备作业效率2，针对不同的报警信息可以预先设置连锁输出。报警响应比较全面。（五）。缺点24（论文）1，成本较高。2，软硬件安装后，对原有控制系统的有干扰隐患。（一）

7、。工程部自行设计电气连锁方案方案内容：控制器通过传感器监控发现光刻机关键位置的动作信息，分析判断设备工作状态。产生并输出相应的声光报警提示。(二)。关键点自行设计安装。软硬件监控。硬件为主。新控制系统电路上与原有的设备控制系统无任何电子关联。不会产生任何干扰。（三）。成本费用估算硬件：约1100元/每台软件：单片计算机软件自行开发安装费：自行安装总价约￥9900元（不含税）（四）。优点1，如果设备传输异常发生会输出报警，提高设备作业效率。2，成本相对较低。3，系统由STC单片机控制。新控制器电路上与原来的设备控制

8、系统无任何电子关联。不会产生任何干扰。（五）。缺点1,报警连锁响应时间相对略长。24（论文）结论：选择自行设计安装方案，解决报警连锁响应时间相对略长的问题。三阶段概述第一阶段：技术设计要求1，连锁报警系统结构简单，工作可靠。能自动运行。2，新报警连锁与原光刻机控制系统有光电隔离，不产生干扰。3，连锁报警响应时间尽可能短，提高及时处理效率4，电气方案有安全措施，电气元件有品