基于单片机真空镀膜机检漏仪设计论文

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1、毕业设计设计题目基于单片机真空镀膜机检漏仪设计学生姓名学号专业班级指导教师院系名称机械与汽车工程学院2013年6月7日目录中文摘要1英文摘要21引言31.1课题研究的背景与现状31.2真空检漏技术与设备的发展现状31.3课题研究的目的和意义41.4论文的主要工作和内容41.4.1主要工作41.4.2论文的安排结构52系统总体设计52.1电离真空计概述52.2热阴极电离真空计的工作原理62.3电离真空计检漏方法72.4系统总体框图93硬件电路和模块选择103.1数据采集模块电路103.1.1离子流放大电路103.1.2ADC0808硬件113.

2、1.3转换器部分电路113.2单片机89C51模块113.3数据显示模块133.3.1显示模块的芯片选择133.3.2LCD1602介绍143.4检漏报警电路153.5系统总体电路原理图154软件系统设计174.1Keil软件介绍174.2单片机C语言介绍174.3程序流程图184.4计算真空室内的压力值185仿真与调试205.1protues软件介绍205.2proteus和Keil调试仿真205.2.1调试的步骤及方法205.2.2程序仿真215.2.3总电路仿真21结论23致谢24参考文献25附录26附录A电路原理图26附录B程序代码2

3、7基于单片机真空镀膜机检漏仪设计摘要:随着现在生产技术的高速发展，对于真空镀膜检漏方法及检漏的准确度提出了越来越高的要求。基于单片机的真空计检漏法作为真空检漏的一种方法，因其性价高、操作方便等较多的优点得到越来越多的重视和应用。本文出于方便、经济、实用等方面考虑，对基于单片机真空镀膜机检漏仪进行设计研究。本论文采用电离真空规来测量真空镀膜室内压力，选用热阴极电离真空计为真空室内真空测量元件。转换部分主要由ADC0808控制，它主要的工作就是把电离规离子流信号进行转换，是从模拟量转换为相应的单片机需要的数字量再传送到数据处理模块。数据处理主要是

4、通过AT89C51进行处理，它主要的工作是把ADC0808传过来的数字量进行处理，产生相应的真空度送到显示模块进行显示。处理器判断真空室内的压力是否符合真空镀膜机的要求真空度，通过蜂鸣器和LED显示灯，进行报警，提示给使用者。关键字:电离真空计；AT89C51单片机；A/D转换；ADC0808；LM016L33Abstract:Withthemodernproductiontechniquesdeveloping,methodsforleakagedetectingandtheaccuracyofithashigherrequierment.

5、Thevacuumleakagedetectingbasedonsinglechipisoneofthevacuumleakagedetectingmethods,becauseoftheadvantageofit’shighcost-performanceratio,stableperformance,nopollution,convenientoperationandsoon,itgetsmoreattentionandapplication.Forthecondidetationofconvenience,economy,practic

6、altheseaspects,thispaperisaboutthedesignandresearchofvacuumcoatingmachineleakdetectorthatbasedonsinglechip.Inthispaperitusevacuumionizationgaugetotestthepressureinthevacuumchamber,choosethehot-filamentionizationgaugetobethetestingelement.A/DtransfermainlyrelyonADC0808comple

7、ted,itresponsetotranslatethecollectedanalogquantitytothecorrespondingdigitalquantityandtransformtothedatahandlingmodel.datahandlingmadebyAT89C51chip,itresponsetohandlingthedigitalquantityfromADC0808andtheproducethecorrespondingvacuumdegreetoshowontheshowmodel.Theprocessorju

8、dgethepressureinthevacuumchamberifmatchtherequirevacuumdegreeofthevacuumcoatingmac