推出具备5khz脉冲功能的ascentams

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1、推出具备5KHZ脉冲功能的ASCENT®AMS将电弧预防与电弧处理相结合，经济地提高低导电率靶材溅射稳定性，为新工艺开发保驾护航电弧预防脉冲技术最初诞生于20年前，而今AE在我们的优势旗舰Ascent®AMS平台中推出嵌入式5kHz输出。此功•出众的薄膜质量和产量•减少电弧对薄膜、基板和能帮助提高复杂导电氧化膜的镀膜质量，并将延续功率输设备的损坏出稳定性和可重复性，杜绝沉积率损失。•在高密度的电弧条件下，提供稳定的产量和功率传送•易于集成，控制灵活特点周期性电压反向会中和积累的电荷，主动抑制电弧，多数电弧在形成前便0VDC•5kHz(

2、120A)和2kHz(150A)输出--专为低导可消除。电率的薄膜优化0•ArcManagement0ASystem™(AMS)技术5kHz脉冲，10µsec关闭—客户可以针对金属和陶瓷靶材预设参数•Setpointcompensation™技术30kW时的电弧响应-600600—稳定的产量-500500-400400-300300ArcManagementSystem™(AMS)-200200和SetPointCompensation™专利电压电流-10010000技术结合，显著降低电弧对薄膜和设电压100-100电流备的危害，保障

3、稳定的产量。200-20051.52.53.5时间/μSec行业领先的电弧检测、关断和功率恢复速度，极大地降低电弧对薄膜和设备的危害。35kWSetPointCompensation™技术通过P平均自动调节功率输出来补偿灭弧期间功率关断造成的沉积率损失，显著改善功率输出的可重复性并维持溅射率。0kW接通电源电弧熄灭时间AdvancedEnergyIndustries,Shanghai上海市浦东新区祖冲之路2290弄展想广场1号楼1102室规格如有变更，恕不另行通知。电话：+86.21.5899.7915©2015AdvancedEne

4、rgyIndustries,Inc.版权所有。AdvancedEnergy®、ArcManagement传真：+86.21.5899.7901System™、Ascent®、andSetPointCompensation™是AdvancedEnergyIndustries,Inc.的商标。www.advanced-energy.net.cnZHO-AscentAMS-5kHz-250-010M5.15