微尘粒子particle counter

《微尘粒子particle counter》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在应用文档-天天文库。

1、微尘粒子含量测试计数器(ParticleCounter)标准操作程序厂牌：PARTICLEMEASSURINGSYSTEMSINC.型式：HPGP-101&LPC-101-HP-(2)壹、气体管路微粒子含量测试之目的与方法目的：在半导体厂，I.C.(IntegratedCircuit集成电路)的制造，加工过程中需要使用各种不同性质的气体做为制程用。这些气体称为制程气体，I.C.直接暴露在充满制程气体的空间，而芯片(Chip)内布满电路，这些密密麻麻的电路线与线间的线宽，只有0.35μm甚或0.25μm，故

2、制程气体中只要含有一颗0.1μm粒径的Particle便足以使I.C.造成短路而报销，更遑论是0.2μm以上粒径的微尘。因此对气体洁净度的要求极为严谨，洁净度要求标准除业主另有规定外，一般皆为每流入1立方呎的气体只容许0.1μm的Particle即0.1μ3m≦1Pc/Ft、0.2μm以上者必须为零。方法：将经过PN2(纯化氮气)吹净后的待测管路系统持续供应PN2气体，以出口末端为取样点与仪器取样气体入口端衔接。PN2气体流经仪器内部检测微尘粒径的激光束与传感器并经电子式演算出数量，每10分钟为一个Cyc

3、le(周期)即10分钟正好流过1立方呎的气体，仪器会自动打印出0.1、0.2、0.3、0.5、1.0、2.0、3.0、5.0八种粒径的Particle各总共有几颗。除业主有特别规定外，一般皆为测试3个Cycle，3个Cycle完成后，会再打印出一张最后的各种粒径个别总平均数。貳、测试前的注意事项1.大气中存有很多不纯物，尤以水份居多，须以纯净氮气冲吹，使其干燥以减少少份(Moisture)及微尘粒子(Particle)。2.微尘量愈多所须冲吹气量愈大，微尘量愈少所须冲吹气量越小。3.微尘粒径愈小所须冲吹气

4、量愈小，微尘粒径愈大所须冲吹气量愈大。4.管路越干燥微尘越不易附着沉积于管内，愈容易被吹净相对愈易于通过测试。5.当Purge时为防止来自SP1做为吹净气体用的PN2所渗杂之Particcle进入待测试管路系统及为控制气体流量，故Purge时须加装过滤能力0.1μm的Filter及Regulator。6.Particle测试与气密试验一样可以并联进行，并联管线点数亦应受业主1/6之规范，并因地而制宜自行判断决定何端为气源端、何端为出口末端及取样点，如BuckGas及SpecialtyGas之SP1。但应注

5、意的是，若测试系统上有CheckValve&Regulator。同样务必以上游入口端为吹气源入口，下游出口末端为Purge出口端及取样点，可单独取样测试或并联取样测试，若单独测试须将其他所有管路末端出口Cap住。（如图一）7.若为SpecialtyGas之SP2（不含VMB或VBP）测试，因管路上无CheckValve或Regrlator且同一机台之各种气体源均来自不同的VMB(VMP)。若要将在各个VMB(VMP)处之衔接点并联做为吹净气体之气源入口端恐有不便之处。因此以并联同一机台之不同气体衔接点为方

6、便之原则，并做为吹净气体之入口端，正常供气之上游入口端即VMB(VMP)处为出口端及取样点，同样可单独测试或并联测试。參、ParticleCounter操作程序1.在完成气密试验及氦测漏后，接着以SUSTube衔接待测试管路与PN2气源点进行Purge，Purge之时间虽以相当长的一段时间为佳，但亦须考虑工程进度(Schedule)及业主之要求规范。若工程进度紧迫时，可以在接PN2气源后以急速全开全闭之方式，利用瞬间强力冲刷的气体流动将Particle、Moisture及Oxygen吹净，此动作持续约50

7、次左右。若时间充裕则调节适当流量予以长时间Purge，如未加装Regulator则利用末端出口之Cap做为流量之调节，以听出气声及手触摸的方式调节适当吹净流量，过大会造成气体浪费，过小则不易吹净。2.用TeflonHose衔接取样点与仪器取样入口端。3.将仪器电源插头插入110VAC、60HZ之插座内。4.将仪器操作面板上之电源开关打开，仪器自动开机。5.操作面板之各项功能如下：6.屏幕出现正常画面如下：DATA196/03/2216:59:05ID：MICM3DETP.A:1STOPPEDSI：00:1

8、0:00TR：00:09:57SIZEDIFF2/60.1000.2000.300DIFF0.5001.0002.0003.000COUNTS5.000LREF8.47.若屏幕右方有Warning显示，可按ENTER键，屏幕会显示是什么原因造成Warning。一般若显示“PowerInterruption”则是代表上次电源中断时间，只要再按一次ENTER键即可消除并恢复正常画面。若仍有Warning出现则可能机器有问题，再按E