mems器件及相关加工技术

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1、研究生系列课程半导体微纳加工技术MEMS器件及相关加工技术主讲人：宁瑾赵永梅电话：82304492Email：ningjin@semi.ac.cn研究生系列课程-半导体微纳加工技术主要内容MEMS概述MEMS相关工艺介绍MEMS器件工艺设计总结研究生系列课程-半导体微纳加工技术研究生系列课程-半导体微纳加工技术研究生系列课程-半导体微纳加工技术-----Micro-electro-mechanical-system微电子机械系统------把信息传感、处理，机械执行机构以及其他一些微器件，按照集成电路的制造原则，以高密度，低成本的方式集

2、成在一个微系统中。研究生系列课程-半导体微纳加工技术研究生系列课程-半导体微纳加工技术什么是MEMS?研究生系列课程-半导体微纳加工技术研究生系列课程-半导体微纳加工技术MEMS的主要特点MEMS器件的优点是体积小、重量轻、性能稳定，通过IC等工艺可批量生产，成本低，性能一致性好，功耗低，谐振频率高，响应时间短，综合集成度高，附加值高，具有多种能量转化、传输等功能，包括力、热、声、磁及化学、生物能等。微机电学作为一门新兴的交叉学科，涉及到许多科学技术领域，包括机械学、电工学、电子学、化学、计算机科学、材料学、通讯、控制等方面。研究人员需

3、要对这些学科领域有广泛的、深入的了解，微机电系统才有可能逐步走向应用。MEMS工艺的可重复性MEMS产品性能的稳定性和可靠性MEMS产品的成品率MEMS产品的封装和测试MEMS器件与电路集成形成微系统MEMS发展面临的机遇和挑战研究生系列课程-半导体微纳加工技术研究生系列课程-半导体微纳加工技术惯性MEMS器件RFMEMS器件NEMS器件和新型材料MEMS器件MEMS器件的发展研究生系列课程-半导体微纳加工技术研究生系列课程-半导体微纳加工技术从科幻到现实科幻《奇异的旅行》内窥镜手术安全气囊微管道机器人……研究生系列课程-半导体微纳加工

4、技术研究生系列课程-半导体微纳加工技术研究生系列课程-半导体微纳加工技术研究生系列课程-半导体微纳加工技术WirelessSensorNetworksMasterModuleMultisensorModuleImplantedBio-medicalmoduleRS-23210-100mInternetWhatIsMEMS?–ApplicationAreasBiosensorsBiomedicalimagingLab-on-chipMicro-pumps,…ChemicalsensorsMicrofluidicsMassspectrosc

5、opy…InertialsensorsGassensorsPressure,liquidlevel,…MicromirrorsAll-opticalswitchesMicrophonesMicrospeakers…MicromirrorsInertialsensorsBiomedicalimaging惯性MEMS器件在汽车业中的应用（包括微陀螺、加速度计、压力传感器）研究生系列课程-半导体微纳加工技术研究生系列课程-半导体微纳加工技术SensorsActuatorsBio-MEMSOpticalMEMSMicro-FluidicsNan

6、o-Tools研究生系列课程-半导体微纳加工技术研究生系列课程-半导体微纳加工技术MEMS分类WhatIsMEMS?–RenownedExamplesMicromirrorarraysforcompactprojectorsAccelerometersforautomotiveairbagsMicromirrorsforopticalswitchingManyothersmicrostructuresTexasInstruments’DigitalMicromirrorDeviceAnalogDevices’AccelerometerL

7、ucentTechnology’s2Dmicromirrorforopticalswitch研究生系列课程-半导体微纳加工技术研究生系列课程-半导体微纳加工技术微型传感器研究生系列课程-半导体微纳加工技术研究生系列课程-半导体微纳加工技术加速度传感器AccelerometerSensefingersAnchorProofmassSpringsSelf-testactuatorsCurlmatchingframeproofmassyxzTri-axismicrostageThin-filmz-axisaccelerometerDRIEz-

8、axisaccelerometer研究生系列课程-半导体微纳加工技术研究生系列课程-半导体微纳加工技术微陀螺仪J.Micromech.Microeng.18(2008)115014N-CTsaiandC-Y