半导体物理(微电子器件基础 )知识点总结

半导体物理(微电子器件基础 )知识点总结

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1、半导体物理(微电子器件基础)知识点总结第一章?能带论:单电子近似法研究晶体中电子状态的理论?金刚石结构:两个面心立方按体对角线平移四分之一闪锌矿?纤锌矿:两类原子各自组成的六方排列的双原子层堆积而成(001)面ABAB顺序堆积?禁带宽度:导带底与价带顶之间的距离脱离共价键所需最低能量?本征激发:价带电子激发成倒带电子的过程?有效质量(意义):概括了半导体内的势场作用,使解决半导体内电子在外力作用下运动规律时,可以不涉及半导体内部势场作用?空穴:价带中空着的状态看成是带正电的粒子?准连续能级:由于N很大,每个能带的能级基本上可以看成是连续的?重空穴带:有效质量较大的空穴组成的

2、价带?窄禁带半导体:原子序数较高的化合物?导带:电子部分占满的能带,电子可以吸收能量跃迁到未被占据的能级?价带:被价电子占满的满带?满带:电子占满能级?半导体合金:IV族元素任意比例熔合?能谷:导带极小值?本征半导体:完全不含杂质且无晶格缺陷的纯净半导体?应变半导体:经过赝晶生长生成的半导体?赝晶生长:晶格失配通过合金层的应变得到补偿或调节,获得无界面失配位错的合金层的生长模式?直接带隙半导体材料就是导带最小值(导带底)和满带最大值在k空间中同一位置?间接带隙半导体材料导带最小值(导带底)和满带最大值在k空间中不同位置?允带:允许电子能量存在的能量范围.?同质多象体:一种物

3、质能以两种或两种以上不同的晶体结构存在的现象第二章?替位杂质:杂质原子取代晶格原子而位于晶格点处。?间隙杂质:杂质原子位于晶格的间隙位置。?杂质浓度:单位体积中的杂质原子数。?施主(N型)杂质:释放束缚电子,并成为不可动正电荷中心的杂质。?受主(P型)杂质:释放束缚空穴,并成为不可动负电荷中心的杂质。?杂质电离:束缚电子被释放的过程(N)、束缚空穴被释放的过程(P)。?杂质束缚态:杂质未电离时的中性状态。?杂质电离能:杂质电离所需的最小能量:?浅能级杂质:施(受)主能级很接近导(价)带底(顶)。?深能级杂质:施(受)主能级远离导(价)带底(顶)。?杂质补偿:当半导体中同时存

4、在施主杂质和受主杂质时,施主杂质和受主杂质之间的互相抵消作用。?多能级杂质:杂质多次电离,每次电离相应一个能级,称为多能级杂质。?双性杂质:同种杂质在同一半导体晶格位置上,既可释放电子呈施主?性,又可接受电子呈受主性。?位错:晶体沿某条线原子排列偏离周期排列,包括刃位错和螺位错。?等电子杂质:杂质原子替代同族原子。?等电子陷阱:等电子杂质形成的带电中心。第三章?状态密度:就是在能带中能量E附近每单位间隔内的量子态数。?费米分布:在热平衡状态下,电子按能量大小具有一定的统计分布规律,能量为E的一个量子态被一个电子占据时的概率满足公式f(E)?费米能级:Ef为一个类似于积分常数

5、的一个待定常数,称为费米能级,Ef是系统的化学势。?波尔兹曼分布:若E-Ef>>k0T时,导带电子统计分布从服从费米分布退化为服从玻耳兹曼分布,一个量子态被一个电子占据时的概率满足公式(自己填上)。。。。?杂质电离度:已电离的杂质分子占总的杂质分子的百分比。?少子、少子浓度:如果在半导体材料中某种载流子占少数,中起到次要作用,则称它为少子。多子浓度是指多子占总的载流子数的百分。?多子、多子浓度:半导体材料中某种载流子占大多数,导电中起到主要作用,则称它为多子。多子浓度是指少子占总的载流子数的百分。?热平衡半导体:是指半导体的电子系统有统一的费米能级,电子和空穴的

6、激发与复合达到了动态平衡,其浓度是恒定的,载流子的数量与能量都是平衡的。2?热平衡判据:?11?eE?EFk0Tn0p0?ni?非简并半导体:载流子遵从经典的波尔兹曼统计分布的半导体就是非简并半导体?饱和区(强电离区):当温度升高至大部分杂质都可以电离时称为强电离,满足这个条件的温度区间称为强电离区。?简并半导体:发生载流子简并化,载流子遵从费米统计分布的半导体就是简并半导体?强简并:?载流子冻析效应:温度低于100K时,施主杂质只有部分电离,尚有部分载流子被冻析在杂质能级上,对导电没有贡献,这种现象叫做低温载流子的冻析效应。?杂质能带:由许多杂质原子靠近、电子轨道相互重叠

7、并成键后即组成晶体,则其中的电子状态即由原子中的能级状态转变为能带状态,即杂质能级展宽为杂质能带。?禁带宽度变窄:当参杂浓度大于3*10^18每立方厘米时,载流子的冻析效应不再明显,杂质的电离能为0,电离率迅速上升至1,。使得禁带宽度由Eg减小为Eg’,所以重掺杂时禁带宽度变窄,称为禁带变窄效应。?带尾:杂质能带进入了导带或者价带,并与导带或者价带相连,形成了新的简并能带,使得能带的状态密度发生了变化,简并能带的尾部伸入到禁带中,称为带尾。?导带电子浓度:半导体导带中单位体积内电子的数量。?价带空穴浓度:半导体价带

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