干式涡旋真空泵的发展与关键问题

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1、涡旋真空泵是一种无油容积式机械真空泵，具有结构简单，有效容积利用系数大，压缩比大，在较宽的压力范围内具有较稳定的抽速，真空度高，驱动力矩小，功率变化小，振动噪声低，可靠性高等优点。本文介绍了涡旋真空泵的发展、目前不同结构型式产品的工作原理、间隙和密封、结构特点、存在的技术问题及相应的解决方法等。1、涡旋真空泵的研究进展　　涡旋理论是法国人LenoCreux于1905年以可逆转的涡旋膨胀机为题申请了美国专利。但由于当时的加工制造水平有限，涡旋盘涡旋齿型线的加工精度无法得到保证，涡旋机械在很长的一段时间内没有被制造出来

2、。20世纪70　　涡旋真空泵是一种无油容积式机械真空泵，具有结构简单，有效容积利用系数大，压缩比大，在较宽的压力范围内具有较稳定的抽速，真空度高，驱动力矩小，功率变化小，振动噪声低，可靠性高等优点。本文介绍了涡旋真空泵的发展、目前不同结构型式产品的工作原理、间隙和密封、结构特点、存在的技术问题及相应的解决方法等。1、涡旋真空泵的研究进展　　涡旋理论是法国人LenoCreux于1905年以可逆转的涡旋膨胀机为题申请了美国专利。但由于当时的加工制造水平有限，涡旋盘涡旋齿型线的加工精度无法得到保证，涡旋机械在很长的一段时

3、间内没有被制造出来。20世纪70　　涡旋真空泵是一种无油容积式机械真空泵，具有结构简单，有效容积利用系数大，压缩比大，在较宽的压力范围内具有较稳定的抽速，真空度高，驱动力矩小，功率变化小，振动噪声低，可靠性高等优点。本文介绍了涡旋真空泵的发展、目前不同结构型式产品的工作原理、间隙和密封、结构特点、存在的技术问题及相应的解决方法等。1、涡旋真空泵的研究进展　　涡旋理论是法国人LenoCreux于1905年以可逆转的涡旋膨胀机为题申请了美国专利。但由于当时的加工制造水平有限，涡旋盘涡旋齿型线的加工精度无法得到保证，涡旋

4、机械在很长的一段时间内没有被制造出来。20世纪70　　涡旋真空泵是一种无油容积式机械真空泵，具有结构简单，有效容积利用系数大，压缩比大，在较宽的压力范围内具有较稳定的抽速，真空度高，驱动力矩小，功率变化小，振动噪声低，可靠性高等优点。本文介绍了涡旋真空泵的发展、目前不同结构型式产品的工作原理、间隙和密封、结构特点、存在的技术问题及相应的解决方法等。1、涡旋真空泵的研究进展　　涡旋理论是法国人LenoCreux于1905年以可逆转的涡旋膨胀机为题申请了美国专利。但由于当时的加工制造水平有限，涡旋盘涡旋齿型线的加工精度

5、无法得到保证，涡旋机械在很长的一段时间内没有被制造出来。20世纪70　　涡旋真空泵是一种无油容积式机械真空泵，具有结构简单，有效容积利用系数大，压缩比大，在较宽的压力范围内具有较稳定的抽速，真空度高，驱动力矩小，功率变化小，振动噪声低，可靠性高等优点。本文介绍了涡旋真空泵的发展、目前不同结构型式产品的工作原理、间隙和密封、结构特点、存在的技术问题及相应的解决方法等。1、涡旋真空泵的研究进展　　涡旋理论是法国人LenoCreux于1905年以可逆转的涡旋膨胀机为题申请了美国专利。但由于当时的加工制造水平有限，涡旋盘涡

6、旋齿型线的加工精度无法得到保证，涡旋机械在很长的一段时间内没有被制造出来。20世纪70　　涡旋真空泵是一种无油容积式机械真空泵，具有结构简单，有效容积利用系数大，压缩比大，在较宽的压力范围内具有较稳定的抽速，真空度高，驱动力矩小，功率变化小，振动噪声低，可靠性高等优点。本文介绍了涡旋真空泵的发展、目前不同结构型式产品的工作原理、间隙和密封、结构特点、存在的技术问题及相应的解决方法等。1、涡旋真空泵的研究进展　　涡旋理论是法国人LenoCreux于1905年以可逆转的涡旋膨胀机为题申请了美国专利。但由于当时的加工制造

7、水平有限，涡旋盘涡旋齿型线的加工精度无法得到保证，涡旋机械在很长的一段时间内没有被制造出来。20世纪70　　涡旋真空泵是一种无油容积式机械真空泵，具有结构简单，有效容积利用系数大，压缩比大，在较宽的压力范围内具有较稳定的抽速，真空度高，驱动力矩小，功率变化小，振动噪声低，可靠性高等优点。本文介绍了涡旋真空泵的发展、目前不同结构型式产品的工作原理、间隙和密封、结构特点、存在的技术问题及相应的解决方法等。1、涡旋真空泵的研究进展　　涡旋理论是法国人LenoCreux于1905年以可逆转的涡旋膨胀机为题申请了美国专利。但

8、由于当时的加工制造水平有限，涡旋盘涡旋齿型线的加工精度无法得到保证，涡旋机械在很长的一段时间内没有被制造出来。20世纪70年代开始，能源危机的加剧和高精度数控机床的出现为涡旋机械的发展带来了机遇，1973年美国ArthurD.Little(简称A.D.L)公司首次提出了涡旋氮气压缩机的研究报告，展现出涡旋压缩机所具有其他压缩机无法比拟的优点，从而涡旋压缩机大