超净实验室设计技术方案

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1、超净实验室设计技术方案一、工程概述项目名称：济南量子技术研究院超净实验室工程地点为：济南市高新开发区济南量子技术研究院将建设洁净室共1400平方米，分地上一层和地下一层。本工程为超净室的净化空调安装及附属装修工程。净化装修区域面积约为700m2，其余为设备间、走廊、展厅和附属设施等。二、工程内容1.原场地吊顶、隔墙、风管等拆除工程，及设备搬运定位；2.超净室彩钢板结构和天花装修工程；3.非净化区域空调、照明、及装饰工程；4.超净室净化空调排风及FFU安装工程；5.超净室照明电气工程；6.超净室防静电地板（可能含有高架通风地板）工程；7.超净实验室真空、无油空压、氮气等工艺管路工程

2、；8.实验室低压配电工程；9.实验室监控弱电系统工程；10.实验室消防系统工程；11.实验室自来水供水，纯水制备供给系统工程。三、参数要求室内设计参数标准1、超净室洁净度：百级；（详见图纸要求）a)白光区面积约为65M2;净化级别：百级，控制粒径0.3微米。实际面积会根据设计需求调整。b)黄光防曝光区约为65M2;净化级别：百级，控制粒径0.3微米。实际面积会根据设计需求调整。c)百级洁净区域层高有限，并且考虑以后可能会增加设备，因此最好采用侧回风方式，但是必须保证整体百级整体区域的洁净度满足要求。若必须采用高架地板，那在设计中必须考虑设备搬运通道，和灵活的承重更改。d)进入超净

3、实验室人员需经过换衣换鞋，要求一级更衣室洁净等级不低于：百万级，控制粒径0.5微米；要求二级更衣室洁净等级不低于：十万级，控制粒径0.5微米；e)设计合理的人流物流通道，在满足使用功能的前提下，尽可能满足参观和设备搬入的需要；f)根据使用要求，对空调净化、通风排气及相应的配电、给水、排水、空调、压缩空气及纯水系统进行管路设计。设备间和仓库要加独立排风系统。g)提供保证系统自动运行的节能运行设计方案和提高运行可靠性的方案。2、超净室温度：22±2℃3、超净室湿度：50±5%4、照度：超净室为250Lx-300Lx，更衣室、普通办公区域为150Lx-200Lx，其中黄光区应用无紫外线

4、照明；5、超净室噪声：净化区≤65dB(A)；6、吊顶高度：2.5m7、顶部回风夹道高度0.6米8、室内正压：超净室与普通空调房间保证正压＞10Pa；非净化空调房间与室外保证正压＞5Pa；9、接地采用ESDS2020标准，电压±10%；10、空调净化系统的新风量是在维持室内正压和满足室内工作人员卫生要求这二者中取大值。四、材质要求，设备参数品牌要求1、无尘室结构部分双层吊顶：采用手工玻镁板，钢板为0.6mm，热镀锌处理+抗静电涂层，灰白色；夹心材料为12mm孔径铝蜂窝+双层5mm厚玻镁板；板材品牌可参考上海艾绿；吊顶龙骨T-GRIDT型龙骨。隔墙：采用手工玻镁板，钢板为0.6mm

5、，热镀锌处理+抗静电涂层，灰白色；夹心材料为12mm孔径铝蜂窝+双层5mm厚玻镁板；品牌可参考上海艾绿；地槽采用升降可调式一体单双R马槽；拼接采用中字铝形式。地面：基面采用3mm厚防静电PVC片材，铜箔规格为20mm*0.05mm，品牌采用进口阿姆斯壮。百级是否采用高架地板待定。门窗：门采用成品钢制气密门，表面防静电涂层，仓库可考虑专业防火门。窗采用成品中空玻璃气密窗，玻璃为3C钢化玻璃。风淋室和传递窗都采用304或316不锈钢材质。2、无尘室暖通设备部分冰水机组：采用变频双螺杆冷水机组，地上地下实验区域共用一套系统，可以考虑非净化区域采用独立系统，从节能角度设计。冰水机组指定开

6、利品牌。全新风处理设备MAU：设计前置表冷段除湿降温；具备转轮除湿，高效除湿；设计后置表冷段备用深度除湿，调节温度；设计电加热段，调节新风温度；设计电极加湿器，调节室内湿度。整机指定多乐品牌。冷水塔：采用闭式冷却塔，指定台湾良机品牌。风机过滤单元FFU：配置直流EBM315电机；配置进口U15超高效滤网；外壳采用合金板；设计群控系统；整机指定采用美埃。排风系统：排风分为两部分；百级区域要设计酸碱排风直接连接化学通风柜，要设计连接废弃环保处理装置；防腐动力风机，电机品牌采用西门子。其余为普通排风。盘管：10万级区设计带引流风机的FCU盘管，保证通风换热；百级区设计干盘管；普通实验区

7、设计FCU湿盘管；风机盘管设计双层冷凝水接水盘。空调水系统水泵：采用防雨外置水泵，指定格兰富品牌。3、无尘室工艺设备部分空压系统：配置进口纯无油空压机（螺杆机或旋片机），指定品牌英格索兰或阿特拉斯；配备低露点冷干机（露点-20℃）；配置免检的不锈钢储气罐，指定品牌上海申江；压缩空气出气末端要三级除油除湿过滤。真空系统：系统采用一用一备的进口干泵，品牌参考贝克、普旭、莱宝。纯水系统：出水电阻率达到>18兆欧；设计反渗透装置，可以配备一用一备；设计EDI模块和抛光混床装置，设计在线监