基于mems的无阀微泵驱动式微混合器

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1、本科生毕业论文（设计）中文题目基于MEMS的无阀微泵驱动器微混合器英文题目Designandmodelingofelectromagneticactuatorinmems-basedvalvelessimpedancepump学生姓名王君颖班级411203班学号14120328学院机械科学与工程学院专业机械工程及自动化指导教师徐天爽职称讲师II摘要本文设计了一种基于MEMS的无阀泵驱动的微混合器，该混合器的PDMS基片集成了无阀压电微泵、扩张管收缩管流道。该主动式混合器不仅能够达到较好的混合效果和速率，而且通过调节微混合器的输

2、入电压及频率可以精确控制微流体混合反应。这一点克服了当且主动式混合器存在的缺陷。因此本文所设计的是一种主动性强、高效、可控的新型微流体混合器。研究过程如下：通过查阅了无阀微泵和微流体混合器的相关文献和资料，对国内外研究现状有了总体的了解，在理论学习后，研制出本文所提出的无阀微泵及微流体混合器的总体方案。利用gambit、fluent等软件对微泵泵腔内的微流体动态情况实施了仿真研究，得出了微泵内各项几何尺寸和输入信号变化对流量和背压的影响，从而优选出最佳的几何参数和工作参数，在此基础上，制作加工出无阀微泵并进行了工作性能测试，并

3、对仿真数据和测试结果实施了对照分析。在已知几何参数为：整机尺寸为50毫米×50毫米×5毫米，进口流道夹角为90度，流道断面大小为0.3毫米×0.3毫米情况下，加工出微流体混合器，并进行了初步的金纳米粒子混合实验，研究了在不同电压和频率条件下对合成的金纳米粒子形貌的影响，以验证本文设计的混合器在金属纳米粒子合成方面的可行性。关键词:无阀微泵；微混合器；金属纳米粒子；可控合成IIAbstractThispaperpresentsaMEMS-basedmicrovalvelesspumpdrivenmixer，ThemixerPDM

4、Ssubstrateintegratedmicrovalvelesspiezoelectricpump,expansiontubeshrinktubeflowpath.Theactivemixercannotonlyachievebettermixingandrate，Andbyadjustingthemicromixerinputvoltageandfrequencycanbepreciselycontrolledmicrofluidicmixingreactor，Thisistoovercomethecurrentacti

5、vemixerdefects.Therefore,thisarticleisdesignedisamotivated,efficientandcontrollablenovelmicrofluidicmixer.Suchamixerforsynthesizingmetalnanoparticlescanplayagreateradvantage.Studyasfollows:Accesstorelevantdocumentsandinformationofvalvelessmicropumpmicrofluidicmixer,

6、Haveageneralunderstandingofthestudyaboutstatusquoathomeandabroad.Onthebasisofpredecessors,Makethedesignofthevalvelessmicropumpmicrofluidicmixerandoveralldesign.Usegambit,fluentsoftwaremicrofluidicflowvalvelessmicropumpwithinthesimulationanalysis,Cometoinfluencethege

7、ometryandoperatingparameterswithinthevalvelessmicropumpflowrateandbackpressure,Wherebypreferablythebestgeometricparametersandoperatingparameters.onthebasisofit,Productavalvelessmicropumpandmakeaperformancetest.Andthesimulationandexperimentalresultswerecomparedandana

8、lyzed.Knownasthegeometricparameters:thewholesizeof50mm×50mm×5mm,theinletflowchannelangleis90degrees,theflowchannelcross-sectionaldimension