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时间:2018-07-08
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1、CoventorWareCoventorWare2010已经正式发布MEMS器件的复杂性正在增加,它们能够提供的功能也是如此。我们的CoventorWare平台已成为领先的所有的MEMS设计阶段的设计和仿真套件——从系统级建模到详细的三维仿真与优化,到制造方面的改善。随着2010版本发布,我们不仅改善了性能,而且加强了仿真功能,可以迅速解决新的令人振奋的MEMS应用的设计要求。CoventorWare软件套件具有足够的MEMS的特定功能,使您能够:以更低的成本开发MEMS器件更快地实现生产力,以MEMS设计而不是软件为重点有效地设
2、计新的MEMS产品,将它们从开发迅速转移到生产迅速开发并优化设计和工艺选择将现有的设计与工艺采纳入新的市场中有效地满足来自客户需求的更改在开发中节省制程周期和提高产量CoventorWare的基本内容CoventorWare由可单独使用以补充现有的设计流程,或者共同使用以提供一个完整的MEMS设计流程的4个主要模块组成。其中包括Architect,Designer,Analyzer和Integrator。该工具套件的完整性和模块间高度的一体化程度提高了整体效率和易用性,使用户摆脱了在多个独立工具设计间手工传递数据的负担。ARCH
3、ITECT:快速组装来自独特和全面的MEMS积木库中的MEMS器件,并在一个基于原理图的系统级建模环境中仿真其与周边电子部分的行为DESIGNER:定义制造过程中,在MEMS版图编辑器中绘制布局版图,并自动生成和可视化三维实体模型,以输入算法器中ANALYZER:使用此最高级的3D场算法器的综合套件,分析、理解和验证任何基于MEMS或微流体设计的物理行为,优化MEMS特定的耦合物理条件INTEGRATOR:提取与ARCHITECT兼容的线性和非线性降阶MEMS模型。1-ARCHITECT™系统级设计与分析时,直接从ARCHITECT自带
4、的31000多个元器件库里,调取包括机电、电磁、压电、压阻、光学,流体,RF,控制以及各种电学模型。结合MEMS加工工艺及材料参数,机械结构及周围的电路及控制部分,进行混合技术仿真。Architect支持所有标准模拟仿真分析,包括:直流工作点分析、直流扫描分析、时域分析、频域分析、两端口分析、极零点分析、傅立叶分析等。ARCHITECT还可以进行敏感性分析(逐个列出其他参数对目标参数的影响程度,显示设计中的关键参数),蒙得卡罗成品率分析(确定材料参数及几何公差对系统参数的影响)。1,Architect与其它软件的关系:Architect
5、可以与Matlab-Simulink,Cadence,Mentor环境进行协同仿真;亦可导入Pspice,Hspice,Spice2,Spice3,MASTModels以及NetlistsFiles;Architect生成的版图可以直接导入DESIGNER,LEdit,Virtuoso等版图编辑器Architect生成的3D模型可以导入DESIGNER,SolidWorks,IDEAS,Ansys等。2,下图所示,Architect可以对MEMS结构进行谐振(包括NonlinearFrequencyResponse),瞬态,机电耦合(比
6、如Pull-in),接触(包括接触力,接触面积,接触电阻),跌落(DropTest),光机电热耦合,磁机电耦合,参数研究,敏感性,蒙得卡罗成品率等等分析。在分析的过程中还可以将阻尼,黏附力,惯性力,Coriolis力等充分考虑进来。3,如下图所示,Architect亦可对MEMS结构与电路部分进行耦合分析4,下图所示,Architect亦可对MEMS结构与PID部分在一个环境下仿真。(如下图所示的力反馈结构,或各种悬浮结构)(Architect在惯性器件设计方面的典型用户有AnalogDevices,Honeywell(MN),Schn
7、eider,GeneralElectric,NorthropGrumman,Bosch,QinetiQ,STMicroelectronics,Delphi,Temic,MitsubishiElectric,Tokimec,Sony等)5,如下图所示,Architect环境可直接读取有限元分析结果,下图所示即由Architect环境读取有限元分析结果后,由Architect环境下对压阻式压力传感器整个系统进行设计与分析。6,右图所示为由Architect环境来分析管壳变形对MEMS器件性能的影响,选择键合位置。7,ArchitectSCE
8、NE3D?:从CoventorWare2007开始,ARCHITECT的系统示意图及分析结果可直接进行三维显示。将极大的缩小gyroscopes,accelerometers,RFswitches,RFre
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