工业和信息化部有关发布《首台（套）重大技术装备推广应用

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工业和信息化部关于发布《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2015年版）》的通告工信部装【2015】63号为贯彻落实国务院关于促进装备制造业由大变强的总体要求，加快推进重大技术装备研制和推广应用，现发布《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2015年版）》。特此通告。附件：首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2015年版）工业和信息化部2015年2月2日33 附件首台(套)重大技术装备推广应用指导目录（2015年版）二O一五年二月33 目录1、清洁高效发电装备42、超、特高压输变电装备53、大型石油、石化及煤化工成套装备74、大型冶金、煤炭及矿山装备95、轨道交通装备116、大型环保及资源综合利用装备137、大型施工机械158、新型轻工机械169、民用航空装备1811、成形加工装备2412、新型大马力农业装备2713、电子及医疗专用装备2814、重大技术装备关键配套基础件2933 1、清洁高效发电装备编号产品名称单位性能技术参数备注1.1核电机组（三代核电机组）百万千瓦级1.1.1核岛装备：反应堆压力容器、蒸汽发生器、稳压器、反应堆堆内构件、控制棒驱动机构、环行吊车、主管道、安全注入箱、主装备支撑、数字化仪控系统、堆芯补水箱、安全壳、非能动余排换热器、结构模块、核级锆材、核燃料元件等套满足三代核电标准：堆芯熔化概率≤1.0*10-5/堆年，大量放射性向环境释放概率≤1.0*10-6/堆年，设计寿命≥60年1.1.2常规岛装备：汽轮机、汽轮发电机、发电机保护断路器、主变压器、除氧器、汽水分离器再热器、高低加热器等套满足三代核电标准：半转速，设计寿命≥60年1.2高温气冷堆1.2.1核岛装备：反应堆压力容器、蒸汽发生器、热气导管、金属堆内构件、石墨堆内构件、碳堆内构件、主氦风机、控制棒系统装备、吸收球停堆系统装备、燃料装卸系统装备、乏燃料贮存系统关键装备、主蒸汽隔离阀、数字化仪控系统、球形燃料元件等套1.实现第四代核能系统安全特性，消除大规模放射性释放，无需场外应急2.堆芯出口温度≥750oC3.燃料元件可承受高温≥1620oC4.单模块热功率≥250兆瓦1.3大型火电机组1.3.1超临界循环流化床锅炉套功率≥350MW；锅炉主蒸汽压力≥25MPa；流量≥1900吨/小时；SO2排放≤440mg/Nm3；NOX排放≤150mg/Nm3；发电效率≥42%1.3.2大型整体煤气、天然气-蒸汽联合循环机组（IGCC）套循环联合功率≥450MW；燃气轮机进口初温≥1450℃；热效率≥48%1.3.3高效超超临界锅炉套功率≥600MW；蒸汽压力≥28MPa；蒸汽温度≥610℃1.3.4超临界燃用准东煤锅炉套功率≥350MW；燃烧准东煤比例≥80%1.3.5高效二次再热超超临界机组套功率≥600MW；蒸汽压力≥30MPa；蒸汽温度≥620℃33 1.3.6超超临界供热机组套功率≥600MW；蒸汽压力≥25Mpa；1.3.7联合循环预热锅炉套输出功率≥300MW1.3.8高效超临界汽轮机组套输出功率≥600MW1.4水电机组1.4.1百万千瓦级水电机组套额定功率≥1000MW1.4.2大型抽水蓄能套输出功率≥400MW1.4.3可变速抽水蓄能机组套额定功率≥100MW1.4.4高水头大容量水轮发电机组套水头≥700m；冲击式大型水轮发电机组1.4.5海洋能发电机组套潮流能、潮汐能发电机组1.5大型风力发电机组及关键部件套额定功率≥5MW；设计寿命≥20年关键部件：叶片、主轴、齿轮箱、电机、控制系统等2、超、特高压输变电装备编号产品名称单位主要技术指标备注2.1特高压交流变压器用油纸电容式套管只额定电压1100kV，额定电流2500A/3150A，工频耐受电压（5分钟）≥1200kV，雷电冲击耐受电压：全波峰值≥2400kV、截波峰值≥2760kV、操作冲击耐受电压≥1950kV，弯曲耐受负荷≥5000N2.2特高压直流换流变压器用阀侧套管只额定电压800kV，额定电流≥3265A，工频耐受电压（5分钟）≥1200kV，雷电冲击耐受电压：全波峰值≥2100kV、截波峰值≥2310kV，操作冲击耐受电压≥1760kV，直流耐压电压≥1435kV，极性反转电压≥1115kV，弯曲耐受负荷≥5000N2.3特高压输变电开关设备用瓷制出线套管只额定电流≥6300A，额定雷电冲击耐受电压≥2400kV，额定短时工频耐受电压≥1100kV，端子拉力≥8000N2.4特高压输变电开关设备用操作机构台操作功率≥16kJ，额定油压≥57.3MPa，额定操作电压DC220V，行程205mm33 2.5大型水电机组用发电机保护断路器台额定电压≥24kV，额定电流25kA/27kA，额定短路开断电流≥160kA，额定工频耐受电压≥80kV，雷电冲击耐受电压≥150kV2.6柔性直流输电用直流侧电容器台电容量≤15mF，杂散电感≤40nH，绝缘耐压≤3kV2.7柔性直流输电用大功率器件及驱动装置套额定电压≥3300V，电流≥1500A33 3、大型石油、石化及煤化工成套装备编号产品名称单位主要技术指标备注3.1百万吨级乙烯装置3.1.1聚乙烯、聚丙烯装置混炼挤压造粒机组套年产量≥30万吨；主电机功率≥10MW3.1.2大型裂解炉套单炉年产量≥30万吨；热效率≥93%3.1.3百万吨级乙烯工艺螺杆压缩机套排气量≥1000立方米/分；功率≥5500kW3.1.4驱动往复式压缩机用大型防爆同步电动机套电机功率≥9600kW3.1.5仪表自动化集散控制系统套系统响应时间≤30ms3.1.6大型往复式迷宫压缩机套流量≥11000Nm3/h；活塞力≥30吨；压力≥20MPa3.1.7百万吨级乙烯装置配套的裂解气压缩机组(含驱动汽轮机)套驱动功率≥56000KW3.1.8百万吨级乙烯装置配套的丙烯压缩机组(含驱动汽轮机)套驱动功率≥33000KW3.1.9百万吨级乙烯装置配套的乙烯压缩机组(含驱动汽轮机)套驱动功率≥14000KW3.1.10百万吨级乙烯成套装置管控一体化系统套系统规模≥2万I/O点,实现工艺过程管理和控制一体化系统平台3.2百万吨级精对苯二甲酸装置(PTA)3.2.1大型多轴工艺空气压缩机组（含压缩机、汽轮机、尾气透平、电机及齿轮箱）套功率≥20000kW3.3油气长输管道装备3.3.1天然气长输管道离心压缩机组套流量≥1000000Nm3/hr；入口压力≥6Mpa；出口压力≥10Mpa3.3.2驱动用工业燃气轮机套功率≥30MW3.3.3长输管线高压大口径紧急切断球阀台公称通径≥1m；公称压力：符合Class600、900等级3.3.4大容量高转速变频调速无刷励磁同步电机套额定转速≥4800rpm；功率≥20MW3.4大型天然气液化装备3.4.1预冷压缩机组套功率≥10000kW；多变效率≥83%3.4.2深冷混合冷剂离心压缩机组套功率≥15000kW；多变效率≥83%33 3.4.3大型高速变频电机台功率≥40MW3.4.4大型高效板翅式换热器冷箱套滿足混合冷剂LNG工艺技术要求；单个模块能力天然气流量≥400万NM3/天；压力等级≤5.5—8MPa；換热器夾点温差≤2-3.5度3.4.5大型缠绕管换热器套滿足混合冷剂LNG工艺技术要求；天然气流量≥800万NM3/天；压力等级≤5.5—8MPa；換热器夹点≤温差4—5度3.4.6大型天然气液化储罐套容积≥180000立方米3.4.7液化天然气（LNG）冷能回收空分装备套能力：液O2+液N2≥10000Nm3/h；LNG压力≥8MPa3.4.8大型天然气液化自动化控制系统成套装备套系统规模≥5万I/O点3.4.9丙烷制冷压缩机组台流量≥80000kg/h；轴功率≥5800KW；工作转速≥7000r/min3.4.10液化天然气（LNG）大口径低温高压铸造球阀套工作压力≥900LB；温度≤-196℃3.4.11液化天然气（LNG）用大型开架式气化器套气化能力≥150吨/小时，-196℃≤温度≤20℃，耐压≥9.0MPa3.5陆地油气钻采装备3.5.1特种陆地钻机套钻井深度≥12000米/特深井；钻井深度≥7000米/极地；钻井深度≥7000米/全拖挂钻机；钻井深度≥3000米/斜井钻机；钻井深度≥5000米/智能钻机3.5.2连续油管作业装备（连续管钻机、连续管作业机）套注入头最大额定拉力≥380kN，最大强行下入能力≥190kN3.5.3大型压裂成套装备套压裂泵车单机最大输出功率≥3000HP，工作压力≥140MPa3.5.4大型防喷器及其远程控制系统套公称压力：14-70MPa；调压范围：0-14MPa；压力控制器调定范围：18-21MPa3.5.5不压井作业装备（带压作业修井机）套提升能力（钩载）≥900kN；下压力≥300kN；动密封压力≥14MPa3.5.6液氮泵车（氮气泡沫压裂泵车）套最大压力时氮气排量≥500Sm3/min；蒸发器最高工作压力≥70Mpa；蒸发率≤0.8﹪3.5.7特深井测井装备套绞车容量≥10000m；提升力≥85kN；提升速度≥20m/h3.6煤化工成套设备3.6.1高压油煤浆进料隔膜泵组套出口压力≥20Mpa；工作温度≥290℃33 3.6.2液化反应器离心循环泵组套出口压力≥20Mpa；工作温度≥480℃3.6.3大型气流床气化炉成套装备（煤制化肥）套投煤量≥1000吨/天；燃烧嘴使用寿命≥8000小时3.6.4大型内压缩流程空气分离成套装备（含空气压缩机组）套装备容量≥10万Nm3/h3.6.5大型水冷壁气化炉成套装备（煤制油）套投煤量≥2000吨/天；煤烧嘴使用寿命≥10年3.6.6大型单层壁尿素合成塔（以煤为原料）套百万等级年产能3.6.7大型煤化工智能控制系统及成套装备套系统规模≥1万控制点（I/O）3.6.8大型乙二醇合成塔成套装备套年产≥30万吨；工作压力≥3.0MPa3.6.9大型水煤浆气化炉成套装备套单台气化炉日投煤量≥1500吨；工作压力≥6.5MPa3.6.10大型固定床气化炉成套装备套年产天然气≥40亿立方米；工作压力≥4.0MPa4、大型冶金、煤炭及矿山装备编号产品名称单位主要技术指标备注4.1高精度热连轧成套装备套卷取温度控制精度:±18℃；轧制速度≥25米/秒；最小可轧厚度≤1.2毫米；带材厚度精度≤0.003毫米4.2高精度冷连轧成套装备套轧制速度≥1800米/分钟；最小轧制厚度≤0.18毫米；板厚差≤±8μm4.3特厚板轧机成套装备套产品厚度:5-400毫米、宽度:1300-5350毫米、年产量≥200万吨；轧制压力≥110000kN4.4大型管材矫直机套钢管规格：直径813~1500毫米；矫直速度：0.2~0.6米/秒（无级调速）；钢管矫直精度：0.7/1000毫米；矫直辊调整精度:升降≤0.05毫米，转角≤0.05゜4.5大型H型钢轧制生产线套水平辊：最大辊径1600毫米，辊身长≥900毫米立辊：最大辊径1000毫米，辊面高≥450毫米轧制力：≥20000KN33 能生产H型钢板长≥1000毫米4.6千万吨级井工综采成套装备4.6.1井用大型提升机套提升高度≥1000m；卷筒直径≥6m；单斗容量≥30t；提升速度≥16m/s4.6.2大型防爆（隔爆）提升机套液压防爆（隔爆）提升机：卷筒直径≥3.5m；最大静张力≥150kN；最大提升速度≤5m/s；电机功率≤1200kW电气防爆（隔爆）提升机：卷筒直径≥3.5m；最大静张力≥150kN；传动功率≥700kW；配套四象限变频防爆电控4.6.3电牵引采煤机套采煤机装机功率≥2800kW；最大采高≥7m；牵引速度≥30m/min；牵引力≥1700kN；生产能力≥4000t/h4.6.4超重型岩巷掘进机套截割功率≥300kW；截割硬度≥100Mpa4.6.5硬岩竖井钻机成套装备套钻孔深度≥1000m；适应岩层单轴极限抗压强度≥200MPa；提吊力≥18000kN；装机功率≥2000kW；综合成井速度≥60m/月4.6.6全断面煤巷高效掘进机套总装机功率≥1800KW；掘进断面≥20㎡；牵引力≥1600KN4.72000万吨级以上大型露天矿成套装备4.7.1大型露天矿破碎站套自移式破碎站：移动方式：履带式，生产能力≥3000t/h；主机型式：双齿辊，功率≥2×375kW；半移动破碎站：处理能力≥3000t/h；皮带机输送能力≥4000t/h4.7.2超大型露天矿用挖掘机装备套斗容范围≥50m3；行走速度≥0.8km/h；年采剥产量≥1500万立方米4.7.3大型矿用液压挖掘机套工作重量≥200t；挖掘半径≥15000mm；最大挖掘高度≥16000mm4.7.4大型矿用电动轮自卸车套额定装载量≥220t；交流传动；最高车速≥50km/h；额定爬坡度≥8°；最大爬坡度≥16°；单车年运量≥500万t·km。4.7.5大型矿用电动轮自卸车电动轮总成台≥220吨电动轮自卸车用电动轮总成；转速0-3200rpm；33 功率≥700kw；扭矩≥20000Nm；4.7.6大型褐煤提质成型成套装备套额定年提质成型低阶褐煤≥100万吨；干燥后褐煤水分≤10%4.7.7大型排土机和转载机套排土机额定工作能力≥10000t，转载机额定工作能力≥10000t4.8800万吨级以上大型选矿厂成套装备4.8.1大型液压旋回和圆锥破碎机套液压旋回破碎机：生产能力≥5000t/h；液压圆锥破碎机：处理能力≥500t/h4.8.2高压辊磨机粉磨成套装备套挤压辊直径≥2000mm；挤压辊宽度≥1600mm；粉磨作用力≥13000kN；生产能力≥1800t/h4.8.3特大型矿用磨机套球磨机：直径≥7.9m；处理矿石能力≥1500t/h；装机功率≥15600kW；（半）自磨机：直径≥11m；处理矿石能力≥1500t/h；装机功率≥12686kW4.8.4超大型环轨起重机台额定起重量≥2500t5、轨道交通装备编号产品名称单位主要技术指标备注5.1高速动车组关键零部件5.1.1动车组空心轴轮对套车轴材料采用EA4T；车轮材料采用ER95.1.223吨及以上轴重大功率机车轮对套车轴材料采用EA4T或35CrMoA；车轮材料采用ER8（J2）或ER9（J3）5.2城际动车组套速度≥120km/h；0→40km/h起动加速度≥0.65m/s2；紧急制动平均减速度≥1.12m/s25.3大功率交流传动机车5.3.1双动力电力机车套接触网供电：功率≥1200kW，运营速度≤80km/h或100km/h，轴重≥23t蓄电池供电：功率≥800kW，运营速度≤60km/h或70km/h、轴重≥23t4轴或6轴33 5.3.2山区小半径曲线大功率交流传动机车套降低车轮、钢轨磨耗50%以上；采用自导向径向转向架技术，降低轮轨磨耗50%以上；速度≤120km/h；功率≥7200kw；轴重≥23t5.3.3重载货运电力机车套轴功率≥1200kW；分布式微机网络控制；运营速度≥100km/h；轴重≥23t5.3.4快捷货（客）运电力机车套轴功率≥1200kW；分布式微机网络控制；运营速度≥160km/h5.3.5双动力内燃机车套6轴≥3000kW；电力牵引：运营速度≥140km/h，试验速度≥160km/h；内燃牵引：运营速度≥100km/h，试验速度≥120km/h5.4城市轨道交通装备5.4.1储能式低地板城轨车辆套运行速度≥70km/h；采用超级电容储能运行；独立轮对设计；轴重≥10t；最大载客量368人（4模块）；曲线半径≥25m；坡度≤60‰5.4.2跨坐式单轨车辆套轴重≥11t；运营速度≥80km/h；载客量：头车≥210人，中间车≥230人；曲线半径≤50m5.4.3悬挂式单轨车辆套运行速度≥60km/h；通过水平曲线半径≤50m（车辆段R30m），通过竖曲线半径≤650m；载客量≥125人5.4.4旅客自动捷运系统（APM）胶轮车车辆套载客量≥159人（三节编组）；轴重≥13.5t；曲线半径≤23m5.4.5铰接式轻轨车辆套灵活式不同编组型式轴重≥12t；运行速度≥80km/h；载客量≥250人/每辆；列车能通过小曲线半径≤40m5.4.6基于通信的列车运行控制系统套采用CBTC信号系统；监控点数≥10万点；行车最小运行间隔≤90秒5.4.7面向轨道交通环境系统可编程控制器（PLC）产品套基于高速工业现场总线的大容量I/O技术、纳秒级指令处理速度、100uS级嵌入式操作系统硬实时任务调度技术5.5大型养路机械5.5.1连续式线路道岔捣固稳定车套起道量≥150mm，拨道量≥±150mm；捣固深度（由轨面以下）≥560mm；系统测量精度≤±1mm；作业效率正线捣固稳定速度≥1.2km/h，道岔捣固速度（1/12）≥25min5.5.2全断面道砟清筛机套作业效率≥1200m3/h（特定道床条件下）；挖掘宽度：枕底挖掘宽度≥33 4000mm，边坡挖掘≥600mm；挖掘深度≥850mm（轨面下）5.5.3铁路道床吸污车套作业宽度≥4000mm；吸污能力：粒径≥3mm的石子，钢轨打磨的散状磨屑；收集污物的容积≥5.2m³5.5.4钢轨焊接接头焊后热处理、矫直及外形精整综合车套联挂速度≥120km/h；符合TB/T1632-2005标准要求5.5.5非自行式移动焊轨车套联挂速度≥120km/h；符TB/T1632-2005标准要求；可焊钢轨截面积≥10000mm2；顶锻力≥1200kN5.5.6钢轨表面铣轨车套铣削速度≥1.0km/h；廓形铣削精度≤+0.3mm；铣削后表面光洁度≤3微米5.5.7轮对缺陷在线动态探伤系统套检测速度：最大速度12km/h;探测轮辋深度：车轮踏面下10～60mm深度范围内的连续壳层6、大型环保及资源综合利用装备编号产品名称单位主要技术指标备注6.1污水处理及回收利用装备6.1.1污水一体化生物处理装置套处理量≥2000吨/日；出水指标达到《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）的一级A标准6.1.2高浓度难降解化工污水处理装备套适用污水浓度COD≥5000mg/L；无机盐共存浓度≥3%6.1.3污泥干化处理装备套单台处理量≥120吨/日，射流速度≥1Ma～2Ma，干化时间≤1s，干化温度：150℃～200℃，处理后污泥含水率≤25%、干渣含油率≤1‰，无废水排放6.1.4污泥焚烧锅炉套单台处理量≥100吨/日，处理后污泥含水率≤25%6.2大气污染防治装备6.2.1燃煤电站烟气二氧化氮（NOX）集成控制装备套脱硝效率≥50%；NOX排放浓度≤100mg/m3；氨逃逸率≤3ppm；脱硝催化剂使用寿命≥24000h6.2.2工业锅炉脱硝装备套脱硝效率≥70%；NOx排放浓度≤150mg/m3；装备阻力≤800Pa；氨逃逸量≤3ppm6.2.3干法烟气脱硫除尘脱汞一体化装备套SO2排放≤100mg/m3；汞及化合物排放≤0.02mg/m3；粉尘排放≤30mg/m333 ；副产物综合利用率≥60%6.2.4燃煤电站电袋复合除尘装备套出口烟尘排放浓度≤30mg/Nm3；进出口压差≤1000p；滤袋寿命≥4年；滤袋≥Φ160×8000mm6.2.5移动极板静电除尘装备套出口烟尘排放浓度≤20mg/Nm36.2.6电袋复（混）合除尘装备套出口烟尘排放浓度≤10mg/Nm36.2.7布袋除尘装备套出口烟尘排放浓度≤10mg/Nm3；进出口压差≤1200pa；滤袋寿命≥4年6.2.8燃煤电站低低温除尘装备套出口烟尘排放浓度≤20mg/Nm3；烟气温度每降低10℃，降低机组燃煤耗量≥0.4g；SO3脱除率≥90%6.2.9燃煤烟气多污染物超低排放成套装备套SO2排放≤20mg/m3；NOx排放浓度≤30mg/m3；SO3排放浓度≤2.5mg/m3；汞及化合物排放≤0.003mg/m3；粉尘排放≤5mg/m36.2.10燃煤电站湿式静电除尘装备套出口粉尘排放浓度≤10mg/m3；PM2.5去除效率≥70%；SO3气溶胶去除效率≥80%；6.2.11PM2.5便携式监测仪套颗粒物监测浓度范围：1μg/m3～1000μg/m3，分辨率0.1μg/m3；温度范围：-45℃～99℃，分辨率0.1℃；湿度范围：0～90%RH，分辨率0.1%RH6.3固体废弃物处理装备6.3.1大型生活垃圾焚烧炉及二噁英处理成套装备套单台日处理能力≥700吨；炉膛温度≥850℃；烟气停留时间≥2秒；炉渣的热灼减率≤3%；二噁英分解率≥95%；二噁英排放浓度≤0.1ng/(TEQ)Nm36.3.2水泥窑协同无害化处置成套装备套处理能力：300t/d～1000t/d；二噁英/呋喃≤0.1ngTEQ/Nm3；排放达到《水泥工业大气污染物排放标准》（GB4915-2013）6.3.3热解气化焚烧成套装备套烟气停留时间＞2s；焚烧炉热效率＞72%；残渣热灼减率＜3%；垃圾减容率＞90%；二噁英类物质排放浓度＜0.1ng-TEQ/Nm36.4资源综合利用技术装备6.4.1聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）瓶处理线套PET瓶处理能力≥2万吨/年；分离纯度≥99.9%；产品达到拉丝级聚酯切片质量标准；符合《废塑料回收与再生利用污染控制技术规范》（HJ/T364）6.4.2钢渣制粉成套装备套生产能力≥30万吨/年，钢渣微粉比表面积≥450m2/Kg6.4.3废钢破碎生产线套主机功率≥3000kW；生产率≥100t/h；分选率≥33 98%；智能有色涡流分选或有色光选分辨率≥96%6.4.4废旧冰箱无害化处理及资源回收装备套年利用量≥13.2万台/年；有色金属回收率≥95%；塑料回收率≥95%；聚氨酯泡沫回收率≥90%；铁回收率≥98%；颗粒物排放标准≥50mg/m3；最高允许排放速率≤2.0kg/h；噪声标准≤85dB(A)6.4.5大型炼铁高炉用能量回收透平装置台容积≥5000m3；介质：高炉煤气；轮毂直径≥1120mm；转速≥3000rpm；流量≥69.56万Nm3/h；回收功率≥25.4MW6.4.6大型高炉用高炉鼓风与汽轮发电同轴机组台轴流压缩机：进气压力≥0.0978MPa（A）；流量≥7615Nm3/min；排气压力≥0.5858MPa（A）；轴功率≥36950KW；转速≥3000r/min汽轮机：转速≥3000r/min；功率≥50000kW；进气压力≥8.83MPa（A）6.4.7硝酸综合处理机组套产量≥45万吨/年轴流压缩机：入口流量≥234846Nm3/h；入口压力≥96kPa；进气温度≥32℃冷凝式汽轮机：入口流量≥47T/h；入口压力≥3.9MPa；进气温度≥420℃6.5海水淡化成套装备6.5.1海水淡化及综合利用成套装备套单机装备产水量≥2.5万吨/日；产水TDS≤10mg/L；吨水耗电量≤1.2KWh/吨；造水比≥13；淡水成本≤5元/吨6.5.2风电/潮汐等新能源海水淡化系统套处理能力≥1万吨/日；二级反渗透水质通过调质达到GB5749-2006《生活饮用水卫生标准》；三级反渗透水质达到GB17324-2003《瓶（桶）装饮用纯净水卫生标准》的要求；运行能耗≤3.6kwh/t；制水成本≤5.6元/吨水7、大型施工机械编号产品名称单位主要技术指标备注7.1大型全断面隧道掘进机台盾构机：刀盘直径≥10米；隧道掘进机（TBM）：刀盘直径≥5米7.2履带式起重机台最大起重量≥400吨7.3全路面起重机台最大起重量≥200吨7.4混凝土泵车台作业高度≥66米7.5沥青混凝土再生成套设备（加热机、复拌机）台功率≥300KW7.6液压挖掘机台整机重量≥45吨33 7.7旋挖钻机台钻孔直径≥2米7.8压路机（液压传动）台自重≥18吨7.9摊铺机台工作宽度≥9米7.10铣刨机台铣刨宽度≥2米7.11装载机台额定载重≥8吨7.12推土机台功率≥410马力7.13履带式全地形工程车台功率≥224千瓦；最高公路行驶速度≥60km/h7.14举高消防车台工作高度≥40米7.15港口机械7.15.1超大型斗轮堆取料机台/套生产能力≥11000吨/小时；回转半径≥50米7.15.2通用铁路敞车重型翻车机台/套载重≥80吨7.15.3大型矿石装船机台/套生产能力≥12000吨/小时；皮带速度≥5米/秒7.15.4环保型链斗式连续卸船机台/套卸船能力：矿石≥3800吨/小时；煤炭≥2500吨/小时；最大回转半径≥54米7.15.5全自动集装箱码头装卸系统台/套单泊位年吞吐量≥70万标准箱；单泊位理论船时效率≥240箱/小时7.16机场专用装备7.16.1倾翻式托盘分拣系统台/套分拣能力≥5400件/小时；实现双速运行模式7.16.2目的地编码车系统台/套智能控制小车运行速度≥8米/秒；系统处理能力≥2400件/小时8、新型轻工机械编号产品名称单位主要技术指标备注8.1筒子纱自动染色生产线套最大筒纱抓取数量≥10；所抓筒子纱直径≥150mm；X、Y、Z轴重复定位精度≤±1.0mm；染料称量精度≤0.01g8.2万吨级新溶剂法纤维素纤维成套装备套年产≥15000t；溶剂回收率＞99.8%33 8.3连续性纤维预增强热塑性复合材料生产线套预浸渍带有效宽度≦2540mm；复合成热塑板材生产速度：双层≤3m/min，单层≤15m/min8.4厚重非织造布用高温热定形机台工作门幅≥700mm；机械车速≥5m/min8.5全自动转杯纺纱机台最高转杯转速≥15万转/分；最高引纱速度≥230米/分8.6喷气涡流纺纱机台纺纱速度≥250m/min；适纺纱支范围15～60Ne；纱线质量在线检测；全自动接头、落筒8.7棉精梳成套装备台/套成卷速度≥200米/分；喂入棉卷量≥60g/m；机械车速≥500钳次/分8.8宽幅高针频高负载针刺机组台/套工作门幅≥7200mm；车速≥3m/min；针刺频率≥1500次/min8.9高速毛巾织机台/套幅宽≥2600mm；入纬率：剑杆毛巾织机≥800m/min；喷气毛巾织机≥1100m/min8.10新型宽幅重磅双经轴高速喷水织机台/套幅宽≥2.8m；入纬率≥2880m/min；速度≥860r/min8.11低浴比高温气流染色机台/套染色一等品率≥95%8.12数字监控圆网印花机台/套幅宽≥1800mm；套色数≥8套色；印制花回≥640mm；车速≥60m/min≥；对花精度≤±0.1mm33 8.13数字监控机、针织物拉幅定形机台/套幅宽≥1800mm；车速≥100m/min8.14混合纤维等密度不等厚度汽车隔音毡生产联合机台/套联合机设计产量≥800kg/H（可配2套成型室）；成形室单机制成品能力≥40件/H8.15家电智能包装成套装备套整线产能≥420箱/小时；成品合格率≥99%；各单机生产效率≥95%；整线应用机器人≥5台；适应家电品种≥6种；整线品种类切换时间≤30分钟8.16无菌吹灌旋生产线套消毒机头数≥100*2；单轮消毒液消毒时间≥10秒；无菌水冲瓶机头数≥100；生产能力≥36000瓶（285ml）/小时；无菌气压力≥0.6MPa8.17流量计吹灌旋生产线套吹塑头数≥20；灌装头≥60；整机成品合格率>99%；理盖旋盖损盖率≤0.1%每小时产品电耗≤189kw.h9、民用航空装备编号产品名称单位主要技术指标备注9.1大型客机9.1.1单通道干线飞机架最大设计航程≥4075km；巡航马赫数≥0.785；最大起飞重量≥72.5吨9.2涡扇支线飞机9.2.190座级涡扇支线飞机架满客航程≥2250km；巡航马赫数≥0.78；最大起飞重量≥40.5吨9.3涡桨支线飞机9.3.150座级涡桨支线飞机架最大商载航程≥1100千米；最大巡航速度≥514千米/小时9.3.270座级涡桨支线飞机架设计航程≥1700千米；巡航速度≥550千米/小时9.4小型固定翼飞机9.4.1单发小型固定翼飞机架巡航速度≥250千米/小时；最大航程≥1790千米；最大起飞重量≥1400千克33 9.4.2双发多用途小型固定翼飞机架巡航速度≥250千米/小时；最大航程≥1300千米；最大起飞重量≥6000千克9.4.3全复材小型公务机架全复材公务机；巡航速度≥652千米/小时；最大航程≥2611千米；最大起飞重量≥2495千克9.5直升机9.5.11吨级直升机架最大起飞重量≥930千克；有效载荷≥430千克；最大巡航速度≥159公里/小时9.5.22吨级直升机架最大起飞重量≥2200千克；有效载荷≥929千克；最大巡航速度≥241公里/小时9.5.34吨级直升机架最大起飞重量≥4250千克；有效载荷≥2050千克；最大巡航速度≥270公里/小时9.5.47吨级直升机架最大起飞重量≥7000千克；有效载荷≥3465千克；最大巡航速度≥315公里/小时9.5.513吨级直升机架最大起飞重量≥13800千克；有效载荷≥5700千克；最大巡航速度≥336公里/小时9.6特种飞行器9.6.1大型灭火救/援水陆两栖飞机架巡航速度≥450千米/小时；最大航程≥4500千米；最大起飞重量≥53500千克（陆上/内海）、49000（外海）；最大载水量12000千克9.6.2浮空器架最大飞行速度≥35米/秒；最大续航时间≥50小时；有效载重≥800千克9.6.3小型水陆两栖飞机架巡航速度≥231千米/小时；最大航程≥1300千米；最大起飞重量≥1680千克10、高技术船舶及海洋工程装备编号产品名称单位主要技术指标备注10.1高技术船舶10.1.1液化天然气（LNG）运输船艘LNG载货量≥30000立方米；双燃料/柴油机/电力驱动10.1.2超大型全冷式液化气船艘货舱容积≥33 8万立方米级；能够同时装载丙烷、丁烷、丙烯、丁烯，二甲醚等货品中的两种，满足最新的法规规范10.1.332万吨级节能环保超大型油船（VLCC）艘EEDI：比基线值低15%以上10.1.440万吨级节能环保超大型矿砂船（VLOC）艘EEDI：比基线值低15%以上10.1.59万吨级节能环保超巴拿马型散货船艘EEDI：比基线值低20％以上10.1.611万吨级节能环保散货船艘EEDI：比基线值低21%以上10.1.720万吨级节能环保好望角型散货船艘EEDI：比基线值低18%以上10.1.85万吨级节能环保大灵便型成品油船艘EEDI：比基线值低26%以上10.1.98万吨级化学品船艘载重量≥80000T，货舱容积≥9000m3，服务航速≥14.5kn10.1.1011万吨级节能环保阿芙拉型成品油船艘EEDI：比基线值低20%以上10.1.1116万吨级节能环保苏伊士原油船艘EEDI：比基线值低20%以上10.1.124000箱级节能环保型集装箱船艘EEDI：比基线值低30%以上10.1.13集装箱滚装船艘载重量≥45000t级；航速≥18kn10.1.14万箱级以上集装箱船艘装箱数≥14000TEU；EEDI：比基线值低30%以上10.1.15大型超吊高浮吊船艘吊高≥160米；吊重≥1500吨；工作幅度≥140米10.1.16大型汽车滚装船艘载车量≥10000辆，服务航速≥16kn10.1.17大型抓斗式疏浚船艘锚泊定位方式挖深≥80m,钢桩定位方式挖深≤30m，航速≥12kn,产量≥6000m3/h10.1.18大型耙吸式挖泥船艘挖深110m，吹距＞3000m，挖泥航速（流速+对地航速）（4+2.5节）10.1.19大功率绞吸式疏浚船艘挖深35m，绞刀功率≥5000KW，吸排管径1000mm，生产率6000m3/h10.1.20南海电力推进灯光围网渔船艘设计航速≥12kn，续航力≥6000海里，－20°C鱼货舱容≥750m3，电力推进方式10.1.21南海电力推进金枪鱼延绳钓渔船艘设计航速≥12kn，续航力≥5000海里，－45°C鱼货舱容≥200m3，电力推进方式10.1.22多功能远洋渔船艘续航力≥11000海里，定员60人，鱼货舱容≥1450m3，渔法：秋刀鱼舷提网、鱿鱼钓捕10.1.23极地甲板模块运输船艘适用环境温度-35度。33 10.1.24变水层大型拖网渔船艘自持力≥40天，中层拖网力≥30t，底拖网深度1000m，鱼货舱容≥1600m3，鱼粉舱容≥200m3，拖网工况航速≥5.5kn10.2海洋工程装备10.2.1自升式钻井平台座作业水深≥100米；钻井能力≥10000米；悬臂梁最大外伸距离：纵向≥22米；横向：＋4米10.2.2自升式支持平台座作业工况最大可变载荷≥2000吨；主吊工作载荷≥200吨；自存工况最大可变载荷≥2500吨10.2.3500米水深油田生产装备（TLP）座4立柱传统型张力腿平台（TLP）；8根张力筋腱；16口井槽；钻井深度≥5000米；100%油水处理合格能力；在位水深500米左右10.2.4深水钻井船艘可进行1500m以上水深的勘探、钻井和生产井施工作业；最大钻深可达10000米以上10.2.5半潜式起重生活平台座最大起重能力≥2×1800吨；可联合起重≥3600吨；自存有义波高≥12米10.2.6自升式增产作业平台座最大出口压力≥80bar；日处理气体能力≥2亿标准立方英尺，自存有义波高≥16.5米10.2.7半潜式钻井平台座作业水深≥500米10.2.8圆筒形浮式生产储油装置台日处理原油44000桶；油气4000万标准立方英尺；原油储量能力40万桶。10.2.9浮式储油再气化装置艘具有LNG的存储、气化、运输功能；满足冰区加强及零下30度要求。10.2.1012缆高性能物探船艘尾部电缆甲板宽≤28米；设计型深≥9.6米；设计吃水≥7.5米10.2.1110万吨级半潜工程船艘采用DP2动力定位；下潜时间（干舷1米至最大潜深）≥6小；下潜起浮装货能力≥60000吨10.2.123000米深潜水作业支持船艘具备≥3000米水下多种工程作业和装备安装作业支持功能；具备≥500米饱和超深潜水作业；3000米以上深水遥控潜水器(ROV)水下作业；S型、J型、flex型和reel型水下铺管作业10.2.13重型钻井支持驳船艘作业水深≥1000米；有效可变载荷6000吨；模块钻井系统（MEP）≥1000短吨10.3关键系统和设备33 10.3.1船用中速柴油机/气体机台/套柴油机缸径范围170～320mm，；功率≥430KW；NOx排放满足IMOTierII标准；气体机缸170～32mm；功率≥350KW10.3.2船用高速柴油机/气体机台/套柴油机缸径范围105～250mm；功率≥60KW；NOx排放满足IMOTierII标准；气体机缸径范围132～170mm；功率≥150KW10.3.3液化天然气（LNG）船超大锚绞机台/套电动液压驱动；系统负载≥320KN*15m/min10.3.4大型拖缆机及其甲板系统台/套载荷≥250T；速度≥7m/min；控制方式：驾驶室控制+机旁控制10.3.5自升式平台液压齿轮齿条式升降系统台/套单桩额定载荷≥8000t；单桩预压载≥10000t；单桩风暴载荷≥10000t10.3.6海洋平台吊机台/套柴油机—液压驱动；工作回转半径：9.5-40m；额定起升速度≥4m/min10.3.7动力定位系统台/套4级海况及以下定点控位精度标准偏差≤2米；艏向保持精度标准偏差≤1.5度；回转速度≥2r/min（180°不超过15s）10.3.8深水铺管船起重机台/套基座起重机最大额定载荷≥40t；工作半径：10m～32m；吊管行车额定载荷≥40t10.3.9钻井船定位绞车台/套额定拉力×速度≥180t×15m/min（中间层）；轻载拉力×速度≥90t×30m/min（中间层）；停车拉力≥270t；支持负载≥360t10.3.10船用柴油机NOx后处理装置（SCR）台/套满足IMOTierIII的要求；氨气逃逸量≤10ppm；SCR系统压力损失≤240mmWC10.3.11大功率船用柴油机动力系统余热利用装置（WHR）台/套柴油机调制后油耗增加≤2%；余热利用系统总发电比≥8～12%；采用余热利用系统后柴油机排气背压保持不变；采用余热利用系统后柴油机油耗降低≥5%～9%10.3.12主动波浪补偿折臂式海洋工程起重机台/套起吊能力≥50～60t(常规)50～60t(水下/AHC)及以上；工作半径:7m～30m；波浪补偿精度≤±10cm（当吊臂头顶端≥±1m10.3.13中高压船舶及海工发电机台/套功率范围1500~10000kW；电压等级3.3~15KV；转速范围500~1800rpm10.3.14大型浮式LNG再气化系统装置台/套天然气输出能力≥270×104Nm3/天(约95吨/小时或196m3/h)；工作压力：最小输出压力：5.0MPa、正常输出压力：5.5MPa、最大输出压力：9.0MPa33 10.3.15海底管道高清晰度漏磁内检测器台/套适用介质：油、气；检测距离≥350km；通过弯头的曲率半径≥3D（D为管道外径）；检测深度精度≤±0.10t(t为管道壁厚)；检测长度精度≤±25mm10.3.16海底电缆石油地震勘探系统台/套传感器：三分量检波器及水听器；最大承压力≥10Mpa；单根海缆长度≥15000米；数据采集能力：单缆带站≥600个，最多可带10条海缆；数据同步误差≤20微秒10.3.17海洋钻机套绞车功率≥6000HP；钻井深度≥12000米；适应水深：300～1500米10.3.18海洋水下防喷器套额定工作压力≥10000psi；最大适应水深：1500米；额定液压操作压力≥3000psi10.3.19海洋水下井口及采油树研制套工作水深≥500m；工作压力≥10000Psi；控制方式：远程液压10.3.20水下控制系统套工作水深≥500m；包括水上主控系统MCS、水上动力单元HPU、水下电控模块SEM、水下控制模块SCM、水下分配单元SDU、联接接插装置等10.3.21海洋钻井隔水管系统套额定级别：E级（2.0MMlb）和H级（3.5MMlb）；额定长度：50ft/75ft（E/H级）；额定工作压力：2000/4500Psi（E/H级）10.3.22海洋水下管汇连接器套工作水深≤1500m；工作压力≥5000Psi；采用复合密封，机械锁紧；结构形式：水平套装/垂直套装10.3.233500kw级别大功率全回转舵桨装置台/套螺旋桨转速≥210r/min10.3.24高效轻量化海工吊机台/套完全满足API-2C规范要求；驱动形式：电动—液压；主钩安全工作载荷≥50T；起升高度主钩：甲板≥40m；辅钩安全工作载荷≥12T；主钩满载起升速度：0～24m/min10.3.25透平驱动装置台/套主蒸汽压力≥1.5Mpa；排汽压力≥0.0353Mpa；额定转速（透平/输出轴）≥8897rpm/1910rpm；耗汽量≤8吨/小时10.3.262000m3/h级泵舱式货油泵系统台/套额定流量≥2000m3/h10.3.271000m3/h级潜液泵系统台/套潜液泵结构形式：立式、单级、单吸、双出口，输送介质：原油，流量：800～1300m3/h，扬程：130～170mlc，水力元件效率≥78%；驱动方式：液压驱动，液压系统压力≥26MPa，流量≥2250l/min10.3.28平台液压插销升降系统研制台/套单桩额定载荷≥3200ton；单桩预压载≥6000ton；风暴垂直载荷≥33 6000ton；风暴水平载荷≥3000ton；升降速度≥10m/hr；驱动方式：电液驱动10.3.29综合导航系统台/套满足国际MSC.252(83)、IEC61924-2（Dec2012）标准；由操舵控制系统、导航雷达、电子海图与信息显示系统、陀螺罗经系统等构成10.3.30操舵控制系统台/套满足ISO11674IEC62065IEC61162-1IEC60945IEC62288CCS《钢质船舶入级规范》；提供航态范围不少于越控状态提示、当前航向、设定航向、当前航向源、当前操舵模式、当前速度、当前转向率、当前舵令、舵角、舵角限值及系统状态信息10.3.31电子海图显示与信息系统台/套满足国际标准；显示单元：从19英寸到27英寸，操作系统：WINDOWXP(EN),WIN7接口10.3.32陀螺罗经台/套满足IS08728-1997国际标准；首向精度≤0.25°×secφ，动态精度≤1.0°×secφ；稳定点误差≤0.75°×secφ；稳定时间：≤2.5h；陀螺球寿命≥20000h10.3.33船用雷达台/套满足国际标准IMO/SOLAS公约以及最新IEC标准；工作频率9410±30兆赫和3050±10兆赫；支持X波段-S波段互换；捕获ARPA目标≥50个、后台处理≥3000个；碰撞警告：最近会遇距离≤30海里；最近会遇时间≤60分钟11、成形加工装备编号产品名称单位主要技术指标备注11.1立式、卧式加工中心台1.立式加工中心：工作台尺寸≥800x1200mm；快速移动≥40m/min；重复定位精度≤0.004mm；联动轴数≥42.卧式加工中心：工作台尺寸≥800x800mm；快速移动≥40m／min；重复定位精度≤0.004mm；联动轴数≥411.2龙门式加工中心（含龙门镗铣床）台1.工作台尺寸≥1500x3000mm；X轴重复定位精度≤（8＋L/250)µm；其它直线轴重复定位精度≤0.008mm33 2.工作台尺寸≥4000x8000mm；X轴重复定位精度≤（8＋L/250)µm；其它直线轴重复定位精度≤0.010mm11.3数控车床(包括车削中心)台1．1．400mm≤回转直径<1000mm；定位精度≤0.005mm，重复定位精度≤0.003mm；主轴径向跳动（近端）≤0.003mm2.车削中心：200mm≤回转直径<630mm，重复定位精度≤0.002mm；主轴径向跳动（近端）≤0.001mm；联动轴数≥三轴11.4车铣（铣车）复合加工中心台2．卧式铣车复合加工中心：回转直径≥400mm；Z轴重复定位精度≤（4＋L/250)µm,其它直线轴重复定位精度≤0.004mm，车、铣主轴径向跳动（近端）≤0.004mm；(注：L-Z轴长度mm)联动轴数5轴11.5数控坐标镗床台定位精度≤0.003mm11.6数控铣镗床(含铣镗加工中心)台镗杆直径≥200mm；工作台尺寸≥2000×2000mm；X轴重复定位精度（5＋L/250）μm；其它直线轴重复定位精度≤0.005mm；11.7全自动高速高精密硅钢片落料线套落料公称力≥4000KN；硅钢钢板厚度：0.2mm≤1.5mm；落料次数10≤100次/min；送料速度：0≤150m/min11.8大型全伺服自动冲压生产线套总吨位≥40000KN；主机为机械伺服压力机；节拍≥12次/分钟的机器人送料冲压生产线11.9大型多工位压力机生产线套总吨位≥120000KN；生产节拍≥18次/分；三坐标伺服送料11.10全闭环高精度伺服折弯机套公称压力≥30000kN；折弯长度≥14000mm；滑块定位精度≤0.02mm，滑块重复定位精度≤0.01mm；制件精度≤12′/14m11.11双点五工位自动温锻生产线套公称压力：1600t、2000t；行程次数：20-35spm；公称压力行程：5mm；滑块行程≥700mm11.12大型高速精密径向锻造成套装备套压机锻造压力≥16MN；压机锻造频率≥180rmp；锻件精度≤±0.2mm；最大锻造尺寸≥800mm；最大锻件重量≥6t11.13大型双动反向挤压生产线套挤压力≥25MN；回程力≥1.5MN；挤压速度≥0.2mm/s；穿孔力≥6.9MN；穿孔支撑力≥4MN；穿孔速度≥70mm/s；定针精度≤±1.5mm33 11.14大型铝挤压机套1挤压力≥120MN；回程力≥7.9MN；挤压速度≥0.2~20mm/s11.15铝合金板张力拉伸机装备套最大拉伸力≥120MN；钳口最大开口度≥310mm；钳口极限负载系数（单位宽度最大拉伸力）≥63KN/mm；主缸拉伸位置同步精度≤±1mm；延伸量控制精度≤0.3%11.16数控强力旋压机套径向推力（每个旋轮）≥1000KN；轴向推力≥700KN；最大旋压工件直径≥2600mm；轴向、径向定位精度≤0.08mm；轴向、径向重复定位精度≤0.05mm11.17双驱动重型搅拌摩擦焊装备套单道焊接最大厚度≥80mm；双道焊接最大焊接厚度≥150mm；焊接速度≥100-mm/min；双面焊变形量≤3mm/6m；角变形≤3°11.18大功率固体激光-熔化极电弧复合焊接成套装备套激光功率≥2kW；焊接速度≥5m/min11.19线性摩擦焊接装备套最大顶锻力≥700KN；最大激振力≥600KN；振动头回零误差≤0.3mm11.20双光束激光焊接装备套定位精度X/Y/Z≤0.05mm；激光输出功率≥6000W11.21复合材料自动铺带机套定位精度X/Y/Z≤0.025mm/300mm；定位精度A/B≤30”/30”；预浸带切割精度≤0.5mm11.22复合材料自动铺丝机套预浸丝束速度≥6.35mm；可铺放丝束根数≥32束；切割精度≤2mm（速度小于等于20m/min时）；最短丝束长度≥90mm11.23超大型二板式伺服注射成型机台锁模力：≥6000t；容模量≥1300mm；安全技术要求符合国家相关技术标准规定11.24大型双壁波纹管生产线套挤出产量≥1200kg/h；生产线速度≥0.5m/min11.25大型实壁管生产线套挤出产量≥1300kg/h；生产线速度≥0.055m/min11.26超大型中空成型机智能化生产线套最大制品容量≥2000L；锁模力≥3000kN；开合模行程≥400mm；主机总装机电容量≤550kW33 11.27最新型高效高速PE管材双层共挤生产线套挤出量≥400kg/h；线速度≥25m/min11.28大型塑料挤出注射成型装备套锁模力≥4000t；注射量≥220000cm³11.29连续混炼挤压造粒机组套转速≥270r/min；主驱动功率≥10000kW；生产能力≥25万吨/年11.30高速节能双壁波纹管生产线套定型长度≥3000mm；生产速度≥2.5m/min；电耗≤330kW/t11.31工业机器人台自由度≥3；重复定位精度≤±0.3mm；负载能力≥3kg；平均无故障时间（MTBF）≥8000小时11.32金属材料增材制造装备（3D打印）台零件成形尺寸>500×500×500(mm)；成形精度≤±0.1mm；成形材料性能达到同材料锻件性能12、新型、大马力农业装备编号产品名称单位主要技术指标备注12.1智能化重型拖拉机台配套功率≥200kW12.2多功能纵轴流大型谷物联合收割机台配套功率≥150kW；喂入量≥12kg/s12.3自走式采棉机台配套功率≥175kw；行数≥4行12.4甘蔗联合收割机台配套功率≥175kw；适应垄距≥900mm12.5大型自走式施药机械台配套动力≥84kW；喷幅≥20m；药箱容量≥3000L33 13、电子及医疗专用装备编号产品名称单位主要技术指标备注13.1电子专用装备13.1.1全自动等离子体增强化学气相沉积装备（PECVD）套产能≥2000-片/时（硅片尺寸156×156mm）13.1.2全自动印刷烘干烧结系统套产能≥3800片/时；碎片率≤0.1%13.1.3金属有机气相沉积装备（MOCVD）套单腔产能≥66片（2英寸片）13.1.4氧化铟锡（ITO）溅射装备套兼容2-12英寸晶圆，工艺温度常温-300℃可调。2英寸晶圆产能≥150片/h13.1.5化学气相沉积装备（CVD）硅外延装备套6-8英寸晶圆：适用于不同规格衬底上N型、P型硅材料的外延生长13.1.6介质刻蚀机套满足12英寸晶圆65-28纳米介质刻蚀工艺需求；刻蚀能力≥40∶1；线宽控制精度≤2nm13.1.7高密度等离子硅刻蚀机套满足12英寸晶圆65-28纳米多种硅刻蚀工艺需求13.1.8物理气相薄膜沉积（PVD）装备套8-12英寸先进封装；大于40∶1的高深宽比刻蚀13.1.9物理气相薄膜沉积（PVD）装备套8-12英寸晶圆：可满足多种金属沉积以及硅通孔沉积，沉积速率Ti≥800Å/min，Cu≥3600Å/min，Al≥240-300nm/min13.1.10金属硬掩膜沉积（HMPVD）装备套12英寸集成电路：单腔产能≥30wph，uptime≥85%，沉积速率TiN≥500Å/min13.1.11氮化铝薄膜沉积（AlNPVD）装备套2-12英寸片，沉积温度400-700℃，单腔产能（2英寸）≥100片/h13.1.12高速介质刻蚀机套4-8英寸晶圆，刻蚀速率≥700nm/min，选择比（硅）≥30:113.1.13化合物刻蚀机套4-8英寸Ⅲ-Ⅴ族化合物刻蚀，刻蚀速率GaAs≥3μm/min，GaN≥200nm/min33 13.2医疗装备13.2.1物理气相薄膜沉积（PVD）装备套8-12英寸晶圆：可满足多种金属沉积以及硅通孔沉积，沉积速率Ti≥800Å/min，Cu≥3600Å/min，Al≥240-300nm/min13.2.2金属硬掩膜沉积（HMPVD）装备套12英寸集成电路：单腔产能≥30wph，uptime≥85%，沉积速率TiN≥500Å/min13.2.3氮化铝薄膜沉积（AlNPVD）装备套2-12英寸片，沉积温度400-700℃，单腔产能（2英寸）≥100片/h14、重大技术装备关键配套基础件编号产品名称单位主要技术参数备注14.1液压气动密封装置及系统14.1.2智能型行走机械液压系统套工作压力≥28Mpa；具有GPS定位、远程控制、工况自我感知和分析、故障诊断、自维护、实时监控和多模式功率自动控制功能；负载口独立、单操纵手柄主从控制、电子流量匹配控制系统14.1.3静液压驱动装置套HST:：理论排量:泵0～37ml/r；马达37ml/r；输入转速3000r/min；输出转速0～3000r/min；额定压力21MP；最高压力30MPa；集成油滤：总效率≥73%14.1.4高压轴向柱塞泵台额定压力≥28Mpa；最高压力：32—42MPa；变量方式：电比例排量、电比例压力切断、功率控制、流量控制、压力控制及上述变量组合排量范围：≥70毫升/转14.1.5轴向柱塞马达和减速机总成套液压马达额定压力≥28MPa；变量方式：二点变量；减速机速比≤56闭式、开式14.1.6整体式液压多路换向阀台整体式多路阀：额定压力≥28MPa；流量＞160L/min；控制方式：液压控制、电液控制；功能：负流量控制、正流量控制、与负载压力无关的流量分配控制33 14.1.7液压电子控制器套CPU：主频150MHz；宽电压输入：9～48VDC；工作温度：-40℃～+85℃；防护等级：IP67；相对湿度：30%～95%；通讯方式：CAN2.OB，遵循CAN-open，总线通讯协议，接口≥2；电磁兼容性应符合ISO13766中规定；平均无故障间隔时间：≥5000h14.1.8大型金属成形装备液压系统套工作压力≥31.5Mpa；流量≥2000/L/min14.1.9高压大排量柱塞泵台工作压力≥35Mpa；排量≥200ml/r,；使用寿命≥10000h14.1.10大流量电液比例二通插装阀及电液比例阀台压力≥35Mpa；流量≥2000L/min14.1.11高转速液力偶合器系列传动装置套传递功率≥1000kW;额定转差率：3%；调速范围：0.20～0.97（输出转速）；泵轮力矩系数：1.5x10-6min2/m14.1.12高性能、智能化气动与装置14.1.13智能化气动阀岛及定位执行系统套智能化阀岛:具有集成诊断、系统优化，环境监测等功能，总线控制；流量：300L/min～1500L/min；分散与集中控制；模拟量输入/输出模块（0-10V；4-20mA）、控制512个I/O点。内置或外置PLC.智能定位气动执行系统：系统包括：高端多样化的定位气缸、气动滑台、气爪、电气比例阀，电气伺服阀；运动方式：直线运动，摆动驱动；工作压力：≥0.4MPa；工作速度≥50mm/s；重复精度：±0.2mm14.1.14轨道交通用高性能气动元件套气缸、气动阀、气源处理元件，以及气管、接头等配套气动元件：工作压力3～10bar；环境温度-40～+80℃14.1.15核电密封装置套高可靠性，具有抗辐射、抗地震、低泄漏等特定功能，达到核电技术要求33 14.1.16核级静密封垫片装置套氦气检漏密封泄漏率≤1.0×10-6cm3/s；使用寿命≥3个堆期（约5年）；金属O形圈和C形环：超高真空≥350MPa；耐高温≥650℃；尺寸满足各种型号要求高性能柔性石墨金属缠绕式垫片：回弹率≥25%；压缩率20%～24%；应力松驰率≤15%；密封泄漏率≤1.0×10-5㎝3/s；工作温度：-200℃～+650℃(蒸汽中)；-200℃～+450℃（空气中）14.1.17核级泵用机械密封装置套核主泵机械密封：密封介质：冷却水（含硼）；密封压力：正常工况≥15.0MPa；密封温度≥30°；泵轴转速≥1480r/min核二三级泵机械密封：转速：3000r/min；压力≤5.0MPa；温度≤200℃；正常使用寿命≥18000小时；14.1.18大飞机用液压密封装置套在135℃×70h条件下，硬度变化-15～+5、拉伸强度变化最大-50%、拉断伸长率变化最大-35%、体积变化1～+20；在135℃×70h条件下压缩永久变形≤25%；低温回缩要求TR10不高于-45℃；对金属无腐蚀14.1.19大型盾构机／掘进机密封装置套盾构机／掘进机主轴承密封直径≤10m；使用寿命≥10000h14.1.20大型石化及煤化工用压缩机干气式机械密封装置套工作压力≥10Mpa；静态及动态泄漏量≤0.6NM3/h和1.6NM3/h；密封轴颈≤300mm.14.1.21大型高精度冷、热连轧成套装备液压系统套系统压力≥31.5Mpa；系统流量:≥1000l/min14.1.22大型水电站启闭机、升船机液压系统套启闭机：系统压力≥31.5Mpa；系统流量≥1000l/min；分别控制水电站深孔、底孔、排漂孔、电站进水口快速门、排沙孔启闭机的动作升船机：系统压力≥31.5Mpa；系统流量≥1000l/min14.1.23大型船舶及海工装备液压成套装置及系统套系统工作压力≥31.5Mpa；流量≥125L/min14.1.24大型矿山装备液压系统套系统工作压力≥31.5Mpa；流量≥80L/min；电液控制33 14.2轴承14.2.1轨道交通装备轴承套高速动车组轴承满足：时速≥200km/h；寿命≥200万km；120万km可靠度≥99%；城市轨道轴承满足：时速≥80km/h；寿命≥80万km；可靠度≥99%14.2.2大型精密高速数控机床轴承套dmn值≥1.5×106mmr／min；精度P4、P2级；16000h精度稳定使用14.2.3大型薄板冷热连轧及涂镀层装备轴承套冷轧工作辊轴承连续工作时间≥10000h；支承辊轴承连续工作时间≥5000h14.2.4大功率工程机械主轴承套盾构机主轴承、液压挖掘机轴承、液压履带式起重机轴承寿命≥5000h；水泥立磨机轴承使用寿命≥30000h14.2.5中高档轿车轴承套使用寿命≥25万km14.2.6风力发电机组增速器轴承、主轴轴承、发电机轴承套使用寿命≥20年；可靠度≥99%14.2.7超精密级医疗机械轴承套精度P2级；使用寿命≥5年；运转噪音≤40dB14.2.8民用航空轴承套运输机轴承dn值≥2.0×106mm·r/min；使用寿命≥9000h；直升机轴承啮合寿命≥40000次14.3控制系统14.3.1大型石油及石化装置用自动化成套控制系统套百万吨乙烯装置联合控制系统：IO设计容量≥10万点；高可靠性，平均故障间隔时间MTBF>40万小时14.3.2高速列车、新型城市轨道车辆用成套控制系统套高铁：最高时速≥350km/h（城际≥200km/h）；列车最小追踪运行间隔≤3分钟；关键装备安全指标为SIL4级；地铁：列车最小追踪运行间隔≤90秒；系统安全指标达到SIL4级14.3.3智能电网先进测量系统套多种通信方式（无线、载波、现场总线、光纤等）；100%抄收成功率、满足智能电网及IEC62056的要求；电流互感器电压等级：11万伏、22万伏、50万伏；互感精度≤0.2%14.3.4重型装备智能闸控系统套年产≥33 500万吨大型矿井提升装备智能安全制动控制系统，高性能电液比例方向阀控制方式，双向闭环调节，系统响应时间≤15ms；系统重复精度≤±0.1%；系统滞后量≤0.2%；多通道热冗余14.4精密测量仪器14.4.1四极杆质谱仪台质量范围：1.5u～1050u；分辨率：R≥2.0M；扫描速度：最快≥10000u/s14.4.2多声道超声波气体流量计台声道：四声道以上；测量精度≤0.5%；测量口径DN80—DN220014.4.3制动器在线监测系统套闸间隙精度≤0.1mm；偏摆精度≤0.1mm；压力精度≤0.1MPa；闸盘温度精度≤1℃；开闸时间精度≤100ms；抱闸时间精度≤10ms；制动力精度≤0.1KN；检测最高压力≥20MPa；同时检测制动器头数≥5014.5通用零部件14.5.1高功率密度齿轮箱套功率密度≥0.3KW/KG；精度：4～6级；噪声≤95dB；效率：≥97%；设计寿命≥20年14.5.2高强度、抗疲劳、耐腐蚀链条套抗拉载荷≥900KN；疲劳强度≥500万次；耐腐蚀性：在5%HCL和5%NaOH溶剂进行强腐蚀试验；48小时内链条零件表面不应出现点蚀、裂纹、气泡等腐蚀缺陷14.5.3高应力、高疲劳寿命弹簧套工作应力≥1000mpa；疲劳寿命≥400万次14.5.4高强度、高疲劳寿命、耐腐蚀紧固件套10.9级（含）以上强度，疲劳寿命≥500万次；防腐蚀性能≥700小时14.5.5超超临界机组汽轮机、发电机转子铸锻件件机组功率≥RM≥810MPa；R0.2≥690MPa；Akv≥69J；FATT50≤10℃14.5.6燃气轮机机组压气机锻件套RM8≥810MPa；R0.2≥758Mpa；Akv≥81J；FATT50≤-60℃s33