低温低应力化学镀铜溶液稳定性的研究

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1、分类号ＴＱ１５３．１密级公开学号１２１６５６硕±学位论文（学术型）题目低温低应力化学渡铜溶液穂定性的研究ｉ作者杨君君指导教师王增林教授—级学科名称化学二级学科名称无机化学提交日期二〇一五年六月学位论文原创隹声明本人声明所呈交的学位论文是我巧导Ｊ巧的指导下进巧研巧工作所取得的研巧成果．尽我所知，除文中己经注明引用的巧容巧致谢的地方外，本论文不包含其他个人或集体己经发表淵泻过化研巧成果，也不包含本人或他人已申请学位或其

2、他用途使用过的成果？对本文的研巧做出重要就跃的个人和集体，均已在文中作了明确说明并表示徽唐。一本学位论文若有不实或者侵犯他人权利的，本人應意承担巧相关的法律责任。。如絲）＞作者＾名：日巧：？文年／月峻日学位论文知识产权及使用授权声明书本人在导师指导下所完成的学位论文及相关成果，知巧产权归属陕西师范大学。本人完全了解陕西师范大学ｔ关保存，、使用学位论文的规定允许本论文被査闽和借巧，学校有巧保留学位论文并向国家有关部口或机构送交论文的游质版和电子巧，可！＾＾采用，有权将本

3、论文的全部或部分巧容编入有关巧艰库进巧检索任何复制手段保存和汇编本论文？本人保证毕业离校后，发表本论文或使用本论文成果肿署名单位仍为陕西臟大学？保密论文解密離用本声明。作者签名：娠豪袭日觀六吃年各月Ａ句摘要由于印制电路板ＰＣＢ具有轻量化、微型化、易于标准化等优点，几乎是所（）。目前，化有电子设备的核也部件。化学被铜工艺是印制电路金属化的关键技术学渡铜的工厂，而计算机行业和航空工业的高速发展，、车间几乎遍布世界各地对电子组件屏蔽信号干扰的功能提出了更高要求，进而也对化学盤铜提

4、出了新的。２，提高沉铜速率，延长，提高经济效益要求：１发展新的添加剂降低成本（）（）此高其稳定性，化学锻铜液的寿命，因，提。化学锻铜液处于热力学不稳定状态，减少环境污染、。其中化学延长使用寿命，对提高被铜层质量降低原材料消耗渡铜液的稳定性是决定该化学被铜液能否应用于实际生产的关键问题，在化学银一溶液中添加各种添加剂是提高银液稳定性的重要手段之。，本文主要致力于研究化学渡铜溶液的寿命问题，为了提高彼液的稳定性需。因此本向锻液中添加合适的稳定剂，而稳定剂的加入会导致沉积速率下降太快

5、添加加速剂的基础上，选择合适的稳论文首先研究了化学渡铜溶液的加速剂，在ＥＭ图像的观察发现２６－二氨基化Ｓ：以苹果酸、，定剂，通过沉积速率的测量和巧、腺嘿吟和鸟嘿岭有比较好的加速作用；亚硫酸钢、娃酸纳、聚乙帰化咯烧－－－－ＦＣ－８０－－７５、ＦＣ１３４都不同程度的降低了丽、、８哲基舰唾咐横酸、六氣珪酸钢化学锥铜的沉积速率，可作为该体系的稳定剂；并且腺嚷岭与亚硫酸钢、鸟嘿吟与高铁试剂、以苹果酸与超酸纳、以苹果酸与六氣超酸纳达成了协同作用。在本ＦＣ－ＦＣ－、８０、实验室己得到的低温化学镇

6、铜体系中，分别加入适量六氣娃酸钥－１３４貌得到优良的改善。然后用Ｘ射线衍射法测定分析了后，化学锻铜膜表面形，，研巧发铜膜的表面应力，同样在己得到的体系中分别加入适量的上述稳定剂－－４ＦＣ８０Ｃ１３Ｈ，其中现只有六氣娃酸钢、、Ｆ种稳定剂能降低铜膜表面的应力ＦＣ－。１３４在降低应力方面能到到更好的效果最后通过氧化还原滴定法和酸碱滴定。法对镇液中各成分的损耗进行分析，确定各成分的最佳补充量在负载为２。４０，，在．０ｃｍ化的情况下，连续施渡测定渡液的周期，通过空气揽拌不断补给、娃酸钢、

7、聚乙帰化己得到的低温化学锻铜体系中，再分别加入稳定剂亚硫酸钢－－ＦＣ４，、、１３、高铁试剂时化学德铜溶液的周期咯烧丽、六氣娃酸钢全氣ＦＣ８０４－５１５７９．、４．１。ＦＣ１３４的稳定４８．、５．７２、．６、．、６０３其中个数分别延长到．６、４９１．５４个小时，大，周期最大值为６０３化学渡铜溶液能够连续使用大降性最好，即，对我国印制电路板产业的飞速发展低了化学被铜工业的成本，减少了环境污染起到了促进作用。Ｉ本文最终获得了低温低应为的稳定性良好、能够连续使用的化学潑铜溶液，－

8、－－ｉ１其组成为ｉｉ％ｍＬ七：五水硫酸铜ｌＯｇｉ，酒石酸钟钥２８．２５ｇ，甲駿（３７）５，－－‘１ｉ１，ｉ－联化魄２，０ｍｋ苹果酸２．０ｍｇＬ，２２．０ｍｇ心十二烧基苯横酸钥（ＳＤＢ巧５．ｇＬ，，，ｉＦＣ－８０ＦＣ－１３４３ｎ＾或．０ｔｇ。在该体系中沉积速率髙，铜膜外观较好，应为低，使－１＞－－３．用周期长。当加入．０ｍ七ＦＣ８０时５．８０ＭＩａ５７９ｇ，最小应力可达到为，周期为；