jjf1238-2010集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范

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1、J可F中华人民共和国国家计量技术规范JJF1238—2010集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范CalibrationSpecificationfortheTestingSystemforMicrocircuitsElectro-staticDischarge(ESD)Sensitivity2010—01—05发布2010—04—05实施国家质量监督检验检疫总局发布JJF1238--20LO集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范CalibrationSpecificationfortheTestingSystemforMicrocircuitsElectro—staticDisch

2、arge(ESD)Sensitivity⋯’<’一-30⋯⋯⋯●1238--2010一⋯一～oo⋯⋯本规范经国家质量监督检验检疫总局于2010年1月5日批准，并自2010年4月5日起施行。归口单位：全国无线电计量技术委员会起草单位：中国电子技术标准化研究所本规范委托全国无线电计量技术委员会负责解释本规范主要起草人：吴京燕(中国电子技术标准化研究所)参加起草人：陈大为(中国电子技术标准化研究所)JJF1238—2010目录1范围⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯-2引用文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·3术语⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·4概

3、述⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·5计量特性⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·6校准条件⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·6．1环境条件⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·6．2测量标准及其他设备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·7校准项目及校准方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·8校准结果的表述⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·9复校时间间隔⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·附录A集成电路静电放电敏感度测试设备校准证书内页格式附录B集成电路静电放电敏感度测试设备校准不确定度分析))^^^；)i)12457(；l((；(JJF123

4、8--2010集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范1范围本规范适用于集成电路静电放电敏感度测试设备(人体放电模型HumanBodyModel，简称HBM)的校准。2引用文献GJB548B--2005微电子器件试验方法和程序(方法3015)使用本规范时，应注意使用上述引用文献的现行有效版本。3术语3．1衰减时间decaytimes放电电流从lOO％峰值衰减到36．8％峰值所需的时问。3．2振荡电流ringingcurrent放电电流波形中抖动、不连续点电流幅度。4概述集成电路静电放电敏感度测试设备(简称ESD设备)主要模拟产生自然界中人体可能带有的静电电压，并将产生的静电电压施加到被

5、测器件上，以考察器件的抗静电能力。其主要结构如图1所示：图1集成电路静电放电敏感度测试设备结构示意图5计量特性5．1短路电流参数(人体模型HBM)5．1．1峰值电流J。：±(0．2～6)A范围：±10％5．1～上升时间t，范围：(2～lO)ns5．1．3衰减时间td：150ns范围：±20ns5．1．4振荡电流f，：范围：<15％J。注：被校准设备具体量程以GJB548B--2005方法3015为准。JJF1238--20106校准条件6．1环境条件6．1．1环境温度：(23±5)℃。6．1．2环境相对湿度：30％～75％。6．1．3交流电源电压：(220±11)V；(50±1)Hz

6、。6．2测量标准及其他设备6．2．1数字示波器最小带宽：≥350MHz；上升时间最大允许误差：±350ps。6．2．2宽带电流探头带宽：≥1GHz；最大允许误差：±5％。6．2．320dB衰减器带宽：≥1GHz；最大允许误差：±5％。7校准项目及校准方法设备在进行校准前应按说明书要求预热。并检查校准用测试插座连接性、校准环境静电防护设施的正常性。7．1短路电流(人体模型HBM)参数校准7．1．1校准设备连接如图2所示。图2校准连接框图7．1．2选择被校设备测试座上引线最长的通道为被校准通道，将被校准通道(设置为放电通道)与地端(设置为GND通道)用短路线相连并接入电流探头，数字示波器

7、通过20dB衰减器与电流探头相连。电流探头正端面向放电通道侧。7．1．3被校设备设置放电模型为人体模型(HBM)，按表1的试验等级设置充电电压，通过电流探头和衰减器用示波器测量ESD电流波形参数。7．1．4调节示波器的垂直刻度和水平刻度，使测量波形位于示波器恰当的位置上。按图3、图4所示，测量短路电流的峰值电流I。、上升时间t，、衰减时间ta、振荡电流I，各参数。当把示波器的时间测量刻度调节到5ns／div(每格)，以波形下降趋势线的向上延伸与波形上升沿的