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1、质量流量控制器和质量流量计使用说明书1、特点及应用领域质量流量控制器（MassFlowController缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。质量流量计（MassFlowMeter缩写为MFM），用于对气体的质量流量进行精密测量。S49系列质量流量控制器和质量流量计特点：R*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON、聚四氟乙烯等*适用于各种腐蚀性气体*气体流量不因温度、压力的变化而失准*高精度*重复性好*响应速度快、软启动、稳定可靠*低压降*工作压力范围宽（可
2、以在高压或真空条件下工作）。*操作使用方便，可任意位置安装*便于与计算机连接实现自动控制。S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域：*半导体制造行业的气体流量控制25*分析仪器设备的气体计量与控制*各种形式的真空镀膜设备*环境检测与分析设备*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制*特种材料表面处理装置与燃烧控制*混气配气系统和泄漏探测系统等2．S49系列质量流量控制器和质量流量计型号本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件及命名方法。其中：S49-33/MT型为高
3、精度质量流量控制器S49-33A/MT型高精度质量流量计。S49-33M/MT型为普通型质量流量控制器S49-33BM/MT型普通型质量流量计。质量流量计主要精确测量气体流量，质量流量控制器不但具有质量流量计的功能还具备自动控制气体流量的功能。执行Q/XCHBY001-2003企业标准3．主要技术指标质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。25质量流量的单位规定为:SCCM(标准毫升/分); SLM(标准升/分)标准状态规定为:温度---273.15K(0℃);气压—101325Pa(7
4、60mmHg)F.S(FullScale):表示满量程值表1S49-33/MT型﹑S49-33M/MT型质量流量控制器技术指标编号项目S49-33/MTS49-33M/MT1流量规格(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM(0~1,2,3,5,10,15,20,30)SLM2调节阀类型电磁调节阀3调节阀静止位置常闭4准确度±1%F.S（5sccm~10slm）±2%F.S5线性±(0.5~1.5)%F.S6重复精度±0.2%F.S7响应时间(1~10)sec8工作压差范围(0.05~0.4
5、)Mpa10~30L(0.1~0.4)Mpa9耐压3Mpa﹑10Mpa10工作环境温度5℃~45℃11材料不锈钢316L12标准密封材料Viton﹑EPDM,或其他13漏率﹤2×10-9mbar.1/sHe14接头Ф6mm,1/4″Swagelok,1/4″VCR,或其他15输入输出信号0V~+5.00V(输入阻抗大于100K,输出电流不大于3mA)16电源+15V50mA-15V200mA17外形尺寸mm134×134×3818重量kg1.225表2.S49-33A/MT﹑S49-33BM/MT型质量流量计技术指标编号项
6、目S49-33A/MTS49-33BM/MT1流量规格(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM(0~1,2,3,5,10,15,20,30)SLM2准确度±1%F.S±2%F.S3线性±(0.5~1.5)%F.S4重复精度±0.2%F.S5响应时间1~4sec6气压降<0.01MPa7耐压3MPa﹑10MPa8工作环境温度5℃~45℃11材料不锈钢316L12标准密封材料Viton﹑EPDM,或其他13漏率﹤2×10-9mbar.1/sHe14接头Ф6mm,1/4″Swagelok,1/4
7、″VCR,或其他电源+15V50mA-15V50mA11外形尺寸mm134×134×38134×134×3812重量kg11注意：S49系列质量流量控制器，质量流量计分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制。254.工作原理图一热式质量流量计的工作原理图质量流量计由流量传感器,分流器通道和流量放大电路等部件组成；在质量流量计的基础上，再加上调节阀门和PID控制电路就构成了质量流量控制器。流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成，即热分布式流量计（ThermalProfile
8、Flowmeter）。采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度和压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。25分流器在主通道和毛细管间产生层流，控制器输出的流量检测电压与流过通
