第3讲电池工艺段介绍制绒与湿法清洗ppt课件.pptx

《第3讲电池工艺段介绍制绒与湿法清洗ppt课件.pptx》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。

1、电池工艺段介绍刘仁中2014.11.28一、制绒与湿法清洗海润光伏技术大讲堂第一期培训受众：电池工艺工程师培训地点：奥特斯维行政大会议室培训时间：每周三、五下午1:30开始，时长2小时左右预期达到的目标太阳能电池基本知识：了解+掌握电池线各道工艺：熟悉工艺+学习经验电池诊断与分析：充分利用检测设备电池技术专题：电池提升技术，包括高效电池技术产品拓展：了解电池上下游提纲制绒的目的去除切割损伤层表面织构化，降低反射率，增加光的吸收去除污染多晶制绒单晶制绒清洗技术单晶硅多晶硅硅锭的铸造过程制绒的目的—去除切割损伤层制绒的目的—去除切割损伤层多线切割硅片切割损伤层（6~10微米）制绒的目的—去除切割损

2、伤层切割损伤层制绒的目的—去除切割损伤层损伤层结构制绒的目的—去除切割损伤层如何测量损伤层厚度制绒的目的—表面织构化单多晶反射率测试及SEM图制绒的目的—去除污染制绒液可有效去除：多晶制绒液(HF+HNO3+H20):1).去除损伤层包裹的杂质；2).微粒沾污；3).油渍、汗渍等有机物沾污；4).氧化层、自然氧化膜；5).大部分金属沾污；6).等离子体损伤。单晶制绒液(NaOH+酒精+H2O):1).去除损伤层包裹的杂质；2).微粒沾污；3).部分金属沾污，如Al、Zn；4).等离子体损伤。提纲制绒的目的多晶制绒制绒液组成及作用如何制作好的多晶绒面不同片源存在腐蚀差异的原因其他制绒方式单晶制绒

3、清洗技术制绒液组成No.1HFNo.2HNO3No.3H20No.1HCl多晶制绒—制绒液组成及作用“王水”组成No.2HNO3No.3H20多晶制绒—制绒液组成及作用多晶制绒—制绒液组成及作用H2O会参加反应吗？H2O的作用是什么？H2O的作用是：稀释H2O的替代者：冰醋酸(乙酸，HAc)冰醋酸的优势：冰醋酸具有稳定溶液PH值的作用，使反应更稳定：冰醋酸是一种弱酸，可根据溶液的PH值情况吸收或释放H+离子，保持PH值不变，达到控制腐蚀速度的目的。多晶制绒—制绒液组成及作用HNO3/HF的作用：硅被HNO3氧化，反应为：用HF去除SiO2层，反应为：总反应为：此制绒体系的特点：缺陷处腐蚀，起绒

4、点是缺陷处，过分完整的表面反而无法制绒自催化反应，反应大量放热和反应生成物会加速制绒速度多晶制绒—如何制作好的多晶绒面富HNO3体系or富HF体系？原因是什么？富HNO3体系富HF体系多晶制绒—如何制作好的多晶绒面腐蚀温度的影响多晶制绒—不同片源存在腐蚀差异的原因原因主要由以下三种：切割工艺存在差异导致：占主导作用典型实例：金刚线切割与砂浆切割的制绒差异铸锭工艺不同导致：典型实例：均采用多晶腐蚀体系，单晶与多晶的制绒差异晶向不同导致：典型实例：密集晶粒与大晶粒的对比多晶制绒—其他制绒方式多晶硅片是否可以采用单晶碱制绒体系制绒？采用碱制绒体系制绒的缺点：BaselineProcessRIEPro

5、cessDamageEtchandAcidTexturePOCl3FurnaceDiffusionRIETextureIsolationandPSGRemovalDepositionofSiNxARCMetallizationIVMeasurementandSortingFigure1.ProcessflowforOnyxandcomparisonwithBaseline.Figure2.RIEprocessconditionandprinciple多晶制绒—其他制绒方式RIE(RIE,ReactiveIonEtching)制绒Figure1.RIE-ASEM,Χ50,000Figure2.R

6、IE-B,Χ50,000Figure3.RIE-C,Χ50,000多晶制绒—其他制绒方式RIE(RIE,ReactiveIonEtching)制绒提纲制绒的目的多晶制绒单晶制绒基础理论知识碱制绒液组成及作用好的绒面判定标准清洗技术单晶制绒—基础理论知识晶体硅--晶胞及晶向＜晶胞＞单晶制绒—基础理论知识金字塔：单晶制绒—基础理论知识形成金字塔的原因：悬挂键差异导致腐蚀速率不同＜100晶向＞＜111晶向＞腐蚀速率：V<100>:V<111>=67:1(70℃条件下)单晶制绒—制绒液组成及作用化学反应式：Si+2NaOH+H2O→Na2SiO3+2H2↑酒精的作用：利用“相似相溶原理”带走产生的H2

7、，即“消泡”；降低溶液表面张力，提高硅片表面浸润能力，改善腐蚀均匀性。制绒添加剂：进一步降低溶液表面张力，可部分或完全取代酒精。硅片（a）无酒精（b）有酒精液滴硅片单晶制绒—制绒液组成及作用酒精的沸点：制绒温度的设定限制临界浓度：临界浓度越低，带走H2的能力越强。哪种酒精更适合单晶制绒？提纲制绒的目的多晶制绒单晶制绒清洗技术污染分类RCA清洗技术其他清洗技术污染分类具体内容对电池的影响污染（点状