光学薄膜现代分析测试方法.docx

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1、一、金相实验室•LeicaDM/RM光学显微镜主要特性：用于金相显微分析，可直观检测金属材料的微观组织，如原材料缺陷、偏析、初生碳化物、脱碳层、氮化层及焊接、冷加工、铸造、锻造、热处理等等不同状态下的组织组成，从而判断材质优劣。须进行样品制备工作，最大放大倍数约1400倍。•Leica体视显微镜主要特性：1、用于观察材料的表面低倍形貌，初步判断材质缺陷；2、观察断口的宏观断裂形貌，初步判断裂纹起源。•热振光模拟显微镜•图象分析仪•莱卡DM/RM显微镜附CCD数码照相装置二、电子显微镜实验室•扫描电子显

2、微镜(附电子探针)(JEOLJSM5200，JOELJSM820，JEOLJSM6335)主要特性：1、用于断裂分析、断口的高倍显微形貌分析，如解理断裂、疲劳断裂（疲劳辉纹）、晶间断裂（氢脆、应力腐蚀、蠕变、高温回火脆性、起源于晶界的脆性物、析出物等）、侵蚀形貌、侵蚀产物分析及焊缝分析。2、附带能谱，用于微区成分分析及较小样品的成分分析、晶体学分析，测量点阵参数/合金相、夹杂物分析、浓度梯度测定等。3、用于金属、半导体、电子陶瓷、电容器的失效分析及材质检验、放大倍率：10X—300,000X；样品尺寸

3、：0.1mm—10cm；分辩率:1—50nm。•透射电子显微镜（菲利蒲CM-20,CM-200）主要特性：1、需进行试样制备为金属薄膜，试样厚度须<200nm。用于薄膜表面科学分析，带能谱，可进行化学成分分析。2、有三种衍射花样：斑点花样、菊池线花样、会聚束花样。斑点花样用于确定第二相、孪晶、有序化、调幅结构、取向关系、成象衍射条件。菊池线花样用于衬度分析、结构分析、相变分析以及晶体精确取向、布拉格位移矢量、电子波长测定。会聚束花样用于测定晶体试样厚度、强度分布、取向、点群、空间群及晶体缺陷。三、X射

4、线衍射实验室•XRD-Siemens500—X射线衍射仪主要特性：1、专用于测定粉末样品的晶体结构（如密排六方，体心立方，面心立方等），晶型，点阵类型，晶面指数，衍射角，布拉格位移矢量，已及用于各组成相的含量及类型的测定。测试时间约需1小时。2、可升温（加热）使用。•XRD-PhilipsX’PertMRD—X射线衍射仪主要特性：1、分辨率衍射仪，主要用于材料科学的研究工作，如半导体材料等，其重现性精度达万分之一度。2、具备物相分析（定性、定量、物相晶粒度测定；点阵参数测定），残余应力及织构的测定；薄

5、膜物相鉴定、薄膜厚度、粗糙度测定；非平整样品物相分析、小角度散射分析等功能。3、用于快速定性定量测定各类材料（包括金属、陶瓷、半导体材料）的化学成分组成及元素含量。如：Si、P、S、Mn、Cr、Mo、Ni、V、Fe、Co、W等等，精确度为0.1%。4、同时可观察样品的显微形貌，进行显微选区成分分析。5、可测尺寸由?10?10mm至?280?120mm；最大探测深度：10靘•XRD-Bruker—X射线衍射仪主要特点：1、有二维探测系统，用于快速测定金属及粉末样品的晶体结构（如密排六方、体心立方、面心立

6、方等）、晶型、点阵类型、晶面指数、衍射角、布拉格位移矢量。2、用于表面的残余应力测定、相变分析、晶体织构及各组成相的含量及类型的测定。3、测试样品的最大尺寸为100×100×10(mm)。•能量散射X-射线荧光光谱仪(EDXRF)主要特点：1、用于快速定性定量测定各类材料（包括金属、陶瓷、半导体材料）的化学成分组成及元素含量。如：Si、P、S、Mn、Cr、Mo、Ni、V、Fe、Co、W等等。2、同时可观察样品的显微形貌，进行显微选区成分分析。3、最大可测尺寸为：?280?120mm四、光子/激光光谱实

7、验室•傅里叶转换红外光谱仪(PerkinElmer1600)主要特点：1、通过不同的红外光谱来区分不同塑胶等聚合物材料的种类。2、用于古董的鉴别，譬如：可以分辨翡翠等玉器的真伪。3、样品的尺寸范围：?25mm–?0.1mm•紫外可见光谱仪(UV-VIS)主要特性：1、测试物质对光线的敏感性。譬如：薄膜、电子晶片、透明塑料、化工涂料的透光性或吸光性。2、测试液体的浓度。波长范围：190nm—1100nm•拉曼光谱仪(SpexRamaLog1403)•拉曼显微镜光谱仪(T64000)•布里渊光谱仪(San

8、derock前后干涉计)五、表面科学实验室•原子发射光谱仪,俄歇能谱仪(PHIModel5802)•原子力显微镜，扫描隧道显微镜(Park科技)•高分辨率电子能量损耗能谱仪(LK技术)•低能量电子衍射,原子发射光谱&紫外电子能谱仪(Micron)•荧光光谱仪•XPS+AES电子表面能谱仪主要特点：用于表面科学10-12材料迹量，样品表面层的化学成分分析（1靘）以内，超轻元素分析，所测成分是原子数的百分比（He及H除外）；并可分析晶界富集有害杂质原子引起的