BPG400 真空规管中文手册.doc

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1、IR090第33页共32页IR090热阴极电离复合真空计使用说明书BG804171BE33IR090第33页共32页目录产品标识有效范围使用范围工作原理注册商标1安全1.1使用符号1.2人员素质1.3一般安全规则1.4赔偿责任与保修2技术参数3安装3.1真空连接3.1.1拆卸和安装电子学单元3.1.2安装延伸件3.2电源连接3.2.1与COMBIVACIT23一起使用3.2.2与其它测量仪器一起使用4运行4.1测量原理，测量特性4.2真空计工作原理4.3除气4.4显示器4.5RS232C接口4.5.1功能说明4.5.1.1IR090输出4.5.

2、1.2IR090输入5维护5.1维护5.2真空计调整5.3真空计清洗5.4安装障板5.5更换障板5.6更换规管5.7故障查找6拆卸7产品返修8附件9备件10废物处理附录A.测量讯号与压强的关系B.气体种类与压强的关系污染申报表参阅本说明书中的章节，采用符号（→XY）。参阅其它文献，采用符号（→［Z］）。33IR090第33页共32页产品标识与LeyboldInficon联系时，请标明产品标牌上给出的信息。将信息复制在标牌的复印件上。有效范围本说明书适用于下列件号的产品不带显示器12090（法兰DN25ISO-KF）12092（法兰DN40CF-

3、R）带显示器12091（法兰DN25ISO-KF）12094（法兰DN40CF-R）产品的件号在标牌上标明。本公司保留对说明书不预先通知的技术更改权。使用范围IR090用于在压强5×10-10…1000毫巴范围内非易燃性气体和气体混合物的真空测量。真空计规管是SKYSmart真空计规管系列的一个组成部分。可与COMBIVACIT23或其它测量仪器一起工作。工作原理在整个测量范围内，热阴极电离复合真空计有连续的测量特性。它的测量讯号是对数压强输出。真空计的功能包括BA规热阴极电离测量系统（用于p＜2.0×10-2毫巴）和皮拉尼测量系统（用于p＞5

4、.5×10-3毫巴）。在2.0×10-2毫巴至p＞5.5×10-3毫巴的交叉压强范围内，输出两个测量系统的混合讯号。只有当皮拉尼测量系统的压强低于2.4×10-2毫巴的阈值时，才能转换至热阴极测量系统（防止灯丝烧断）。当压强超过3.2×10-2毫巴时切断电源。注册商标CombivacLeyboldSKYLeyboldInficon33IR090第33页共32页1安全1.1使用符号危险有关防止任何人身伤害的信息。警告有关防止设备和环境损伤的信息。注有关正确掌握或使用的信息。如不注意可导致设备故障或局部损伤。提示，建议1.2人员素质技术熟练的人员本

5、说明书中涉及的全部工作必须由经过技术培训、有经验的或由产品的最终用户委派的人员执行。1.3一般安全规则•遵守安全使用规则，对过程介质采取必要的预防措施。注意材料（→第7页）与过程介质之间可能的反应。注意用于产品产生的热导致过程介质可能产生的反应。•全部工作必须在遵守安全使用规则和必要的预防措施下进行。注意本说明书中的安全要点。•在开始工作前，检查是否有被污染的真空元件。当处理被污染的元件时，遵守有关的规程和采取必要的预防措施。与其它用户交流安全方面的经验。33IR090第33页共32页1.4赔偿与保修责任如最终用户或第三方有以下情况，Leybo

6、ldInficon将不承担赔偿与保修责任。•不理会本说明书中的要求•在不适当的状态下使用本产品•对产品作任何变动（修改，更改等）•使用不是相应产品文件中所列的附件对所使用的过程介质，由最终用户负责。33IR090第33页共32页2技术参数测量测量范围（空气，氮，氧）5×10-10至1000毫巴,连续精度15%读值（10-8至10-2毫巴）（5分钟后稳定）重复性5%读值（10-8至10-2毫巴）（5分钟后稳定）与气体种类的关系®附录B发射发射on阈值2.4×10-2毫巴发射off阈值3.2×10-2毫巴发射电流p≤7.2×10-6毫巴5毫安7.2

7、×10-6＜p＜3.2×10-2毫巴25微安发射电流转换25微安Þ5毫安7.2×10-6毫巴5毫安Þ25微安3.2×10-5毫巴除气电流约16毫安/约4.0瓦（p＜7.2×10-6毫巴）控制输入讯号0伏/24伏，PLC-值，高动态时长至多3分，接着自动停止在除气模式中，IR090保持提供测量值，误差大于正常运行。输出讯号输出讯号0至10伏测量范围0.774伏@5×10-10毫巴10伏@1000毫巴电压与压强的关系对数，0.75伏/量级误差讯号＜0.3伏/0.5伏（→第25页）最小负荷10仟欧RS232C接口波特率9000波特数据格式二进位数据组

8、8数据位1停止位无奇偶位无同步交换讯号值≈±8伏连接件T×D（传送数据）接脚13R×D（接收数据）接脚14GND（外壳接地）接脚15显示器平板型LCD