二维硅光子晶体制备及带隙研究.pdf

《二维硅光子晶体制备及带隙研究.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在工程资料-天天文库。

1、分类号UDC：密级编号二维硅光子晶体制备及带隙研究FabricationandBandGapResearchoftheTwo·DimensionalSiliconPhotonicCrystals学位授予单位及代码：挂壹理王太差I!Q!竖)学科专业名称及代码：邀虫王堂皇固往虫王堂lQ8Q!Q31研究方向：鱼王篷瑾皇ME坚拄查申请学位级别：且±一指导教师：端盔废堡熬援研究生：盟—垦一论文起止时间：2Q塑：!Q=2Q!Q：12手机号码：—186866—86172长春理工大学硕士学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的硕士学位论文，《二维硅光子晶体制各

2、及带隙研究》是本人在指导教师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外．本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均己在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。作者签名：善岛乳坦生年上月!￡月长春理工大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士、博士学位论文版权使用规定”，同意长春理工大学保留并向中国科学信息研究所、中国优秀博硕士学位论文全文数据库和CNKl系列数据库及其它国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和电

3、子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理工大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，也可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编学位论文。作者签名：—≥《丛生一!!兰年三月翌日导师躲蟊盆溺!L年山兰一摘要光子晶体是不同介电材料周期性捧列形成的具有光子禁带的一种结构，某一频率范围的光落在带隙中将被禁止向外传播，利用这一特性可以操控光在光子晶体中的传播。在N型硅衬底上用光电化学腐蚀方法制各了二维空气柱光子晶体，并对制备过程中诱导坑的结构、腐蚀溶液配比和腐蚀电压对光子晶体结构的影响做了分析，优化了工艺参数，得到了较好的实验制各条件

4、。用FDTD法对二维空气柱光子晶体的带隙特性进行了时域仿真，通过分析E、H两种偏振的透射特性，研究了晶格周期、晶格结构和空气柱孔径对光子带隙的影响，为实验制各提供了理论依据。关键字：光子晶体光于禁带时域有限差分法电化学腐蚀ABSTRACTPhotoniccrystalsareperiodicarrangementofdifferentdielectricmaterialswiththeformationofaphotonicbandgapstructure，afrequencyrangeoflightfallonthebandgapwillbe

5、prohibitedtospread，thisfeaturecanbeusedtomanipulatelighttransmissioninphotoniccrystalsTwo—dimensionalphotoniccrystalhasbeenfabricatedintheN—typesiliconsubstratebyelectrochemicaletching，thefactorsincludingthesizeofholes．thevoltageratioofcorrosionandCOITOSiOnsolutionwhicheffec

6、tthepropertiesofphotonicbandgaphavebeenanalyzedduringthefabrication，optimizedtheprocessparameters，goodexperimentalpreparationconditionshavebeenobtainedweinvestigatedthe2-DaircolumnphotoniccrystalbytimedomainsimulationusingFDTDmethod，andstudiedbandgaPofphotonaffectedbylattice

7、period，latticestractureandaircolumnaperturebyanalysingthepropertyoftransmissionofE，HpolarizationwhichprovidethetheoreticalbackgroundforourresearchKeywords：PhotonkcrystalsPhotonlchandgapF'miteD醯m∞TimeDomainMethodElecirochemioalcorrosion目录摘要ABSTIRACT录第一章绪论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

8、光子晶体简介⋯⋯⋯⋯2光子晶体性质及应用13光子晶体的制备方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯714本论文的主要研究内容⋯⋯⋯12第二章光子晶体的理论分析方法．．⋯⋯⋯