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时间:2020-05-19
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1、内容简介:MEMS的组成、结构、基本原理、设计方法与制作技术,介绍几类典型的MEMS器件;微集成传感器、微执行器和微系统,介绍MEMS在信息、生物、医学、宇航等领域中的应用。
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