电池片制备工艺流程.ppt

《电池片制备工艺流程.ppt》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、太阳电池工艺流程基本概念什么是太阳能电池？太阳电池的种类有哪些？太阳电池的心脏－pn结不同日照量下太阳能电池片的I-V曲线太阳电池片生产流程前清洗（制绒）扩散SiNx减反射膜后清洗（刻蚀/去PSG）丝网印刷背电场丝网印刷正电极烧结测试分档丝网印刷背电极硅片分选前清洗的目的和意义去除硅片表面的机械损伤层清除表面油污和金属杂质利用陷光原理减少光的反射增加pn结的面积前清洗的工序流程上料下料脱水漂洗酸洗（HF）漂洗酸洗（HCl）漂洗单晶制绒漂洗超声波清洗漂洗去损伤层工序处理液温度时间浓度消耗量(140L)补液换液周期1超声清洗DI水

2、65℃5min／／／一班一换2溢流漂洗DI水RT7.5min／／／／3溢流漂洗DI水RT7.5min／／／／4去损伤层NaOH85℃0.5min12.5%wtNaOH20000gNaOH10批补NaOH500g一班一换5溢流漂洗DI水RT7.5min／／／／6单晶制绒碱液80℃20~35min1%wtNaOH+0.2%wtNa2SiO3+5%volIPA1700gNAOH350gNa2SiO34LIPA每批补NaOH200gIPA1.5L10~12批换液78溢流漂洗DI水RT7.5min／／／／9单晶制绒碱液80℃20~35m

3、in1%wtNaOH+0.2%wtNa2SiO3+5%volIPA1700gNAOH350gNa2SiO34LIPA每批补NaOH200gIPA1.5L10~12批换液1011溢流漂洗DI水RT7.5min／／／／12溢流漂洗DI水RT7.5min／／／／13纯水锁DI水RT7.5min／／／／14HCl处理HCl55℃8minHCl:H2O=1:520LHCL／一班一换15QDRDI水RT7.5min／／／／16HF处理HFRT3min5~10%volHF7~14LHF／一班一换17溢流漂洗DI水RT7.5min／／／／18

4、溢流漂洗DI水RT7.5min／／／／19溢流漂洗DI水RT7.5min／／／／工艺流程及参数去损伤层原理及意义：碱溶液中对硅片进行腐蚀从而去除硅片的损伤层以及其它杂质损伤层：硅锭切割过程中产生的非晶质层、多晶层、弹性畸变层、微裂纹、位错、残余应力、表面缺陷等碱制绒原理：利用低浓度碱溶液对晶体硅各个晶面腐蚀速率的不同，在硅片表面腐蚀形成角锥体密布的表面形貌反应方程式：HCl清洗中和残留在硅片表面的碱液；利用盐酸具有酸和络合剂的双重作用，与Pt2+、Au3+、Ag+、Cu+、Cd2+、Hg2+等金属离子形成可溶于水的络合物，达到

5、去除硅片表面的金属杂质的目的。HCl清洗去除前清洗中硅片表面产生的SiO2层，获得更好的疏水面反应方程式：制绒过程中的影响因素浓度：包括碱浓度、IPA浓度、硅酸盐浓度，也与槽体密封程度、IPA挥发程度有关制绒温度制绒时间扩散的目的：形成PN结(在晶体内部实现P型和N型半导体的接触)——太阳电池的心脏2021/7/2214扩散15三氯氧磷（POCl3）液态源扩散喷涂磷酸水溶液后链式扩散丝网印刷磷浆料后链式扩散太阳电池磷扩散方法清洗饱和装片送片扩散关源，退舟方块电阻测量卸片回温磷扩散工艺过程扩散炉装置示意图POCl3磷扩散原理PO

6、Cl3是目前磷扩散用得较多的一种杂质源无色透明液体，具有刺激性气味。如果纯度不高则呈红黄色。比重为1.67，熔点2℃，沸点107℃，在潮湿空气中发烟。POCl3很容易发生水解，POCl3极易挥发。POCl3在高温下（>600℃）分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5）POCl3磷扩散原理POCl3热分解时，如果没有外来的氧（O2）参与其分解是不充分的，生成的PCl5是不易分解的，并且对硅有腐蚀作用，破坏硅片的表面状态。但在有外来O2存在的情况下，PCl5会进一步分解成P2O5并放出氯气（Cl2），生成的P2O5又进

7、一步与硅作用，生成SiO2和磷原子，由此可见，在磷扩散时，为了促使POCl3充分的分解和避免PCl5对硅片表面的腐蚀作用，必须在通氮气的同时通入一定流量的氧气。在有氧气的存在时，POCl3热分解的反应式为：POCl3分解产生的P2O5淀积在硅片表面，P2O5与硅反应生成SiO2和磷原子，并在硅片表面形成一层磷-硅玻璃，然后磷原子再向硅中进行扩散。扩散温度扩散时间管内气体中杂质源的浓度扩散的影响因素刻蚀等离子体刻蚀原理：等离子体刻蚀是采用高频辉光放电反应，使反应气体激活成活性粒子，这些活性粒子扩散到需刻蚀的部位，在那里与被刻蚀材

8、料进行反应，形成挥发性生成物而被去除。等离子体刻蚀反应首先，母体分子CF4在高能量的电子的碰撞作用下分解成多种中性基团或离子。其次，这些活性粒子由于扩散或者在电场作用下到达SiO2表面，并在表面上发生化学反应。PSG的清洗什么是PSG？去除PSG的目的磷硅玻璃的存在使得硅片在