XPS Peak分峰步骤 origin.doc

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1、实验条件：样品用VGScientificESCALab220i-XL型光电子能谱仪分析。激发源为AlKαX射线，功率约300W。分析时的基础真空为3×10-9mbar。电子结合能用污染碳的C1s峰（284.6eV）校正。X-rayphotoelectronspectroscopydatawereobtainedwithanESCALab220i-XLelectronspectrometerfromVGScientificusing300WAlKαradiation.Thebasepressurewasabout3×10-9mbar.

2、ThebindingenergieswerereferencedtotheC1slineat284.6eVfromadventitiouscarbon.XPS数据考盘后的处理数据步骤数据是.TXT文件，凡是可以打开TXT文件的软件都可以使用。下面以origin5.0为例：1.open文件，可以看到一列数据，找到Region1(一个Region对应一张谱图)。2.继续向下找到KineticEnergy，其下面一个数据为动能起始值，即谱图左侧第一个数据。用公式BE始=1486.6-KE始-j换算成结合能起始值，j是一个常数值，即荷电位移

3、，每个样品有一个值在邮件正文中给出。3.再下面一个数据是步长值,如0.05或0.1或1，每张谱图间有可能不一样。4.继续向下8行,可以找到401或801这样的数，该数为通道数，即有401或801个数据点。5.再下面的数据开始两个数据是脉冲，把它们舍去，接下来的401或801个数据都是Y轴数据，将它们copy到B(Y)。6.X轴：点A(X)，再点右键，然后点setcolumnvalues，出现一个对话框，在from中填1，在to中填401(通道数)，在col(A)中填BE始-0.05*(i-1)，最后点doit。7.此时即可以作出一张

4、图。8.从Region2可以作出第二张图。依此类推。XPSPeak分峰步骤1．将所拷贝数据转换成所需格式：把所需拟合元素的数据引入Origin后，将columnA和B中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强），并存盘。如要对数据进行去脉冲处理或截取其中一部分数据，需在Origin中做好处理。1．打开XPSPeak，引入数据：点Data----Import(ASCII)，引入所存数据，则出现相应的XPS谱图。2．选择本底：点Background，在所出现的小框中的HighBE和LowBE下方分别选取本底

5、的起始和终点位置，则本底将连接这两点，Type可据实际情况选择。3．选峰：点Addpeak，出现小框，在PeakType处选择s、p、d、f等峰类型（如C1s峰则选s，S2p峰则选p），在Position处选择希望的峰位，需固定时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。各项中的constraints可用来固定此峰与另一峰的关系，如Pt4f7/2和Pt4f5/2的峰位间距可固定为3.45，峰面积比可固定为4:3等。点Deletepeak可去掉此峰。然后再点Addpeak选第二个峰，如此重复。4．选好所需拟合的峰个数

6、及大致参数后，点Optimiseregion进行拟合，观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可以多次点Optimiseregion。5．拟合完成后，分别点另一个窗口中的RigionPeaks下方的0、1、2等可看每个峰的参数，此时XPS峰中变红的为被选中的峰。如对拟合结果不满意，可改变这些峰的参数，然后再点Optimiseregion。6．点SaveXPS存图，下回要打开时点OpenXPS就可以打开这副图继续进行处理。7．点Data――Printwithpeakparameters可打印带各峰参数的谱图，通过峰面积可计算此元素在

7、不同峰位的化学态的含量比。8．点Data――Exporttoclipboard，则将图和数据都复制到了剪贴板上，打开文档（如Word文档），点粘贴，就把图和数据粘贴过去了。9．点Data――Export（spectrum），则将拟合好的数据存盘，然后在Origin中从多列数据栏打开，则可得多列数据，并在Origin中作出拟合后的图。