EDS-Training.ppt

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1、谭立和博士Ph.D.CambridgeEdaxInc.Phoenix/FalconTrainingCourseEnergyDispersiveX-raySpectrometricMicroanalysiswithSEMWhat’sNewatEDAX?EDAXisnowpartofAmetekGroupPhoenix/FalconSoftwareVersion.3.35EDAXacquiresTSLEDAXacquiresPPD(fkaC-Thru)EDAX&CSPdevelopMicrocalorimeterEagleIII–newsoftwareEDA

2、X#1inMarket–Thankyou!WhatistheuCalorimeter?TES=TransitionEdgeSensorSapphireTMuCalorimeterSapphireTMuCalorimeterElectronBackscatterDiffractionintheSEMCrystallographyandMicrostructureEagleSpectrometerandAnalyzerMultilevelSampleAnalysis内容梗概扫描电镜简介及EDS理论ZAF软件面扫和线扫面分布和线扫描报告，其他软件和摘要在本课程

3、中将包含哪些软件?ZAF32/ZAF谱的定性定量分析Imaging-Mapping/IDX成像，面分布图（标准、快速、定量）MultipointAnalysis/DXAuto多点分析，线扫描和谱的面分布（仅对Phoenix系统）Particle-Phase/IDXac,Match,SpecUtil粒度/像分析，谱峰匹配，高级谱分析参考书目（特别推荐）ScanningElectronMicroscopyandX-RayMicroanalysis用于生物学、材料科学和地质学JosephI.Goldstein,DaleE.Newbury,PatrickEchl

4、in,DavidC.Joy,A.D.Romig,Jr.,CharlesE.Lyman,CharlesFiori,EricLifshin,PlenumPress,NewYork,1992.(ISBN--0-306-44175-6)参考书目(LehighLabManual)ScanningElectronMicroscopy,X-RayMicroanalysis,andAnalyticalElectronMicroscopy一本实验手册CharlesE.Lyman,DaleE.Newbury,JoesephI.Goldstein,DavidB.William

5、s,AltonD.Romig,Jr.,JohnT.Armstrong,PatrickEchlin,CharlesE.Fiori,DavidC.Joy,EricLifshin,&Klaus-RuedigerPeters,PlenumPress,NewYork,1990.(ISBN--0-306-43591-8)背景理论扫描电镜简介及EDS系统硬件和软件X-射线信号的产生信号源，空间分辨率，信号的方向，样品表面EDS仪器和信号的产生探头和几何效率，信号处理，能量分辨和准直系统EnergyPower能量:tobeacceleratedbymagneticfie

6、ldResolutionPower分辨能力:=0.61l/nSinaHumanEye-0.2mmOpticalMicroscope-0.2mmElectronbeam-nmorsubnmleveldependingonbeamenergyl=h/mv=h(2mE)-0.5LowMass质量小:minimumdamagetospecimenFocusingPower可聚焦性deflectedbymagneticfield，Probesizedownto2~3Å为何选用电子束分析仪器电子-样品的交互作用背散射电子(包括背散射电子衍射花样)二次电子俄歇电子X-

7、射线量子光子发热(样品电流)交互作用~10nm:SE（二次电子）~1~2mm:BSE（背散射电子）~2~5mm:X-ray/CL（X-射线/阴极荧光）交互作用区一次电子束交互作用125kV15kV5kV交互作用2银碳铁倾斜效应RR0q一次电子束倾斜样品表面交互作用370倾斜30倾斜0无倾斜探头参数物镜极靴取出角y采集角W探头样品背散射系数平均原子序数晶体学取向(通道)表面倾斜内部磁场B相A相激发能量050eV2kVEPESEBSEAuger频数电子能量样品电流检测器iPCiSEiBSEiSC样品荷电效应E1<1kVE2>1.5kVh+d1电子束能量

8、电子荷电涂层快速扫描较低的加速电压较小的束斑涂层特性良好的导电性化学的不活泼性良