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1、.一些国产真空材料放气率的测试一机部自动化研究所加速器研究室王敬泉许茂桃冷庚析本文在实验基础上给出了近30种材料目前的氦质谱检漏技术足以做到使,的放气曲线及其数据其中一部分是实用而。。《::,,经过一定的抽气时、以后目,前国内又缺少实验数据的材料文中并对子。试验装置作了介绍,因变得很小此真空系统所需要的真空泵的大小主要取决于真空系统中所使用材料放气、一侧试目的。率的大小所以研究和钡『量材料的放气率对在,。设计真空系统时首先要计算出系统真空系统设计有着重要的意义研究并采用。:,,所必需的有效抽速它由下式确定合理的真空处理工艺会减小材料放气率。o_乏Fq偏犷dP能够大
2、大降低真空系统的造价.J一一石弓-一公屯一一】一-气而Q.二石~~一-一~、犷一犷。犷一一尸。p巧滚了,目前国内外发表的大量数据都是将具式中:体的某种材料在实验室中的特定条件下测得,。,S一系统的有效抽速的材料的放气率不仅与材料种类有关而艺Fq系统内材料的放气率总和、、一且与其制造工艺表面状态清洗等予处理漏、。Q一系统的漏气率(包括渗透)方法试验方法及条件等关系也很大不同犷,。一系统的容积生产厂家的同一种材料往往也有差别我P。一系统的工作压强们的试验结果也充分地表明了这一点表1。。P一系统的极限压强给出了同类材料放气率的测试结果对比衰1竺二退⋯甲夸黔型巍而一一.一
3、7,7lx10.一,(牌号1.10北京产)二尼龙12x冬0〔1〕。一’,一86X10(牌号1010安次产)·一__J“x二U乙j‘环氧树脂{1。。x10,“----(5~5O江一(桂林产四种牌号》一生竺丝里型-些一⋯--一一“·1”_〔2〕一一10一铝板{}二认一·“63x10〔3〕{——z,清洗的影响以Q高强度聚脂漆包线为值有的一致有的由于种种原因竟能相差一,,=2x~。,。例其前后数值分别为qlo托升/至两个数量级所以对于国产材料不宜完全·..·2=5父“7,秒厘米和叭610托升/秒厘引用国外同类材料的数据最好对所选用的“。米,材料进行实测从而使真空系统的设计
4、既稳1,。从表可以看出同一类材料的放气率数妥可靠又经济合理。,气率的测试测试容器前者为碳钢机加工、。,,后者为不锈钢抛光至二试验装里甲表面橡皮密封”·并攀过粗”℃烤去银丝密封。通过对国内外有关材料放气率测试方裕刀铲气DL2DC以一8〕的,,真空测量规管分别为一电离规和一分析根据我们的使用情况采用。1BA了,型规并绎过膨胀法校准测试容器的动态法来进行测试并建文了两套测试装,,。、。预抽前者为机械泵后者为吸附泵或机械置装置的示意图见图1图2。泵经分子筛阱、一、、、献À,上nJ工印.口甘,二六口。匀2.0.试验容器被侧材料:小5。超高真空佃,.中25超高真空阀BA石。
5、⋯规B人规小孔板、二MSQ一30型四被质谱计小25超高真空阀10。派射离子泵。,三,几上分子筛吸附阱绍前级阀机械真空泵“。放气阀,。。357918日油扩散泵攀水冷凝降板10拙361“.高宾空阀门、4.容器放气阀16中真空电离规今5奄米小孔板图2无油超高宾空材料放气侧试系统⋯放气阀二试验容器DL一2标准电离规管DL一3侧t用热偶规管烘烤后的不锈钢放气率的测试是用不锈洲t用DL一2电离规管钢直接制成被测容器。其余材料的测试均为「被洲材料、-。洲t用nL一2电离规管将被测材料置于测试容器内有关材料放气预抽阀门。率的测量方法我们已作过介绍〔1的侧母用DL一每热偶规管机械真
6、空泵15前级阀门、储气瓶三侧试结果图1油扩散泵高秦空测试系统共进行了近三十种材料的常温放气率测:一试。各种料测试结果和曲线见表“、表其中一个装置为抽速玄70升/秒的油扩村的。,3和图8散泵高真空金属测试系统测量用的小孔通3~图.‘’.1,导1升/秒或7一。3升/秒(可调换)主金属材料给出了十小时以内的放气率随,;抽气时间变化的曲线(见图3犷要用作非金属材料放气率的测试另一个装被测材料.、,置为抽速50升/秒的溅射离子泵不锈钢超除20钢外皆为板片材从高真空抽气开一高真空无油测试系统乡’小孔通导r.淞几或始计时(预抽15分钟不计)。表2给出了、.0,,8升/秒(可调换
7、)主要用作金属材料放测试时的温度预处理工艺和放气率数值一22一麟毓书展赞r粗葬扮峨胡琳扣躲,叫芍留月.亡,巾希姗呀.口.荟盆口闷O.月.巾希日以钟翻伟一比一日越宋处一舞一德一酉叹圈哪姚一!。砂刹知钧和罗众阵户‘1。18囚.0..:1愧‘倪:1。0No。T扣N工的。曰1xo、x·.-.呢-.一.诀髻啥‘^-.:’一戊绷肥陇腔一巴辑牟脂阵口离一.~工卜.-.;!:;洲到洲月引!
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