光刻版沾污分析报告

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1、光刻版沾污分析报告报告人：陈明饪日期：2011-5-25一、成立小组：陈明锂、程艳丽、王品东、吕永志二、问题描述：2.1.2011年4月22日检版时发现JMD产品A180BN、B247DM、B430K和FRED产品F3674D、F2200D.F4450D、F6200D.F4422D图形縮面均有不同程度大面积点状沾污。共计24块。2.2.4月27口再次发现SKY产品SBDS101-C6-A-WL点状沾污。1块。2.3.4月29日统计在此之前2011年发生此问题光刻版SKY产品6块。JMD产品2块。MOS产品3块。共计11块。2.4.5月20日再次发现M0S产品JX826-A-01,JX826-

2、A-02点状沾污。2块。2.5.以上总计38块。三、临时处置：3.1.返厂清洗后加膜，共计18块；3.2.无膜版可自己清洗擦拭，共计12块；3.3.暂吋没有片子未处理，共计7块；3.4•沾污较少未影响质量未处理，共计1块。四、原因查找：4.1数据情况：4.1.12011年沾污版:序号异常时间光刻版名入光刻工序时间掩膜情况处理方法存放柜号制版厂家12011.2.21SBDS080-C6-A-PP2008-1-9膜完整2011.2.22返厂清洗重新加膜8号柜无锡华润22011.2.21SBDS080-C6-A-AL2008-1-9膜完整2011.2.22返厂清洗重新加膜32011.2.21SBD

3、S014-C6-A-PP2007-1-2膜完幣暂时没有片子未处理42011.2.21SBDS087-C6-A-WL2007.9.11膜完整2011.2.23返厂清洗重新加膜52011.2.21SBDS101-C6-B-AL2007.4.26膜完整2011.3.8返厂清洗重新加膜62011.2.21SBDS030-C6-A-AL2007.4.26膜完整2011.2.23返厂清洗重新加膜72011.3.7B350K-C6-B-BASE2006.7.27膜完整2011.3.8返厂清洗重新加膜7号柜无锡华润82011.3.7B350K-C6-B-METAL2006.7.28膜完整沾污较少未影响质量，

4、未处理92011.3.7LG2703-D-PW2010.2.6无保护膜无膜版可以擦拭掉3号柜无锡华润102011.3.7LG2703-D-SP2010.2.4无保护膜无膜版可以擦拭掉112011.3.7LG2703-D-VP2010.2.5无保护膜无膜版可以擦拭掉122011-4-22A180BN-C6-A-BASE2011.3.14膜完整2011.5.9返厂清洗后重新加膜7号柜深圳清溢132011-4-22A180BN-C6-A-C0NTACT2011.3.14膜完幣2011.5.9返厂清洗后重新加膜142011-4-22A180BN-C6-A-METAL2011.3.17膜完整2011.

5、5.9返厂清洗后重新加膜152011-4-22F3674D-C6-A-L32009.12.29膜完整暂时没有片了未处理162011-4-22F3674D-C6-A-L4并存2009.12.29膜完整暂时没有片子未处理版172011-4-22F3674D-C6-B-L4并存版2009.12.29膜完整暂时没有片子未处理182011-4-22B247DM-C6-A-EMITTER2010-1-22膜完整2011.5.9返厂清洗后重新加膜192011-4-22B247DM-C6-A-C0NTACT2010-1-22膜完整2011.5.9返厂清洗后重新加膜202011-4-22B247DM-C6-A

6、-METAL2010-1-22膜完整2011.5.9返厂清洗后重新加膜212011-4-22F2200D-C6-A-L12011-3-11膜完整2011.4.30返厂清洗重新加膜222011-4-22F4450D-C6-A-L32011-3-9膜完整2011.4.30返厂清洗重新加膜232011-4-22F4450D-C6-A-L12011-3-11膜完整2011.4.30返厂清洗重新加膜2420114-22F4450D-C6AL52011-3-11膜完整2011.4.30返厂清洗重新加膜252011-4-22B430K-C6-B-BASE2006-8-18膜完整2011.5.9返厂清洗后重

7、新加膜无锡华润262011-4-22F6200D-C6-A-L52011-3-8膜完整2011.4.30返厂清洗重新加膜深圳清溢272011-4-22F4422D-C6-A-L12009-12-24膜完整暂时没有片子未处理282011-4-22F4422D-C6-A-L42009-12-24膜完整暂时没有片子未处理292011-4-22B270-C6-A-BASE2007-9-10无保护膜无膜版可以擦拭掉北京