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时间:2019-10-25
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1、X射线系统构造及主要参数介绍唐立云2008/12/20BI29.08.03YXLON.Thereasonwhy1X射线检测系统的基本构造(开放式X射线管)铅房:防止X载物台:射线泄路,一放置样品,并在般为两层不锈检测中移动样品钢板+6到8mm的铅板(FEINFOC高压发生器:产US)生高压160K探测器:用于V,并对整个系感应X射线强统供电度及产生黑白高压电缆:信号给电脑抽真空系统:射线管:产生X射线管必须工X射线作在真空状态高压电缆:BI29.08.03YXLON.ThereasonwhyX射线检测系统的重要部件---射线管(开放式X射线管)•工作状态:在真
2、空下工作,如果不是真空,灯丝将会烧断FilamentGrid外观Target内部结构示意BI29.08.03YXLON.ThereasonwhyX射线检测系统的重要参数---KVkV:衡量加到电子上的能量,KV越高,穿透能力越强•密度越高的物体需要更高的电压穿透物体•越厚的物体,需要更高的电压穿透物体BI29.08.03柔性电路板金刚石钻头YXLON.ThereasonwhyX射线检测系统的重要参数---靶电流(targetpower)靶电流µA(靶功率W)靶电流定义:逸出灯丝的电子到达靶上总和靶功率定义:靶电流*KV值特点:t靶电流越大,X射线功率越强,X射
3、线吸收物质通过探测器获得的物体黑白对比度越好用途:靶电流与图像的黑白对比度有关BI29.08.03高靶功率低靶功率YXLON.ThereasonwhyX射线检测系统常用参数之一----管电流(tubecurrent)6管电流定义:逸出灯丝的总的电子数高压源HighVoltageSource管壁电流定义:逸出灯丝的电子,撞到射线管的管壁上。(损耗功率,不产生X射阴极灯丝线)电子逸散管电流=管壁电流+靶电流电子束加速管功率=管壁功率+靶电流聚焦线圈因管壁电流不会产生X射线因此,管电流(管功率只是一个参数,没有意阳极义)。有意义的是靶功率靶BI29.08.03X射线
4、Photons(X-rays)YXLON.ThereasonwhyX射线检测系统的重要参数---焦点尺寸(focusportsizeX射线焦点尺寸定义(FOCUSPORT):电子束被聚焦后,打在X射线球管上靶的实际面积焦点尺寸是用来测量X射线球管性能的一个标准焦点尺寸:•决定X射线检测系统可以检测到的物体最小缺陷•焦点越小,可以检测到的缺陷越小•焦点尺寸随着靶功率增加而增大BI29.08.03YXLON.ThereasonwhyX射线检测系统的重要参数---焦点尺寸(focusportsize焦点尺寸:•决定X射线检测系统可以检测到的物体最小缺陷•焦点越小
5、,可以检测到的缺陷越小•焦点越小,图像越清晰•系统最小检测能力=焦点的一半•焦点尺寸大,将造成几何阴影A焦点为2个微米B焦点为5个微米BI29.08.03YXLON.ThereasonwhyX射线检测系统的重要参数---X射线焦点尺寸大小与靶的功率的关系散热层:250um铝层纵切面靶层:5um钨层•散热层:单位面积散热能力有限,当受热超过每秒散热的能力,散热层会熔化,射线管没有真空,系统不工作。•设计保护:•当靶功率超过一定功率,将会将焦点尺寸放大,增加散热面积,确保靶不烧穿BI29.08.03•随着X射线靶上的功率增加,焦点尺寸的将增加YXLON.There
6、asonwhyX射线检测系统的重要参数---X射线焦点尺寸大小与靶的功率的关系随着X射线靶上的功率增加,焦点尺寸的将增加1.原因:开管设计的X射线管必须保持真空状态.靶是密封材料之一.随着靶的功率增加,在靶上产生的热量增加.靶的温度也随着增加为了确保靶不会融化,当靶上功率达到一定数值,必须增加焦点尺寸,Focusspotsize扩大靶的散热面积.因此,随着靶上功率增加,必须人为的增加焦点尺寸BI29.08.03YXLON.Thereasonwhy什么是纳米级的射线检测系统?是否在靶功率为5瓦,焦点仍然小于1微米•焦点尺寸可以小于1个微米的,我们叫纳米
7、检测系统•一般在靶功率小于1W的时候,技术上可以做到小于1个微米•当靶功率大于1瓦时,肯定不能小于一个微米BI29.08.03YXLON.ThereasonwhyX射线检测系统的重要参数---细节分辨率(Detaildetectability)•系统细节分辨率=焦点的一半意思:如果焦点尺寸为2微米,理论最小可以看见一个微米的缺陷(行业规定)BI29.08.03YXLON.ThereasonwhyX射线检测系统的重要参数---几何放大倍数(Geometricmagnification)几何放大倍数(m)定义____FDDm=FOD24001X射线焦点FDDFOD
8、被测物探测器2BI29.08.03YX
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