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1、GowningRuleWhyWhyWhyWhy2:為什麼進入潔淨室不可使用大哥大,照相機,攝影機等器材?原因:大哥大等通訊器材,會產生電磁波,將會干擾機台運作.依公司保密規定,避免生產技術外流,不可將相機等器材帶入,另外閃光燈亦會造成晶片圖形缺陷.Why1.為何人進入潔淨室不可化妝,噴香水,擦指甲油?原因:化妝,噴香水在皮膚上會殘留一些粉粒,這些粉塵掉落到晶片上會造成晶片無法運作(short)指甲油會脫落造成手套污染,間接污染晶片Why5:為何不可攜帶一般紙張,立可白,鉛筆,橡皮擦進入潔淨室?原因:一般紙張,立可白,鉛筆,橡皮擦…等會產生大量粉塵,污
2、染晶片.Why3:為何進入潔淨室須穿襪子嗎?原因:避免腳底皮膚直到磨擦到鞋子產生粉塵Why4:有抽煙之同仁,抽完煙須多久時間才可進入FAB?原因:三十分鐘,因嘴巴及身上殘留的煙味,具有粉塵,掉落在晶片上會造成晶片無法運作(short)Why6:為什麼無塵衣著裝完畢進入FAB須吹風及洗手及確實烘乾?原因:要將無塵衣上及手套上之粉塵清除洗手後必須要確實吹乾不然會造成大量粉塵殘留.Why7:為何無塵鞋櫃除了無塵鞋外,不可放置其他東西?原因:無塵鞋底有大量粉塵,擺放在鞋櫃的東西會受到污染.手套未吹乾Particle150顆.Why10:為什麼在fab內不可以
3、跑步或走路很快?原因:動作過大,會造成無塵衣上粉塵掉落及地板上之粉塵上揚.Why11:為什麼在FAB內不可以坐在地板上?原因:地板上之粉塵會沾到無塵衣.Why11:為何手套有破洞時須更換?原因:手裸露出來,人的皮膚所產生的皮屑會掉出來造成粉塵.Why9:為何手套更換完須洗手?原因:手套上有粉塵.Why14:為什麼手套口須塞入無塵衣袖口內和無塵衣與便服間?原因:手脕上的粉塵在你動作時衝出污染到晶片.走動快速22.6顆Particle手套未塞入51顆ParticleWhy14:在無塵室中,任何材料(含控片,試片,擋片)之放置高度均不得低於幾公分?為什麼?
4、原因:40公分,因為人員走路時,會產生大量粉塵,易造成晶片污染.Why15:為何手套上不可寫字?原因:原子筆的墨水,會沾染到你所觸碰的器具間接污染晶片.轉身產生79顆Paricle掀LotBox上蓋產生15顆ParicleWhy12:為什麼操作員必須與晶片保持至少30公分以上?原因:避免無塵衣上粉塵掉落到晶片上.Why13:為何不可橫越晶片上方?原因:因為無塵衣上之粉塵會掉落,造成晶片short.Why18:為何不可用手碰觸晶片?原因:手上有粉塵,若直接碰觸晶片會污染晶片.Why19:為何2A與1B往來均須經過AIRSHOWER?原因:有經過10K走
5、道,粉塵控制程度不同.用吸筆夾晶片太大力產生75顆ParicleWhy16:為何不可單手持晶舟及雙手持雙晶舟?原因:1.單手持單晶舟易晃動在空氣中產生擾流造成大量粉塵.2.單手持晶舟,手指頭易碰觸晶舟內緣3.怕手突然支撐不住,掉落導致破片.Why17:為何操作晶片(含放入LOTBOX)不可發出聲音?原因:發出聲音代表晶片有碰觸到東西,會產生粉塵更嚴重可能導致破片擾流56顆ParticleWhy20:為何不可從中抽取晶片?原因:容易造成刮傷,導致晶片良率(D0值)差.Why21:為何不可在推車下層做轉換?原因:因上下層間高度不夠,容易撞破片且推車低於6
6、0公分,有粉塵污染之虞在工作桌上推拉晶舟產生17顆ParticleWhy22:為何不可在LotBox上方做轉換?原因:LOTBOX底部接觸不穩,容易掉落造成破片.Why23:為什麼在FAB內不可聽工程師口頭交接?原因:在FAB內一切的操作均須遵循OI來操作不合OI之規定事項都不成立.用力放LotBox到推車上247顆ParticleWhy25:在FAB內眼鏡滑落算不算違規?為什麼?答案:算,因長期工作,眼睛會產生分泌物,若眼鏡沒戴好,無法有效阻擋分泌物掉落到晶片上Why32:那一個操作區可以將眼鏡拿下?為什麼?答案:INSPECTION,縮短眼睛與顯
7、微鏡的距離,可增加視角(視覺範圍).課程結束!!!Why24:為何操作員不可自行處理Alarm訊息?原因:因為操作員非設備人員,沒有處理機台方面的能力,因此貿然處理可能會導致破片或Yield降低.Q1:那些特殊製程晶片應使用特殊之晶舟裝載?答案:Co,Cu等製程Q2:為什麼無塵衣,鞋遺失時不可私自挪用他人的無塵衣鞋?答案:會造成他人找不到無塵衣鞋導致延誤進線.Q3:關於無塵衣鞋事務申請可洽詢那一個單位?分機為何?答案:KEY-INCENTER分機:1718/1719Q4:Class1無塵室0.1umParticle管制上限制(發警告單)/規則上限制(
8、shoutdown機台)為何?答案:25/35GowningRuleQ&A
